【技术实现步骤摘要】
一种平面和旋转靶材解绑定的装置
本技术涉及一种平面和旋转靶材解绑定的装置。
技术介绍
磁控溅射用靶材在使用时，需要将靶材与背板焊接在一起。通常采用铟为焊料进行钎焊。磁控溅射对靶材的利用率在80%以下，剩余的废靶需要从背板上拆除，以便于靶材的回收和背靶材再次使用，这一过程叫靶材解绑定。目前使用的解绑定方法是，将使用后的靶材（含背板）放在热台上，对其进行加热，至铟焊料溶化后，将靶材从背板上取下来。该法由于靶材受热不均，取下的废靶通常是碎裂的，并且受限于热台的面积，同时解绑定的靶材数量少，因为只能在热台上放置一层靶材。中国专利申请201510360031.2公开了一种靶材解绑定装置，针对使用导电胶进行绑定的靶材，使用溶胀剂进行解绑，该靶材解绑定装置包括解绑容器、集渣斗、滤网、管道和溶胀剂储罐。该专利申请是用化学方法解绑用电解质绑定的靶材，即使用溶胀剂溶解电解质；对于采用铟金属绑定的靶材不适用。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种平面和旋转靶材解绑定的装置，该装置适用于对采用铟金属绑定的靶材进行解绑，可对平面和旋转靶材进行批量解绑定，解绑温度均匀，解绑后靶材完好...
【技术保护点】
1.一种平面和旋转靶材解绑定的装置，其特征在于：包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成，加热组件安装在油浴槽内，所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接，所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑动安装在导轨上的旋转靶材托构成。
【技术特征摘要】
1.一种平面和旋转靶材解绑定的装置，其特征在于：包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连接杆上的多个加热棒组成，加热组件安装在油浴槽内，所述平面靶材栅格托架包括多块其上开有小孔的隔板，多块隔板间隔一定距离倾斜排列，多块隔板的两侧均是通过上连杆和下连杆连接，所述旋转靶材托架是由两根导轨和滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆映东，张倍维，梁盈祥，莫斌，覃当凤，
申请(专利权)人：广西晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：广西,45
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