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本实用新型涉及一种平面和旋转靶材解绑定的装置，包括油浴槽、加热组件、平面靶材栅格托架、旋转靶材托架和集铟篮，油浴槽的底面为倾斜设置，油浴槽底面的最低处开有集铟篮放置凹槽，所述集铟篮放置在集铟篮放置凹槽内，所述加热组件是由连接杆和均匀安装在连...
该专利属于广西晶联光电材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过广西晶联光电材料有限责任公司授权不得商用。

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