石英承载器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英承载器，用于固定晶圆片，石英承载器包括：第一固定部、固定轴、第二固定部和固定槽；第一固定部的截面呈弧形；至少两个固定轴的一端与第一固定部的上表面相连接；第二固定部的截面呈弧形，且第二固定部的上表面与至少两个固定轴的另一端相连接；至少两个固定槽设置在固定轴上，且使晶圆片嵌于固定槽中，以将晶圆片固定；其中，相邻两个固定槽之间设置有间隔，且至少两个固定槽均匀设置在固定轴上。由于至少两个固定槽均匀设置固定轴上，以实现相邻两个嵌于固定槽中的晶圆片之间的距离相同，从而实现使多个晶圆片的散热效率相同，以避免多个晶圆片出现散热不均，进而提高晶圆片的散热效率。

【技术实现步骤摘要】
石英承载器
本技术涉及石英
，具体而言，涉及一种石英承载器。
技术介绍
目前，在相关技术中，现有的石英承载装置在承载晶圆片时，相邻连个晶圆片处于贴合状态，因此晶圆片之间不存在间隙，这将不利于晶圆片的散热，及严重影响扩散工艺中的镀膜不均匀，从而会对晶圆片造成一定的损坏，造成晶圆片不良率太高。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的提出一种石英承载器。有鉴于此，本技术提供了一种石英承载器，用于固定晶圆片，石英承载器包括：第一固定部、固定轴、第二固定部和固定槽；第一固定部的截面呈弧形；至少两个固定轴的一端与第一固定部的上表面相连接；第二固定部的截面呈弧形，且第二固定部的上表面与至少两个固定轴的另一端相连接；至少两个固定槽设置在固定轴上，且使晶圆片嵌于固定槽中，以将晶圆片固定；其中，相邻两个固定槽之间设置有间隔，且至少两个固定槽均匀设置在固定轴上。在该技术方案中，通过将至少两个固定轴的一端与截面呈弧形的第一固定部的上表面相连接，并将至少两个固定轴的另一端与截面呈弧形的第二固定部的上表面相连接，以实现将第一固定部、固定轴和第二固定部三者连接在一起，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石英承载器，用于固定晶圆片，其特征在于，所述石英承载器包括：第一固定部，所述第一固定部的截面呈弧形；固定轴，至少两个所述固定轴的一端与所述第一固定部的上表面相连接；第二固定部，所述第二固定部的截面呈弧形，且所述第二固定部的上表面与至少两个所述固定轴的另一端相连接；固定槽，至少两个所述固定槽设置在所述固定轴上，且使所述晶圆片嵌于所述固定槽中，以将所述晶圆片固定；其中，相邻两个所述固定槽之间设置有间隔，且至少两个所述固定槽均匀设置在所述固定轴上。

【技术特征摘要】
1.一种石英承载器，用于固定晶圆片，其特征在于，所述石英承载器包括：第一固定部，所述第一固定部的截面呈弧形；固定轴，至少两个所述固定轴的一端与所述第一固定部的上表面相连接；第二固定部，所述第二固定部的截面呈弧形，且所述第二固定部的上表面与至少两个所述固定轴的另一端相连接；固定槽，至少两个所述固定槽设置在所述固定轴上，且使所述晶圆片嵌于所述固定槽中，以将所述晶圆片固定；其中，相邻两个所述固定槽之间设置有间隔，且至少两个所述固定槽均匀设置在所述固定轴上。2.根据权利要求1所述的石英承载器，其特征在于：所述固定轴为四个，且四个所述固定轴沿所述第一固定部和所述第二固定部的中线均匀分部。3.根据权利要求1所述的石英承载器，其特征在于，所述固定槽包括：本体，所述本体为矩形槽；引导部，所述引导部与所述本体相连接，且所述引导部截面的两侧边的距离由所述本体向背离所述本体方向逐渐增大。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李光华，赵伟恒，高峰，
申请(专利权)人：沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21