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本发明公开了一种掩膜设备、制备OLED器件以及制备OLED显示面板的方法。掩膜设备包括掩膜板和用于驱动所述掩膜板运动的驱动机构,所述掩膜板上设置有多个掩膜图案,所述驱动机构驱动掩膜板运动,使得其中一个掩膜图案与待蒸镀位置相对应。采用该掩膜设...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种掩膜设备、制备OLED器件以及制备OLED显示面板的方法。掩膜设备包括掩膜板和用于驱动所述掩膜板运动的驱动机构,所述掩膜板上设置有多个掩膜图案,所述驱动机构驱动掩膜板运动,使得其中一个掩膜图案与待蒸镀位置相对应。采用该掩膜设...