具有多个源喷射方向的蒸发源制造技术

描述了一种用于蒸发源材料的沉积源组件、一种包括沉积源组件的装置及一种以沉积源组件蒸发源材料的方法。此沉积源组件包括：主体，包括源材料储存器及分配管组件，分配管组件用于以第一方向及与第一方向相反的第二方向引导气态源材料。

Evaporation Source with Multiple Source Injection Directions

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有多个源喷射方向的蒸发源
本公开的实施方式涉及将源材料沉积在两面式基板上，具体而言是涉及以扫描的来源(亦即移动的来源)将源材料沉积在两面式基板上。本公开的实施方式具体而言是涉及用于蒸发源材料的沉积源组件、用于将蒸发的源材料沉积在基板上的沉积装置及将蒸发的源材料沉积在两个或更多个基板上的方法。
技术介绍
有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED为一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造用于显示信息的电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持式设备等等。OLED亦可用于一般的空间照明。使用OLED显示器情况下可能的色彩、亮度及视角的范围大于传统LCD显示器的范围，因为OLED的像素直接发射光。因此，OLED显示器能量消耗相较于传统LCD显示器的能量消耗而言是相当小的。进一步地，可将OLED制造到柔性基板上的事实造成了进一步的应用。传统的OLED显示器可例如包括位于两个电极之间的有机材料层，所述两个电极以一种方式全部沉积于基板上以形成具有可单独通电的像素的矩阵式显示器面板。可通过使用相同的来源来在相同的腔室中将本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于蒸发源材料的沉积源组件，包括：主体，包括源材料储存器及分配管组件，用于以第一方向和与所述第一方向相反的第二方向引导气态源材料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.28 US 15/361,8821.一种用于蒸发源材料的沉积源组件，包括：主体，包括源材料储存器及分配管组件，用于以第一方向和与所述第一方向相反的第二方向引导气态源材料。2.如权利要求1所述的沉积源组件，所述沉积源组件进一步包括：一或多个可动快门，用于选择性地阻挡所述气态源材料沿着所述第一方向及所述第二方向中的至少一个的传播。3.如权利要求2所述的沉积源组件，其中所述一或多个可动快门中的第一可动快门经配置为阻挡以所述第一方向引导的气态源材料，且所述一或多个可动快门中的第二可动快门经配置为阻挡以所述第二方向引导的气态源材料。4.如权利要求2所述的沉积源组件，其中所述一或多个可动快门经配置为能够阻挡以所述第一方向及所述第二方向引导的气态源材料。5.如权利要求1到4中的任何一项所述的沉积源组件，所述沉积源组件进一步包括用来将所述源材料汽化成所述气态源材料的加热器。6.如权利要求1到5中的任何一项所述的沉积源组件，其中所述第一方向及所述第二方向之间的角度是在120°和180°之间。7.如权利要求1到6中的任何一项所述的沉积源组件，其中所述气体分配管组件包括第一多个开口和第二多个开口，所述第一多个开口形成用于以所述第一方向引导所述气态源材料的线源，所述第二多个开口形成用于以所述第二方向引导所述气态源材料的进一步线源。8.如权利要求7所述的沉积源组件，其中所述第一多个开口提供在所述分配管组件的分配管中，并且所述第二多个开口提供在所述分配管组件的分配管中。9.如权利要求7所述的沉积源组件，其中所述第一多个开口提供在所述分配管组件的第一分配管中，并且所述第二多个开口提供在所述分配管组件的第二分配管中。10.如权利要求9所述的沉积源组件，其中第一分配管和所述第二分配管由共同的来源支架支撑。11.如权利要求9所述的沉积源组件，其中所述第一分配管和所述第二分配管背对背提供或并排提供。12.一种用于在基板上沉积蒸发的源材料的沉积装置，包括：真空腔室；第一基板支架轨道，提供在所述真空腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐纳德·韦普兰肯，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US