磁控溅射传输装置制造方法及图纸

本申请涉及一种磁控溅射传输装置，其包括导轨、车体、第一绝缘装置和遮挡装置。所述车体沿所述导轨所在方向运动，且所述车体与所述导轨间隔设置。所述第一绝缘装置设置于所述导轨与所述车体之间。所述遮挡装置遮挡所述第一绝缘装置。所述遮挡装置使所述导轨与所述车体之间绝缘。本申请提供的所述磁控溅射运输装置提高了所述第一绝缘装置的绝缘稳定性和可靠性，从而杜绝了放电现象的产生，防止镀膜膜层出现电弧纹现象。

Magnetron sputtering transmission device

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射传输装置
本申请涉及磁控溅射镀膜领域，特别是涉及一种磁控溅射传输装置。
技术介绍
磁控溅射是物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)的一种。磁控溅射镀膜是一种现代工业常用的镀膜工艺。磁控溅射镀膜是在真空系统条件下，将工艺气体氩气与反应气体通入腔室内。使用高强电压，使氩气电离。氩离子在电场和磁场的共同作用下撞击靶材，使得目标原子获得一个动量，飞向基板，从而沉积到基板表面行成镀膜效果。磁控溅射镀膜是薄膜太阳能电池加工的重要过程。在薄膜太阳能电池生产的磁控溅射镀膜过程中，需要使用传输装置带动玻璃基板进行运动，从而达到传动效果。传输装置的车体与导轨需要保持绝缘。因此，人们在车体与导轨之间设置绝缘装置来保证传输装置车体与导轨之间的绝缘状态。然而，这样结构的运输装置绝缘效果不可靠，容易出现放电现象，从而导致镀膜膜层出现电弧纹现象。
技术实现思路
针对以上技术问题，本申请提供一种磁控溅射传输装置。一种磁控溅射传输装置，包括：导轨；车体，所述车体沿所述导轨所在方向运动，且所述车体与所述导轨间隔设置；第一绝缘装置，设置于所述导轨与所述车体之间；遮挡装置，遮挡所述第一绝缘装置，所述遮挡装置使所述导轨与所述车体之间绝缘。在其中一个实施例中，所述遮挡装置固定于所述车体，且所述遮挡装置与所述导轨不接触。在其中一个实施例中，所述遮挡装置通过绝缘紧固件固定于所述车体。在其中一个实施例中，所述遮挡装置固定于所述导轨，且所述遮挡装置与所述车体不接触。在其中一个实施例中，所述遮挡装置固定于所述第一绝缘装置，且所述遮挡装置与所述导轨和所述车体均不接触。在其中一个实施例中，所述第一绝缘装置包括多个第一绝缘块，多个所述第一绝缘块间隔固定于所述导轨与所述车体之间。在其中一个实施例中，所述车体包括支撑框架，所述第一绝缘装置设置于所述支撑框架外边缘。在其中一个实施例中，所述支撑框架内边缘设置第二绝缘装置。在其中一个实施例中，所述第二绝缘装置包括多个第二绝缘块，多个所述第二绝缘块间隔设置于所述支撑框架内边缘。在其中一个实施例中，所述导轨与所述第一绝缘装置接触部分表面包覆有绝缘镀膜。本申请实施例提供的所述磁控溅射运输装置包括导轨、车体、第一绝缘装置和遮挡装置。所述遮挡装置遮挡所述第一绝缘装置，且所述遮挡装置使所述导轨与所述车体之间绝缘。磁控溅射过程中所述遮挡装置遮挡溅射气氛，使得所述第一绝缘装置不会被金属镀层包覆。因此，所述第一绝缘装置不会出现绝缘失效现象。本实施例提供的所述磁控溅射运输装置提高了所述第一绝缘装置的绝缘稳定性和可靠性，从而杜绝了放电现象的产生，防止镀膜膜层出现电弧纹现象。附图说明图1为本申请一个实施例提供的磁控溅射传输装置正视图；图2为本申请一个实施例提供的遮挡装置后视图；图3为本申请一个实施例提供的遮挡装置侧视图；图4为本申请一个实施例提供的磁控溅射传输装置正视图；图5为本申请一个实施例提供的磁控溅射传输装置正视图。附图标记说明磁控溅射传输装置10导轨100车体200支撑框架210第一绝缘装置300第一绝缘块310遮挡装置400绝缘紧固件410遮挡块420安装块430第二绝缘装置500第二绝缘块510具体实施方式为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下通过实施例，并结合附图，对本申请的磁控溅射传输装置进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。请参见图1，本申请一个实施例提供一种磁控溅射传输装置10，其包括导轨100、车体200、第一绝缘装置300和遮挡装置400。所述车体200与所述导轨100间隔设置。