石英保温桶制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英保温桶，石英保温桶包括：壳体、盖体、滑槽、支板、横板、手柄、固定板、容纳槽、限位槽和隔离罩；壳体的一侧设置有开口；盖体盖合在壳体的开口端，盖体的一端与壳体转动连接，且盖体的另一端与壳体相连接；两个滑槽平行设置在壳体底面上；支板垂直于壳体的底面，两个支板分别嵌入两个滑槽内，两个支板分别与两个滑槽滑动连接；横板垂直于支板，且横板的底面同时与两个支板相连接；手柄设置在横板靠近盖体的侧面上；固定板垂直于横板，两个固定板平行设置，且两个固定板同时与横板的顶面相连接；至少四个容纳槽分别对称设置在两个固定板相对的两个侧面上，容纳槽向背离盖体的方向延伸，且容纳槽向靠近壳体的方向凹陷。向凹陷。向凹陷。

【技术实现步骤摘要】
石英保温桶


[0001]本技术涉及保温桶
，具体而言，涉及一种石英保温桶。

技术介绍

[0002]目前，在相关技术中，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其形状为圆形，在圆晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。石英是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料，晶圆在制造的冷却过程中，需要将晶圆放置于保温桶中，对圆晶片进行保温，以待后续加工处理。现有的保温桶大多为单层结构，保温效果较差，无法满足保温需求。因此，设计一种石英保温桶确保圆晶片在长时间放置后，仍达到加工要求的温度，就是十分必要的了。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本技术提出一种石英保温桶。
[0005]有鉴于此，本技术提供了一种石英保温桶，石英保温桶包括：壳体、盖体、滑槽、支板、横板、手柄、固定板、容纳槽、限位槽和隔离罩；壳体的一侧设置有开口；盖体盖合在壳体的开口端，盖体的一端与壳体转动连接，且盖体的另一端与壳体相连接；两个滑槽平行设置在壳体底面上；支板垂直于壳体的底面，两个支板分别嵌入两个滑槽内，且两个支板分别与两个滑槽滑动连接；横板垂直于支板，且横板的底面同时与两个支板相连接；手柄设置在横板靠近盖体的侧面上；固定板垂直于横板，两个固定板平行设置，且两个固定板同时与横板的顶面相连接；至少四个容纳槽分别对称设置在两个固定板相对的两个侧面上，容纳槽向背离盖体的方向延伸，且容纳槽向靠近壳体的方向凹陷；限位槽设置在横板的顶面上；隔离罩同时罩设在两个固定板的外侧，且隔离罩嵌入限位槽内。
[0006]在该技术方案中，首先，通过使壳体的一侧设置有开口，以使壳体具有容纳的功能和空间；其次，通过将盖体盖合在壳体的开口端，盖体的一端与壳体转动连接，且盖体的另一端与壳体相连接，以通过盖体将壳体密封，且盖体与壳体转动连接，使盖体具有灵活性，便于快速开启；再次，通过将两个滑槽平行设置在壳体底面上，并使支板垂直于壳体的底面，两个支板分别嵌入两个滑槽内，且两个支板分别与两个滑槽滑动连接，滑槽可对支板进行限位，确保支板的稳定性，同时支板可在滑槽内滑动，便于移动支板；再次，通过使横板垂直于支板，且横板的底面同时与两个支板相连接，以通过支板对横板进行支撑，使横板与支板同步运动；再次，通过将手柄设置在横板靠近盖体的侧面上，以便于将横板和支板从壳体内抽出；再次，通过使固定板垂直于横板，两个固定板平行设置，且两个固定板同时与横板的顶面相连接，以将固定板固定在横板上，确保固定板的稳定性；再次，通过使至少四个容纳槽分别对称设置在两个固定板相对的两个侧面上，容纳槽向背离盖体的方向延伸，且容纳槽向靠近壳体的方向凹陷，以实现对圆晶片的固定和支撑的作用，避免圆晶片之间相互接触、堆叠，避免圆晶片之间产生摩擦，确保圆晶片各处温度均等，从而确保圆晶片不被损
坏；再次，通过将限位槽设置在横板的顶面上，并使隔离罩同时罩设在两个固定板的外侧，且隔离罩嵌入限位槽内，以使隔离罩与横板卡接，避免抽拉把手时，隔离罩与横板发生相对位移或倾倒的问题产生，确保隔离罩的稳定性，从而避免隔离罩与圆晶片发生碰撞，导致圆晶片损坏的问题产生。采用此种连接方式，结构简单，使用时将圆晶片分别放入两个相对的容纳槽内，同时对多个圆晶片进行存放，并避免圆晶片之间相互接触，产生摩擦，从而避免圆晶片磨损、损坏，确保圆晶片可正常使用，后续生产工作顺利进行。通过设置隔离罩避免晶圆片与外部环境接触，同时使壳体与隔离罩之间形成真空环境，减少热量散失，提高对圆晶片的保温效果。取出晶圆片时，通过手柄将横板、保护罩与晶圆片同时取出，确保圆晶片持续处于安全环境中，避免圆晶片与外部环境直接接触，从而确保保温后，晶圆片部丧失原有性能，保证圆晶片可正产使用。
