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本实用新型提供了一种电子级三氟化氯的收集装置，包括：内罐(10)，其包括哈氏合金罐体(101)、设置于哈氏合金罐体(101)顶部和底部的进料管(102)以及出料管(103)、以及用于测量哈氏合金罐体(101)内部压力的压力传感器(104)；...
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