本实用新型专利技术公开了一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，包括CF4进气管路、吸附筒一、吸附筒二、再生气体管路、CF4出气管路、尾气管路、除尘装置、微氧检测仪器，所述CF4进气管路分别与吸附筒一、吸附筒二的进气口连接，所述吸附筒一、吸附筒二的出气口通过管路与除尘装置连接，所述除尘装置还与所述CF4出气管路连接，所述再生气体管路分别与吸附筒一、吸附筒二的出气口连接，所述吸附筒一、吸附筒二还与所述尾气管路连接。本实用新型专利技术的有益效果：将不能在一般的提纯、分离、精馏系统中除掉的微量氧化性物质分解成为能够与目标产物四氟甲烷实现分离的杂质气体，且能够循环使用，保证生产的连续稳定运行。
【技术实现步骤摘要】
一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置
本技术涉及一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置。
技术介绍
采用氟气与碳直接化合反应生成四氟甲烷粗气的生产工艺，在其粗气中含有微量氧化性物质，简称微氧。而电子级四氟甲烷在电子行业使用时微氧含量影响清洗蚀刻效果，故要求电子级四氟甲烷中微氧含量必须达到1ppm以下。现需要一种将不能在一般的提纯、分离、精馏系统中除掉的微量氧化性物质分解成为能够与目标产物四氟甲烷实现分离的杂质气体的装置。针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
针对相关技术中的上述技术问题，本技术提出一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，以克服目前现有技术存在的上述不足。为实现上述技术目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，包括CF4进气管路、吸附筒一、吸附筒二、再生气体管路、CF4出气管路、尾气管路、除尘装置、微氧检测仪器，所述CF4进气管路分别与吸附筒一、吸附筒二的进气口连接，所述吸附筒一、吸附筒二的出气口通过管路与除尘装置连接，所述除尘装置还与所述CF4出气管路连接，所述再生气体管路分别与吸附筒一、吸附筒二的出气口连接，所述吸附筒一、吸附筒二还与所述尾气管路连接。进一步的，所述微氧检测仪器通过管路连接在所述除尘装置的进气管路上。进一步的，所述吸附筒一3、吸附筒二14中设有脱氧剂，所述脱氧剂可用氢气活化。进一步的，所述一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置中还设有电磁阀、PLC、显示面板。进一步的，所述微氧检测仪器通过导线与所述PLC连接，所述PLC还与所述显示面板和电磁阀连接。本技术的有益效果：装置能够将四氟甲烷中的微氧分解转化成氢气、二氧化碳、一氧化碳、六氟乙烷等能够比较轻易的在四氟甲烷精馏塔中除去的杂质，将不能在一般的提纯、分离、精馏系统中除掉的微量氧化性物质分解成为能够与目标产物四氟甲烷实现分离的杂质气体，且能够循环使用，保证生产的连续稳定运行。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是根据本技术实施例所述的一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置结构图；图2是根据本技术实施例所述的一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置中吸附筒结构图；图3是根据本技术实施例所述的一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置中除尘装置结构图；图中：1、再生气体管路；2、CF4进气管路；3、吸附筒一；4、除尘装置；5、CF4出气管路；6、微氧检测仪器；7、尾气管路；8、吸附筒进气口；9、吸附筒出气口；10、氢气进口；11、活化再生尾气出口；12、除尘装置进气口；13、除尘装置出气口；14、吸附筒二。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1-3所示，根据本技术实施例所述的一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，包括CF4进气管路2、吸附筒一3、吸附筒二14、再生气体管路1、CF4出气管路5、尾气管路7、除尘装置4、微氧检测仪器6，所述CF4进气管路分别与两个吸附筒进气口8连接，两个吸附筒出气口9分别通过管路与除尘装置4连接，所述除尘装置4还与所述CF4出气管路5连接，所述再生气体管路1分别与吸附筒一3、吸附筒二14的出气口连接，所述吸附筒一3、吸附筒二14还与所述尾气管路7连接。