一种掩膜设备、制备OLED器件以及制备OLED显示面板的方法技术

本发明专利技术公开了一种掩膜设备、制备OLED器件以及制备OLED显示面板的方法。掩膜设备包括掩膜板和用于驱动所述掩膜板运动的驱动机构，所述掩膜板上设置有多个掩膜图案，所述驱动机构驱动掩膜板运动，使得其中一个掩膜图案与待蒸镀位置相对应。采用该掩膜设备蒸镀制备OLED器件，在不同蒸镀状态之间切换时，只需要驱动机构驱动掩膜板运动使得其中一个掩膜图案与待蒸镀位置相对应即可，不再需要更换不同的掩膜板，避免了更换掩膜板的耗时，缩短了蒸镀过程消耗的时间，提高了蒸镀效率。由于不再需要更换掩膜板，也就不会产生额外的颗粒，避免了颗粒对制程过程的污染，提高了显示面板的显示品质。

A mask device, a method for fabricating OLED devices and an OLED display panel

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜设备、制备OLED器件以及制备OLED显示面板的方法
本专利技术涉及显示面板制造
，具体涉及一种掩膜设备、制备OLED器件以及制备OLED显示面板的方法。
技术介绍
在采用蒸镀方法形成有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)器件过程中，存在蒸镀有机材料、蒸镀金属材料以及非蒸镀状态三种状态，这三种状态需要交替变换，因此，就需要更换不同的掩膜板。更换掩膜板的过程，耗时较长，造成蒸镀过程消耗时间延长，而且，机台在更换掩膜板的过程中容易产生颗粒，造成OLED显示面板显示不良。
技术实现思路
本专利技术实施例的目的是，提供一种掩膜设备、制备OLED器件以及制备OLED显示面板的方法，以缩短蒸镀过程的时间。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种掩膜设备，包括掩膜板和用于驱动所述掩膜板运动的驱动机构，所述掩膜板上设置有多个掩膜图案，所述驱动机构驱动掩膜板运动，使得其中一个掩膜图案与待蒸镀位置相对应。可选地，所述掩膜板的形状呈扇形，所述掩膜设备包括多个所述掩膜板以及与所述掩膜板一一对应的多个所述驱动机构，多个所述掩膜板在以定心位置为圆心的圆周本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜设备，其特征在于，包括掩膜板和用于驱动所述掩膜板运动的驱动机构，所述掩膜板上设置有多个掩膜图案，所述驱动机构驱动掩膜板运动，使得其中一个掩膜图案与待蒸镀位置相对应。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜设备，其特征在于，包括掩膜板和用于驱动所述掩膜板运动的驱动机构，所述掩膜板上设置有多个掩膜图案，所述驱动机构驱动掩膜板运动，使得其中一个掩膜图案与待蒸镀位置相对应。2.根据权利要求1所述的掩膜设备，其特征在于，所述掩膜板的形状呈扇形，所述掩膜设备包括多个所述掩膜板以及与所述掩膜板一一对应的多个所述驱动机构，多个所述掩膜板在以定心位置为圆心的圆周方向上均匀排列。3.根据权利要求2所述的掩膜设备，其特征在于，所述掩膜设备还包括穿过所述定心位置的支撑杆，所述支撑杆所在方向与所述掩膜板所在平面相互垂直，所述驱动机构包括驱动杆和动力部件，所述驱动杆的一端与对应的掩膜板连接，所述驱动杆的另一端在所述动力部件的驱动下沿所述支撑杆滑动，以使得对应的掩膜板朝向靠近所述定心位置或远离所述定心位置的方向移动。4.根据权利要求2所述的掩膜设备，其特征在于，所述掩膜板的数量为10个。5.根据权利要求1所述的掩膜设备，其特征在于，所述掩膜图案包括第一镂空结构、第二镂空结构，所述第一镂空结构的尺寸大于所述第二镂空结构的尺寸。...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜斌，吴长晏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11