所述车体200沿所述导轨100所在方向运动。所述第一绝缘装置300设置于所述导轨100与所述车体200之间。所述遮挡装置400遮挡所述第一绝缘装置300。所述遮挡装置400使所述导轨100与所述车体200之间绝缘。所述磁控溅射传输装置10在磁控溅射过程中，用于运载传输待溅射基底。例如，在铜铟镓硒薄膜太阳能电池生产过程中，所述磁控溅射传输装置10用于承载玻璃基板，并带动所述玻璃基板运动。所述玻璃基板可以安装于所述车体200。所述车体200的结构、材料和形状等不做限定，可以根据实际需求选择。所述导轨100用于带动所述车体200及所述车体200上安装的待溅射基板运动。所述导轨100的数量、结构可以根据实际需求选择。在一个实施例中，所述导轨100的数量为2个。所述导轨100可以为磁导轨。2个所述磁导轨间隔设置于所述车体200两侧。本申请内容的一个实施例中提供的所述磁控溅射传输装置10可以竖直设置，即，所述磁控溅射传输装置10的所述车体200的安装面为竖直面，以实现立式磁控溅射镀膜。所述第一绝缘装置300为可以使所述导轨100与所述车体200之间绝缘的装置。所述第一绝缘装置300设置于所述导轨100与所述车体200之间，具体地，所述第一绝缘装置300设置于或卡接固定于所述导轨100与所述车体200之间。所述第一绝缘装置300可以通过螺钉与所述导轨100和所述车体200固定连接，也可以通过粘接等方式与所述导轨100和所述车体200固定连接。所述第一绝缘装置300的结构、形状、材料不做具体限定，只要可以实现所述导轨100和所述车体200之间的绝缘和连接即可。所述遮挡装置400可以为板状结构，也可以为“U”型结构，还可以为桶状结构等。本申请对所述遮挡装置400的结构不做具体限定。所述遮挡装置400可以为导电材料，也可以为绝缘材料。所述遮挡装置400的尺寸可以大于所述第一绝缘装置300，并遮挡所述第一绝缘装置300，以使得所述遮挡装置400能够覆盖或遮挡所述第一绝缘装置300的表面。所述遮挡装置400可以对所述第一绝缘装置300接受磁控溅射的面全部遮挡，也可以部分遮挡。所述遮挡装置400可以直接设置于所述第一绝缘装置300，也可以设置于所述导轨100或所述车体200。所述遮挡装置400的设置方式、连接方式可以根据所述遮挡装置400的结构决定。本实施例中，所述磁控溅射运输装置10包括导轨100、车体200、第一绝缘装置300和遮挡装置400本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射传输装置(10)，其特征在于，包括：导轨(100)；车体(200)，所述车体(200)沿所述导轨所在方向运动，且所述车体(200)与所述导轨(100)间隔设置；第一绝缘装置(300)，设置于所述导轨(100)与所述车体(200)之间；遮挡装置(400)，遮挡所述第一绝缘装置(300)，所述遮挡装置(400)使所述导轨(100)与所述车体(200)之间绝缘。

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射传输装置(10)，其特征在于，包括：导轨(100)；车体(200)，所述车体(200)沿所述导轨所在方向运动，且所述车体(200)与所述导轨(100)间隔设置；第一绝缘装置(300)，设置于所述导轨(100)与所述车体(200)之间；遮挡装置(400)，遮挡所述第一绝缘装置(300)，所述遮挡装置(400)使所述导轨(100)与所述车体(200)之间绝缘。2.根据权利要求1所述的磁控溅射传输装置(10)，其特征在于，所述遮挡装置(400)固定于所述车体(200)，且所述遮挡装置(400)与所述导轨(100)不接触。3.根据权利要求2所述的磁控溅射传输装置(10)，其特征在于，所述遮挡装置(400)通过绝缘紧固件(410)固定于所述车体(200)。4.根据权利要求1所述的磁控溅射传输装置(10)，其特征在于，所述遮挡装置(400)固定于所述导轨(100)，且所述遮挡装置(400)与所述车体(200)不接触。5.根据权利要求1所述的磁控溅射传输装置(10)，其特征在于，所述遮挡装置(400)固定于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨文举，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11