带有限位功能的石英承载器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种带有限位功能的石英承载器，涉及石英技术领域；石英承载器用于承载晶圆片，带有限位功能的石英承载器包括：支撑柱、第一连接板、第一滑槽、第一固定轴、第一限位槽、第一螺母、第二连接板、第二滑槽、第二固定轴、第二限位槽和第二螺母；四个支撑柱竖直设置，且四个支撑柱之间有距离；两个第一连接板的两端分别与相邻两个支撑柱相连接，且两个第一连接板位置相对；两个第一滑槽分别设置在两个第一连接板上；第一固定轴两端的外壁设有第一外螺纹，两个第一固定轴的两端分别嵌入两个第一滑槽内，且两个第一固定轴之间有距离。离。离。

【技术实现步骤摘要】
带有限位功能的石英承载器


[0001]本技术涉及石英
，具体而言，涉及一种带有限位功能的石英承载器。

技术介绍

[0002]目前，在相关技术中，石英承载器是存放晶圆片时使用到的装置，在现有的技术中，只能存放一定型号的晶圆片，且稳定性较低。因此，设计一种可存放不同型号的晶圆片，并提高装置的适用性就是十分必要的了。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本技术提出一种带有限位功能的石英承载器。
[0005]有鉴于此，本技术提供了一种带有限位功能的石英承载器，石英承载器用于承载晶圆片，带有限位功能的石英承载器包括：支撑柱、第一连接板、第一滑槽、第一固定轴、第一限位槽、第一螺母、第二连接板、第二滑槽、第二固定轴、第二限位槽和第二螺母；四个支撑柱竖直设置，且四个支撑柱之间有距离；两个第一连接板的两端分别与相邻两个支撑柱相连接，且两个第一连接板位置相对；两个第一滑槽分别设置在两个第一连接板上；第一固定轴两端的外壁设有第一外螺纹，两个第一固定轴的两端分别嵌入两个第一滑槽内，且两个第一固定轴之间有距离；至少两个第一限位槽分别设置在两个第一固定轴上，相邻两个第一限位槽之间有距离，且晶圆片的一端嵌入第一限位槽内；第一螺母内设有第一内螺纹，四个第一螺母分别套设在两个第一固定轴的两端，且第一螺母与第一连接板的一侧相贴合；两个第二连接板的两端分别与相邻两个支撑柱相连接，两个第二连接板位置相对，且第二连接板位于第一连接板的下方；两个第二滑槽分别设置在两个第二连接板上；第二固定轴两端的外壁设有第二外螺纹，两个第二固定轴的两端分别嵌入两个第二滑槽内，且两个第二固定轴之间有距离；至少两个第二限位槽分别设置在两个第二固定轴上，相邻两个第二限位槽之间有距离，且晶圆片的另一端嵌入第二限位槽内；第二螺母内设有第二内螺纹，四个第二螺母分别套设在两个第二固定轴的两端，且第二螺母与第二连接板的一侧相贴合；其中，第一内螺纹与第一外螺纹相适配，第二内螺纹与第二外螺纹相适配。
[0006]在该技术方案中，首先，通过将四个支撑柱竖直设置，且四个支撑柱之间有距离，并将两个第一连接板的两端分别与相邻两个支撑柱相连接，且两个第一连接板位置相对，实现了第一连接板与支撑柱相连接的作用；其次，通过将两个第一滑槽分别设置在两个第一连接板上，实现了第一滑槽设置在第一连接板上的作用；再次，通过将第一固定轴两端的外壁设有第一外螺纹，两个第一固定轴的两端分别嵌入两个第一滑槽内，且两个第一固定轴之间有距离，实现了第一固定轴可在第一滑槽内滑动的作用；再次，通过将至少两个第一限位槽分别设置在两个第一固定轴上，相邻两个第一限位槽之间有距离，且晶圆片的一端嵌入第一限位槽内，实现了晶圆片嵌入第一限位槽内的作用；再次，通过将第一螺母内设有第一内螺纹，四个第一螺母分别套设在两个第一固定轴的两端，且第一螺母与第一连接板
的一侧相贴合，实现了正转或反转第一螺母，使第一螺母与第一连接板相贴合，从而固定第一固定轴位置的作用；再次，通过将两个第二连接板的两端分别与相邻两个支撑柱相连接，两个第二连接板位置相对，且第二连接板位于第一连接板的下方，实现了第二连接板与支撑柱相连接；再次，通过将两个第二滑槽分别设置在两个第二连接板上，实现了第二滑槽设置在第二连接板上；再次，通过将第二固定轴两端的外壁设有第二外螺纹，两个第二固定轴的两端分别嵌入两个第二滑槽内，且两个第二固定轴之间有距离，实现了第二固定轴在第二滑槽内滑动的作用；再次，通过将至少两个第二限位槽分别设置在两个第二固定轴上，相邻两个第二限位槽之间有距离，且晶圆片的另一端嵌入第二限位槽内，实现了第二限位槽固定晶圆片的另一端位置的作用；再次，通过将第二螺母内设有第二内螺纹，四个第二螺母分别套设在两个第二固定轴的两端，且第二螺母与第二连接板的一侧相贴合，实现了正转或反转第二螺母，使第二螺母与第二连接板相贴合，固定第二固定轴的位置。采用上述结构，通过将晶圆片的四端分别嵌入两个第一固定轴的第一限位槽和两个第二固定轴的第二限位槽内，实现4点固定晶圆片位置的作用，两个第一固定轴在第一滑槽内移动，两个第二固定轴在第二滑槽内移动，调整合适的距离，便于承载不同型号的晶圆片，正转或反转第一螺母和第二螺母，使第一螺母和第二螺母分别与第一连接板和第二连接板的一侧相贴合，从而固定第一固定轴和第二固定轴的位置，提高了装置的稳定性。
