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镜面裸片图像识别系统从晶圆(30)的多个裸片(31)中区别于有缺损的镜面裸片和生产裸片来识别形状为与有图案的生产裸片相同的四边形状且无图案和缺损的镜面裸片，该镜面裸片图像识别系统具备：相机(42)，将晶圆的至少一部分收于视场而进行拍摄；及图...
该专利属于株式会社富士所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社富士授权不得商用。

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