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处理腔室(10)连接至锁止腔室(12)。提供一种真空泵系统，用于对所述锁止腔室(12)和/或所述处理腔室(10)抽真空。所述系统包括真空泵设备(18)，其包括至少一个真空泵(20、22)。所述真空泵系统还包括用于连接至所述锁止腔室(12)以...
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