本技术一个实施例中，所述一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置中还设有电磁阀、PLC、显示面板。所述微氧检测仪器6通过导线与所述PLC连接，所述PLC还与所述显示面板和电磁阀连接。所述微氧检测仪器6通过管路连接在所述除尘装置4的进气管路上，用以监测分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置出口的微氧含量。当微氧含量超过设定值，微氧检测仪器6给PLC发送信号。本技术一个实施例中，所述吸附筒一3、吸附筒二14中设有脱氧剂，所述脱氧剂用氢气活化后具备脱除和分解微量氧化性物质的能力。含有微量氧化性物质的四氟甲烷从吸附筒侧面底部的吸附筒进气口8进气，经过脱氧剂脱除分解微氧后，通过与吸附筒出气口9连接的管路自除尘装置进气口12进入除尘器，经过除尘后，自除尘装置出气口13进入四氟甲烷提纯分离吸附、精馏等系统，进一步将微量氧化性物质脱除和分解后产生的氢气、二氧化碳、一氧化碳、六氟乙烷分离去除。具体使用本技术时，首先将脱氧剂安装到吸附筒一3和吸附筒二14中，通入氢气活化合格后安装其他配套设备设施及微氧检测仪器等。将四氟甲烷接入分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置的吸附筒一3，脱氧剂能够自行分解去除四氟甲烷中微量氧化性物质，分解脱除了微氧的四氟甲烷气体经过除尘装置4除尘后进入其他除杂设备。当将微氧检测仪器检测到微氧含量达到设定值时，给PLC发送信号。PLC控制关闭吸附筒一3四氟甲烷气体进出口电磁阀，打开备用的吸附筒二14进出口电磁阀，将四氟甲烷气体转入吸附筒二14运行除微氧。同时，PLC控制开启活化再生管路1出口电磁阀，氢气通过氢气进口10接入吸附筒一3，对吸附筒一3中的脱氧剂活化再生，活化再生尾气自设于吸附筒一3上的活化再生尾气出口11通过尾气管路7排入尾气系统，确保尾气达标排放。活化再生12小时后，PLC关闭活化再生管路1出口电磁阀。使用一段时间后，当将微氧检测仪器6再次检测到微氧含量达到设定值时，微氧检测仪器6给PLC发送信号。PLC控制关闭吸附筒二14四氟甲烷气体进出口电磁阀，打开备用的吸附筒一3进出口电磁阀，将四氟甲烷气体又转入吸附筒一3运行除微氧。如此循环使用，保证生产的连续稳定运行。本技术能够将四氟甲烷中的微氧分解转化成氢气、二氧化碳、一氧化碳、六氟乙烷等能够比较轻易的在四氟甲烷精馏塔中除去的杂质，将不能在一般的提纯、分离、精馏系统中除掉的微量氧化性物质分解成为能够与目标产物四氟甲烷实现分离的杂质气体，且能够循环使用，保证生产的连续稳定运行。通过该装置后微氧含量降低，达到电子级四氟甲烷的控制指标，能够满足电子行业客户的使用要求。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，其特征在于，包括CF4进气管路（2）、吸附筒一（3）、吸附筒二（14）、再生气体管路（1）、CF4出气管路（5）、尾气管路（7）、除尘装置（4）、微氧检测仪器（6），所述CF4进气管路（2）分别与吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的进气口连接，所述吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的出气口通过管路与除尘装置（4）连接，所述除尘装置（4）还与所述CF4出气管路（5）连接，所述再生气体管路（1）分别与吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的出气口连接，所述吸附筒一（3）、吸附筒二（14）还与所述尾气管路（7）连接。
【技术特征摘要】
1.一种分解四氟甲烷中微量氧化性物质的装置，其特征在于，包括CF4进气管路（2）、吸附筒一（3）、吸附筒二（14）、再生气体管路（1）、CF4出气管路（5）、尾气管路（7）、除尘装置（4）、微氧检测仪器（6），所述CF4进气管路（2）分别与吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的进气口连接，所述吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的出气口通过管路与除尘装置（4）连接，所述除尘装置（4）还与所述CF4出气管路（5）连接，所述再生气体管路（1）分别与吸附筒一（3）、吸附筒二（14）的出气口连接，所述吸附筒一（3）、吸附筒二（14）还与所述尾气管路（7）连接。2.根据权利要求1所述的一种分...
【专利技术属性】
技术研发人员：张奎，冉康德，林百志，刘彬，张剑明，
申请(专利权)人：福建德尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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