镜面裸片图像识别系统技术方案

镜面裸片图像识别系统从晶圆(30)的多个裸片(31)中区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片，该镜面裸片图像识别系统具备：相机(42)，将晶圆的至少一部分收于视场而进行拍摄；及图像处理装置，对由上述相机拍摄到的图像进行处理而从该图像中的各裸片中区别于其他裸片来识别无缺损的镜面裸片。该图像处理装置取得由上述相机拍摄到的图像中的包含相当于各裸片的四个角部分和中央部分的区域在内的至少五个区域的亮度，判定是否可视为至少五个区域的亮度恒定，将可视为至少五个区域的亮度恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。

Bare Mirror Image Recognition System

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】镜面裸片图像识别系统
本说明书公开一种技术，该技术涉及从晶圆的多个裸片中，区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片(通常的裸片)相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片的镜面裸片图像识别系统、基准裸片设定系统及镜面裸片图像识别方法。
技术介绍
通常，在向元件安装机供给裸片(芯片元件)的裸片供给装置中搭载有用于对晶圆的各裸片进行图像识别的相机，但即使能够对由相机拍摄到的晶圆图像的各裸片进行图像识别，也无法准确地判断出图像识别出的裸片是圆形的晶圆的哪个位置的裸片。因此，如专利文献1(日本特开平11-67876号公报)、专利文献2(日本特开2002-26041号公报)所记载的那样，在晶圆的预定位置设置形成有能够通过图像识别而区别于生产裸片的图案的参考裸片，最初对参考裸片进行图像识别，以该参考裸片的位置为基准位置，来对开始吸附的裸片的位置进行判断。现有技术文献专利文献1：日本特开平11-67876号公报专利文献2:日本特开2002-26041号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题以往的参考裸片由于形成能够区别于生产裸片的图案，因此成为晶圆的制造成本增加的主要原因。因此，为了减少晶圆的制造成本，存在想要制造不形成参考裸片的晶圆这样的要求。但是，不形成参考裸片的晶圆需要设置代替参考裸片的基准位置，因此，可想到将无图案的镜面裸片用作参考裸片。通常，位于晶圆的外周缘的裸片不形成图案，成为镜面裸片，但晶圆的形状为圆形，因此位于晶圆的外周缘的镜面裸片不是形成有图案的生产裸片那样的完整的四边形，而是其一部分由于晶圆的外周缘而有缺损的形状。位于晶圆的外周缘的有缺损的镜面裸片在晶圆的整周存在有多个，因此难以作为参考裸片使用。因此，在将镜面裸片用作参考裸片的情况下，需要使用无缺损的镜面裸片，因此需要开发从晶圆的多个裸片中，区别于缺损的镜面裸片和生产裸片来识别无缺损的镜面裸片的技术。用于解决课题的技术方案为了解决上述课题，提供一种镜面裸片图像识别系统，从以分割成多个裸片的方式被切割的晶圆的多个裸片中，区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片，上述镜面裸片图像识别系统具备：相机，将晶圆的至少一部分收于视场内而进行拍摄；及图像处理装置，对由上述相机拍摄到的图像进行处理而从上述图像中的各裸片中区别于其他裸片来识别无缺损的镜面裸片，上述图像处理装置取得上述图像中的包含相当于各裸片的四个角部分和中央部分的区域在内的至少五个区域的亮度，判定是否可视为至少五个区域的亮度恒定，将可视为至少五个区域的亮度恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。在此，“可视为至少五个区域的亮度恒定”是指处于考虑到照射裸片的照明光的偏差和相机的拍摄条件的偏差等而能够判断为至少五个区域的亮度之差实质上恒定的预定的偏差范围内。晶圆的裸片的种类为有图案的生产裸片、无图案的镜面裸片中的无缺损的镜面裸片及有缺损的镜面裸片，取得上述各裸片的亮度的至少五个区域是不包含图案的区域、包含图案的区域、包含裸片的缺损的部分的区域中的任一个，这三种区域的亮度互不相同。因此，能够在裸片的至少五个区域中的任一个的区域的亮度与其他区域的亮度不同的情况下，识别为不是无缺损的镜面裸片(也就是说，是生产裸片或者有缺损的镜面裸片)。另外，有缺损的镜面裸片由于至少一个角部分有缺损，因此四个角部分的区域中的包含缺损的角部分的区域的亮度与其他区域的亮度不同。此外，即便裸片的任一个角部分缺损，该裸片的中央部分也会残留而不会缺损。根据这样的关系，只要判断是否可视为包含相当于各裸片的四个角部分和中央部分的区域在内的至少五个区域的亮度恒定，就能够将至少五个区域的亮度视为恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。另外，也可以是，将图像中的各裸片分割成各包含一个角部分的四个区域，取得四个区域的亮度，判定是否可视为四个区域的亮度恒定，将可视为四个区域的亮度恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。在该情况下，也可以从晶圆的所有裸片中搜索无缺损的镜面裸片，但大体知道晶圆中的无缺损的镜面裸片存在的位置。因此，也可以构成为，上述图像处理装置具备搜索范围指定部，指定对晶圆中的无缺损的镜面裸片进行搜索的搜索范围。通过指定搜索无缺损的镜面裸片的搜索范围，能够缩短搜索无缺损的镜面裸片的处理时间。在该情况下，也可以是，作业者操作搜索范围指定部来指定搜索范围，或者基于包含晶圆的各裸片是生产裸片还是无缺损的镜面裸片的信息的晶圆映射数据来自动地指定搜索范围。