电子级三氟化氯的收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种电子级三氟化氯的收集装置，包括：内罐(10)，其包括哈氏合金罐体(101)、设置于哈氏合金罐体(101)顶部和底部的进料管(102)以及出料管(103)、以及用于测量哈氏合金罐体(101)内部压力的压力传感器(104)；外套夹层(12)，包括包裹于内罐(10)的不锈钢外层(120)，以及与不锈钢外层(120)联通的惰性气体通入管道(121)以及惰性气体出口管道(122)；夹持设置于外套夹层(12)以及内罐(10)之间冷凝组件(11)，其包括冷凝管道(111)以及分别与冷凝管道(111)联通的进液管道(110)以及出液管道(112)；分析组件以及报警组件，分析组件用于分析惰性气体中三氟化氯的含量，报警组件用于检测到三氟化氯时报警。于检测到三氟化氯时报警。于检测到三氟化氯时报警。

【技术实现步骤摘要】
电子级三氟化氯的收集装置


[0001]本技术涉及一种电子级三氟化氯的收集装置。

技术介绍

[0002]目前，三氟化氯是一种氧化性极强的芯片刻蚀清洗剂，它能与大多数有机材料和无机材料甚至金属材料反应，可以使许多材料发生剧烈燃烧，在某些情况下甚至会爆炸。由于三氟化氯特殊的氧化性，对设备的材质及结构都有严苛的要求。国内尚未有收集和储存电子级三氟化氯的专用设备的相关报道。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种电子级三氟化氯的收集装置，可以有效解决上述问题。
[0004]本技术是这样实现的：
[0005]一种电子级三氟化氯的收集装置，包括：
[0006]内罐，其包括哈氏合金罐体、设置于所述哈氏合金罐体顶部和底部的进料管以及出料管、以及用于测量所述哈氏合金罐体内部压力的压力传感器；
[0007]外套夹层，包括包裹于所述内罐的不锈钢外层，以及与所述不锈钢外层联通的惰性气体通入管道以及惰性气体出口管道；
[0008]夹持设置于所述外套夹层以及所述内罐之间冷凝组件，其包括冷凝管道以及分别与所述冷凝管道联通的进液管道以及出液管道；
[0009]分析组件以及报警组件，所述分析组件用于分析惰性气体中三氟化氯的含量，所述报警组件用于检测到三氟化氯时报警。
[0010]作为进一步改进的，所述冷凝组件的温度范围为
‑
30℃～
‑
50℃。
[0011]作为进一步改进的，所述哈氏合金罐体的内表面的表面光洁度<Rmax 3 μm。
[0012]作为进一步改进的，所述哈氏合金罐体的内表面进一步包括三氟化氯钝化层以及氟气钝化层。
[0013]作为进一步改进的，所述收集装置进一步包括一称量组件，用于获取所述三氟化氯的实际存储量，定义所述哈氏合金罐体的体积为ML，其中，所述三氟化氯的最大存储量为1.42Mkg。
[0014]作为进一步改进的，所述报警组件进一步用于当实际存储量等于最大存储量时报警并停止充装收集三氟化氯。
[0015]本技术的有益效果是：首先，相较于单层罐体，本技术提供的双层罐体安全性更强；其次，通过在外套夹层中布置冷凝组件，对罐体内层中电子级三氟化氯的收集提供冷源，使之快速的降温液化形成负压，存储于所述收集装置中；再次，外套夹层中冷凝组件外部循环流动性的惰性气体，对外套夹层实施气相密封，可有效的预防三氟化氯泄露带来的危害，即使泄漏也可以降低三氟化氯的活性；最后，通过分析组件以及报警组件可以实时进行分析和报警，提高安全等级。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0017]图1是本技术实施例提供的电子级三氟化氯的收集装置的结构示意图。
具体实施方式
[0018]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0019]在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0020]参照图1所示，本技术实施例提供一种电子级三氟化氯的收集装置，包括：
[0021]内罐10，其包括哈氏合金罐体101、设置于所述哈氏合金罐体101顶部和底部的进料管102以及出料管103、以及用于测量所述哈氏合金罐体 101内部压力的压力传感器104；
[0022]外套夹层12，包括包裹于所述内罐10的不锈钢外层120，以及与所述不锈钢外层120联通的惰性气体通入管道121以及惰性气体出口管道122；
[0023]夹持设置于所述外套夹层12以及所述内罐10之间冷凝组件11，其包括冷凝管道111以及分别与所述冷凝管道111联通的进液管道110以及出液管道112；
[0024]分析组件以及报警组件，所述分析组件用于分析惰性气体中三氟化氯的含量，所述报警组件用于检测到三氟化氯时报警。
[0025]作为进一步改进的，所述哈氏合金罐体101的内表面的表面光洁度 <Rmax 3μm。
[0026]在其他实施例中，所述哈氏合金罐体101的内表面需进一步进行钝化处理，形成三氟化氯钝化层以及氟气钝化层。具体的，需对哈氏合金罐体101内部气体进行抽空置换，(在其中一个实施例中，抽空至5Pa),后充装一定量高纯氟(纯度99％)，对钢瓶及阀门通道进行预处理，充入气体一段1
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5天时间后，对钢瓶内部气体分析无其他杂质气体生成，则判定预处理合格，钢瓶内部已经形成了一层致密的氟气钝化层；2.预处理分析合格后，将瓶内气体抽真空(在其中一个实施例中，抽空至5Pa),后充入一定量三氟化氯(99.9％)进行再次钝化处理1
‑
5天，后重复分析瓶内气体，无杂质气体生成，判断形成三氟化氯钝化层处理合格。
[0027]作为进一步改进的，所述冷凝组件11的温度范围为
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30℃～
‑
50℃。更优选的，所述冷凝组件11的温度范围为
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35℃～
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40℃。低温可为所述三氟化氯的收集提供冷源，使之快
速的降温液化形成负压，存储于所述收集装置中(因为在实际的操作过程中，由于三氟化氯具有极强的腐蚀性，不可能使用泵等装置提供充装的压力或动力)。
[0028]作为进一步改进的，所述的电子级三氟化氯的收集装置，进一步包括一称量组件(图中未画出)，用于获取所述三氟化氯的实际存储量。由于所述三氟化氯的活性很强，且是气
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液两相共存的材料，因此，需要严格控制其实际存储量，防止发生危险。定义所述哈氏合金罐体101的体积为ML，优选的，所述三氟化氯的最大液体存储量为1/2ML，根据其物理参数计算获得所述三氟化氯的最大存储量约为1.42Mkg。另外，为了降低所述电子级三氟化氯的收集装置的危本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级三氟化氯的收集装置，其特征在于，包括：内罐(10)，其包括哈氏合金罐体(101)、设置于所述哈氏合金罐体(101)顶部和底部的进料管(102)以及出料管(103)、以及用于测量所述哈氏合金罐体(101)内部压力的压力传感器(104)；外套夹层(12)，包括包裹于所述内罐(10)的不锈钢外层(120)，以及与所述不锈钢外层(120)联通的惰性气体通入管道(121)以及惰性气体出口管道(122)；夹持设置于所述外套夹层(12)以及所述内罐(10)之间冷凝组件(11)，其包括冷凝管道(111)以及分别与所述冷凝管道(111)联通的进液管道(110)以及出液管道(112)；分析组件以及报警组件，所述分析组件用于分析惰性气体中三氟化氯的含量，所述报警组件用于检测到三氟化氯时报警。2.如权利要求1所述的电子级三氟化氯的收集装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：申黎明，华祥斌，陈施华，华小林，于睿洁，吴强，
申请(专利权)人：福建德尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：