[0007]另外，本技术提供的上述技术方案中的带有限位功能的石英承载器还可以具有如下附加技术特征：
[0008]在上述技术方案中，优选地，带有限位功能的石英承载器还包括：滑动杆和移动槽；滑动杆的两端分别套设在第一固定轴的一端和第二固定轴的一端，滑动杆与第一固定轴和第二固定轴转动连接，且滑动杆位于第一连接板和第二连接板的内侧；四个移动槽分别设置在四个支撑柱上，两个第二连接板的两端分别嵌入两个移动槽内。
[0009]在该技术方案中，通过将滑动杆的两端分别套设在第一固定轴的一端和第二固定轴的一端，滑动杆与第一固定轴和第二固定轴转动连接，且滑动杆位于第一连接板和第二连接板的内侧，实现了第一固定轴移动，通过滑动杆带动第二固定轴移动的作用；再次，通过将四个移动槽分别设置在四个支撑柱上，两个第二连接板的两端分别嵌入两个移动槽内，实现了第二连接板在移动槽内上下移动的作用，第二连接板移动的同时，滑动杆带动第一固定轴移动，从而便于调节合适的距离，对晶圆片支撑，提高了装置的适用性。
[0010]在上述技术方案中，优选地，带有限位功能的石英承载器还包括：长条孔、螺纹杆和第三螺母；两个长条孔分别设置在支撑柱的两侧，且两个长条孔位置相对；螺纹杆的外壁设有第三外螺纹，螺纹杆的一端依次穿过支撑柱和第二连接板；第三螺母内设有第三内螺纹，两个第三螺母分别套设在螺纹杆的两端，且两个第三螺母分别与支撑柱的两侧相贴合；其中，第三内螺纹与第三外螺纹相适配。
[0011]在该技术方案中，通过将两个长条孔分别设置在支撑柱的两侧，且两个长条孔位置相对，实现了长条孔设置在支撑柱上；再次，通过将螺纹杆的外壁设有第三外螺纹，螺纹杆的一端依次穿过支撑柱和第二连接板，实现了螺纹杆依次穿过支撑柱和第二连接板的作用；再次，通过将第三螺母内设有第三内螺纹，两个第三螺母分别套设在螺纹杆的两端，且两个第三螺母分别与支撑柱的两侧相贴合，实现了正转或反转第三螺母，使两个第三螺母分别贴合在支撑柱的两侧，固定螺纹杆位置的作用，从而固定第二连接板位置，提高了装置
的稳定性。
[0012]在上述技术方案中，优选地，带有限位功能的石英承载器还包括：第一固定板和第二固定板；四个第一固定板的两端分别与四个支撑柱首尾相连；四个第二固定板的两端分别与四个支撑柱首尾相连，且第二固定板位于第一固定板的下方。
[0013]在该技术方案中，通过将四个第一固定板的两端分别与四个支撑柱首尾相连，实现了第一固定板与支撑柱首尾相连，提高装置稳定性的作用；再次，通过将四个第二固定板的两端分别与四个支撑柱首尾相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有限位功能的石英承载器，所述石英承载器用于承载晶圆片，其特征在于，所述带有限位功能的石英承载器包括：支撑柱，四个所述支撑柱竖直设置，且四个所述支撑柱之间有距离；第一连接板，两个所述第一连接板的两端分别与相邻两个所述支撑柱相连接，且两个所述第一连接板位置相对；第一滑槽，两个所述第一滑槽分别设置在两个所述第一连接板上；第一固定轴，所述第一固定轴两端的外壁设有第一外螺纹，两个所述第一固定轴的两端分别嵌入两个所述第一滑槽内，且两个所述第一固定轴之间有距离；第一限位槽，至少两个所述第一限位槽分别设置在两个所述第一固定轴上，相邻两个所述第一限位槽之间有距离，且所述晶圆片的一端嵌入所述第一限位槽内；第一螺母，所述第一螺母内设有第一内螺纹，四个所述第一螺母分别套设在两个所述第一固定轴的两端，且所述第一螺母与所述第一连接板的一侧相贴合；第二连接板，两个所述第二连接板的两端分别与相邻两个所述支撑柱相连接，两个所述第二连接板位置相对，且所述第二连接板位于所述第一连接板的下方；第二滑槽，两个所述第二滑槽分别设置在两个所述第二连接板上；第二固定轴，所述第二固定轴两端的外壁设有第二外螺纹，两个所述第二固定轴的两端分别嵌入两个所述第二滑槽内，且两个所述第二固定轴之间有距离；第二限位槽，至少两个所述第二限位槽分别设置在两个所述第二固定轴上，相邻两个所述第二限位槽之间有距离，且所述晶圆片的另一端嵌入所述第二限位槽内；第二螺母，所述第二螺母内设有第二内螺纹，四个所述第二螺母分别套设在两个所述第二固定轴的两端，且所述第二螺母与所述第二连接板的一侧相贴合；其中，所述第一内螺纹与所述第一外螺纹相适配，所述第二内螺纹与所述第二外螺纹相适配。2.根据权利要求1所述的带有限位功能的石英承载器，其特征在于，所述带有限位功能的石英承载器还包括：滑动杆，所述滑动杆的两端分别套设在...

【专利技术属性】
技术研发人员：李光华，
申请(专利权)人：沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：