用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，其特征在于，包括顺序连接的气泵(15)、水气分离器(16)、旋风分离器(17)以及冷干机(18)；所述水气分离器(16)的排水管高于所述水气分离器(16)的底部设置以形成水封；所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)设置于所述水气分离器(16)顶部，且所述旋风分离器(17)的排水管(171)以及所述冷干机(18)的排水管(181)均延伸到所述水气分离器(16)的水封内，以实现所述水气分离器(16)、所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)的自动化排水。的自动化排水。的自动化排水。

【技术实现步骤摘要】
用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置


[0001]本技术涉及一种用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置。

技术介绍

[0002]六氟化硫是一种无色、无臭、无毒、不燃的稳定气体，其分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过 180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。经常用于新一代超高压绝缘介质材料以及电子设备和雷达波导的气体绝缘体。电子级六氟化硫(纯度在99.999％以上)是电子气体的一种。高纯SF6是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子
高纯SF6在制备过程中，需要将SF6粗气进行水洗和碱洗，在水洗和碱洗过程中，容易附着水气，在精制过程中需要进行除水。目前的除水设备都是分离的，并且需要及时进行人工排水。人工排水过渡容易导致SF6粗气损失或污染环境。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，可以有效解决上述问题。
[0004]本技术是这样实现的：
[0005]一种用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，包括顺序连接的气泵、水气分离器、旋风分离器以及冷干机；所述水气分离器的第一排水管高于所述水气分离器的底部设置以形成水封；所述旋风分离器以及所述冷干机设置于所述水气分离器顶部，且所述旋风分离器的第二排水管以及所述冷干机的第三排水管均延伸到所述水气分离器的水封内，以实现所述水气分离器、所述旋风分离器以及所述冷干机的自动化排水。
[0006]本技术的有益效果是：本技术提供的用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，可以实现水洗和碱洗后的SF6粗气自动化、无污染的安全水气分离及排水，气体中水气的去除率可以达到98％以上。
附图说明
[0007]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0008]图1是本技术实施例提供的用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置的结构图。
具体实施方式
[0009]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用
新型实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0010]在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0011]参照图1所示，本技术实施例提供一种用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，包括顺序连接的气泵15、水气分离器16、旋风分离器17以及冷干机18；所述水气分离器16的第一排水管161高于所述水气分离器16的底部设置以形成水封；所述旋风分离器17以及所述冷干机18设置于所述水气分离器16顶部，且所述旋风分离器17的第二排水管171以及所述冷干机18的第三排水管181均延伸到所述水气分离器16 的水封内，以实现所述水气分离器16、所述旋风分离器17以及所述冷干机 18的自动化排水。可以理解，通过三级水气处理，气体中水气的去除率可以达到98％以上。另外，所述水气分离器16中水封的高度优选为0.4～0.5 米。水封高度过高影响水气的去除率，水封过低容易使产物气体通过水封口排出压力过小，造成污染及浪费。在其中一个实施例中，所述水气分离器16中水封的高度为0.4米。
[0012]在其中一个实施例中，所述冷干机18的底部高于所述旋风分离器17 的顶部设置，防止逆流。
[0013]以上所述仅为本技术的优选实施方式而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于电子级六氟化硫制备的水气自动化分离排放装置，其特征在于，包括顺序连接的气泵(15)、水气分离器(16)、旋风分离器(17)以及冷干机(18)；所述水气分离器(16)的第一排水管(161)高于所述水气分离器(16)的底部设置以形成水封；所述旋风分离器(17)以及所述冷干机(18)设置于所述水气分离器(16)顶部，且所述旋风分离器(17)的第二排水管(171)以及所述冷干机(18)的第三排水管(181)均延伸到...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘志强，林德荣，罗浩，张朝春，邱玲，张国聪，
申请(专利权)人：福建德尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：