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复合式清洁真空泵制造技术
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文档序号:2166083
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一种复合式清洁真空泵,它包括泵壳、自动换向阀、罗茨真空泵、旋片真空泵和油气分离器,其特征是在泵壳内安装有罗茨真空泵和旋片真空泵,罗茨真空泵和旋片真空泵之间通过管路连接,在旋片真空泵进气口上方装有获得清洁空气的吸附室。本实用新型由于设置了吸附...
该专利属于王君所有,仅供学习研究参考,未经过王君授权不得商用。
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