然而，当在取得无缺损的镜面裸片的亮度的区域附着有刮痕或污渍时，即便为无缺损的镜面裸片，也有可能附着有刮痕或污渍的区域的亮度与其他区域的亮度不同，因此有可能不识别为无缺损的镜面裸片。作为其对策，也可以是，在无法从存在于由上述搜索范围指定部指定的搜索范围内的裸片中识别出无缺损的镜面裸片的情况下，变更取得亮度的区域的尺寸、区域的位置、区域的数量中的至少之一并重新搜索无缺损的镜面裸片。这样一来，在取得无缺损的镜面裸片的亮度的区域附着有刮痕或污渍而无法识别出无缺损的镜面裸片的情况下，通过变更取得亮度的区域的尺寸、区域的位置、区域的数量中的至少之一，而将取得亮度的区域变更为几乎能够忽略刮痕或污渍的影响的区域，从而有可能能够识别出无缺损的镜面裸片。另外，也可以是，在由上述搜索范围指定部指定的搜索范围内识别出的无缺损的镜面裸片的数量多于实际存在的无缺损的镜面裸片的数量的情况下，上述图像处理装置针对识别为无缺损的镜面裸片的裸片，变更取得亮度的区域的尺寸、区域的位置、区域的数量中的至少之一并重新搜索无缺损的镜面裸片。例如，在取得生产裸片的亮度的所有区域形成有相同的图案，因此在将生产裸片误识别为无缺损的镜面裸片的情况下，在搜索范围内识别出的无缺损的镜面裸片的数量多于实际存在的无缺损的镜面裸片的数量。在这样的情况下，通过针对识别为无缺损的镜面裸片的裸片，变更取得亮度的区域的尺寸、区域的位置、区域的数量中的至少之一，而有可能能够将误识别为无缺损的镜面裸片的生产裸片正常地识别为不是无缺损的镜面裸片(生产裸片或者有缺损的镜面裸片)。附图说明图1是表示实施例1的裸片供给装置的外观立体图。图2是顶起单元及其周边部分的外观立体图。图3是晶圆托板的外观立体图。图4是表示裸片供给装置的控制系统的结构的框图。图5是对从裸片的图像取得亮度的五个区域进行说明的图。图6是表示拍摄晶圆中的包含无缺损的镜面裸片的部分而得到的图像的一例的图。图7是表示拍摄晶圆中的包含有缺损的镜面裸片的部分而得到的图像的一例的图。图8是对变更取得亮度的区域的尺寸并重新搜索无缺损的镜面裸片的情况下的一例进行说明的图。图9是对将生产裸片误识别为无缺损的镜面裸片的情况下的第一例进行说明的图。图10是对将生产裸片误识别为无缺损的镜面裸片的情况下的第二例进行说明的图。图11是对从实施例2的裸片的图像取得亮度的四个区域进行说明的图。具体实施方式以下，对两个实施例1、2进行说明。实施例1以下，使用图1至图10来对实施例1进行说明。首先，使用图1至图4来对裸片供给装置11的结构概略地进行说明。裸片供给装置11具备料仓保持部22(托盘塔)、托板拉出台23、XY移动机构25、托板拉出机构26及顶起单元28(参照图2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镜面裸片图像识别系统，从以分割成多个裸片的方式被切割的晶圆的多个裸片中，区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片，所述镜面裸片图像识别系统的特征在于，具备：相机，将晶圆的至少一部分收于视场内而进行拍摄；及图像处理装置，对由所述相机拍摄到的图像进行处理而从所述图像中的各裸片中区别于其他裸片来识别无缺损的镜面裸片，所述图像处理装置取得所述图像中的包含相当于各裸片的四个角部分和中央部分的区域在内的至少五个区域的亮度，判定是否可视为至少五个区域的亮度恒定，将可视为至少五个区域的亮度恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种镜面裸片图像识别系统，从以分割成多个裸片的方式被切割的晶圆的多个裸片中，区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片，所述镜面裸片图像识别系统的特征在于，具备：相机，将晶圆的至少一部分收于视场内而进行拍摄；及图像处理装置，对由所述相机拍摄到的图像进行处理而从所述图像中的各裸片中区别于其他裸片来识别无缺损的镜面裸片，所述图像处理装置取得所述图像中的包含相当于各裸片的四个角部分和中央部分的区域在内的至少五个区域的亮度，判定是否可视为至少五个区域的亮度恒定，将可视为至少五个区域的亮度恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。2.一种镜面裸片图像识别系统，从以分割成多个裸片的方式被切割的晶圆的多个裸片中，区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片，所述镜面裸片图像识别系统的特征在于，具备：相机，将晶圆的至少一部分收于视场内而进行拍摄；及图像处理装置，对由所述相机拍摄到的图像进行处理而从所述图像中的各裸片中区别于其他裸片来识别无缺损的镜面裸片，所述图像处理装置将所述图像中的各裸片分割成各包含一个角部分的四个区域，取得四个区域的亮度，判定是否可视为四个区域的亮度恒定，将可视为四个区域的亮度恒定的裸片识别为无缺损的镜面裸片。3.根据权利要求1或2所述的镜面裸片图像识别系统，其中，所述图像处理装置具备搜索范围指定部，指定对晶圆中的无缺损的镜面裸片进行搜索的搜索范围。4.根据权利要求3所述的镜面裸片图像识别系统，其中，所述搜索范围指定部基于包含晶圆的各裸片是生产裸片还是无缺损的镜面裸片的信息在内的晶圆映射数据来指定所述搜索范围。5.根据权利要求3或4所述的镜面裸片图像识别系统，其中，所述图像处理装置在无法从存在于由所述搜索范围指定部指定的搜索范围内的裸...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩濑友则，森下正浩，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本,JP