[0007]另外，本技术提供的上述技术方案中的石英保温桶还可以具有如下附加技术特征：
[0008]在上述技术方案中，优选地，石英保温桶还包括：第一连接部、让位槽、第二连接部和转轴；两个第一连接部同时与壳体相连接；两个让位槽分别设置在两个第一连接部上；两个第二连接部分别嵌入两个让位槽内，且两个第二连接部同时与盖体相连接；转轴依次穿过第一连接部和第二连接部，且转轴与第二连接部之间存在间隙。
[0009]在该技术方案中，通过使两个第一连接部同时与壳体相连接，以将第一连接部固定在壳体上；通过将两个让位槽分别设置在两个第一连接部上，以使第一连接部具有容纳的空间；通过使两个第二连接部分别嵌入两个让位槽内，且两个第二连接部同时与盖体相连接，以将第二连接部固定在盖体上；通过使转轴依次穿过第一连接部和第二连接部，且转轴与第二连接部之间存在间隙，以使转轴与第二连接部转动连接，从而使盖体可相对于壳体转动，提升盖体的灵活性，方便快捷，便于将保温桶开启。
[0010]在上述技术方案中，优选地，石英保温桶还包括：把手；把手与盖体相连接。
[0011]在该技术方案中，通过使把手与盖体相连接，通过拉拽把手可将盖体开启，操作简单，提升保温桶的使用体验。
[0012]在上述技术方案中，优选地，石英保温桶还包括：密封条；密封条为弹性体，密封条沿盖体的周向设置在盖体的一侧面上，且密封条与壳体相贴合。
[0013]在该技术方案中，通过使密封条为弹性体，密封条沿盖体的周向设置在盖体的一侧面上，且密封条与壳体相贴合，通过密封条密封，减少壳体与盖体之间的间隙，减少热量散出，提升保温效果。
[0014]在上述技术方案中，优选地，密封条为橡胶密封条。
[0015]在该技术方案中，通过使密封条为橡胶密封条，通过使密封条为绝缘体，避免电子转移，从而确保无电流产生，保证圆晶片制造后工序顺利进行。
[0016]在上述技术方案中，优选地，横板为石英体；固定板为石英体；隔离罩为石英体。
[0017]在该技术方案中，通过使横板、固定板和隔离罩为石英体，以避免圆晶片与其他物品接触，产生电流，确保圆晶片的使用效果。
[0018]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0019]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0020]图1示出了根据本技术的一个实施例的石英保温桶的结构示意图；
[0021]图2为图1根据本技术的一个实施例的石英保温桶的结构示意图的A处放大图；
[0022]图3示出了根据本技术的另一个实施例的石英保温桶的结构示意图；
[0023]图4示出了根据本技术的再一个实施例的石英保温桶的结构示意图；
[0024]其中，图1至图4中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：
[0025]8圆晶片，10壳体，12盖体，14滑槽，16支板，18横板，20手柄，22固定板，24容纳槽，26限位槽，28隔离罩，30第一连接部，3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英保温桶，其特征在于，所述石英保温桶包括：壳体，所述壳体的一侧设置有开口；盖体，所述盖体盖合在所述壳体的开口端，所述盖体的一端与所述壳体转动连接，且所述盖体的另一端与所述壳体相连接；滑槽，两个所述滑槽平行设置在所述壳体底面上；支板，所述支板垂直于所述壳体的底面，两个所述支板分别嵌入两个所述滑槽内，且两个所述支板分别与两个所述滑槽滑动连接；横板，所述横板垂直于所述支板，且所述横板的底面同时与两个所述支板相连接；手柄，所述手柄设置在所述横板靠近所述盖体的侧面上；固定板，所述固定板垂直于所述横板，两个所述固定板平行设置，且两个所述固定板同时与所述横板的顶面相连接；容纳槽，至少四个所述容纳槽分别对称设置在两个所述固定板相对的两个侧面上，所述容纳槽向背离所述盖体的方向延伸，且所述容纳槽向靠近所述壳体的方向凹陷；限位槽，所述限位槽设置在所述横板的顶面上；隔离罩，所述隔离罩同时罩设在两个所述固定板的外侧，且所述隔离罩嵌入所述限位槽内。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：李光华，
申请(专利权)人：沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：