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复合式清洁真空泵制造技术

技术编号:2166083 阅读:237 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种复合式清洁真空泵,它包括泵壳、自动换向阀、罗茨真空泵、旋片真空泵和油气分离器,其特征是在泵壳内安装有罗茨真空泵和旋片真空泵,罗茨真空泵和旋片真空泵之间通过管路连接,在旋片真空泵进气口上方装有获得清洁空气的吸附室。本实用新型专利技术由于设置了吸附室并采用了罗茨真空泵和旋片真空泵复合结构,且通过自动换向阀的闭环控制,可以在大气压至0.13帕的宽量程内保持大抽速、高效率,具有结构紧凑、功率消耗低和成本小的优点。(*该技术在2011年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种复合式清洁真空泵,它包括泵壳、自动换向阀、罗茨真空泵、旋片真空泵和油气分离器,其特征是在泵壳内安装有罗茨真空泵和旋片真空泵,罗茨真空泵和旋片真空泵之间通过管路连接,在旋片真空泵进气口上方装有获得清洁空气的吸附室,在罗茨真空泵进气口处设置有自动换向阀。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王君
申请(专利权)人:王君
类型:实用新型
国别省市:89[中国|沈阳]

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