本实用新型专利技术提供了一种石英承载装置，石英承载装置统包括：侧板、端板、第一固定轴、第一固定槽、第二固定轴、第二固定槽和支撑座；两个侧板对称设置，且两个侧板之间有间距；两个端板的两端分别与两个侧板相连接，两个端板对称设置，且两个端板和两个侧板围成一矩形框架；两个第一固定轴的两端分别与两个端板相连接，两个第一固定轴位于两个侧板之间，且两个第一固定轴之间有间距；第一固定槽呈矩形，至少两个第一固定槽设置在第一固定轴上；两个第二固定轴的两端分别与两个端板相连接，两个第二固定轴位于两个第一固定轴之间，两个第二固定轴之间有间距，且两个第二固定轴位于两个第一固定轴的上方；第二固定槽第一固定槽相对。第二固定槽第一固定槽相对。第二固定槽第一固定槽相对。
【技术实现步骤摘要】
石英承载装置
[0001]本技术涉及石英
，具体而言，涉及一种石英承载装置。
技术介绍
[0002]目前，在相关技术中，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其形状为圆形，在圆晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。石英是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料，晶圆在制造的过程中，需要将晶圆放置于石英中，对圆晶片进行喷淋，因此设计一种稳定性高，具有良好夹取力的石英承载装置，尤为重要。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本技术提出一种石英承载装置。
[0005]有鉴于此，本技术提供了一种石英承载装置，石英承载装置统包括：侧板、端板、第一固定轴、第一固定槽、第二固定轴、第二固定槽和支撑座；两个侧板对称设置，且两个侧板之间有间距；两个端板的两端分别与两个侧板相连接，两个端板对称设置，且两个端板和两个侧板围成一矩形框架；两个第一固定轴的两端分别与两个端板相连接，两个第一固定轴位于两个侧板之间，且两个第一固定轴之间有间距；第一固定槽呈矩形，至少两个第一固定槽设置在第一固定轴上；两个第二固定轴的两端分别与两个端板相连接，两个第二固定轴位于两个第一固定轴之间，两个第二固定轴之间有间距，且两个第二固定轴位于两个第一固定轴的上方；第二固定槽呈V型，至少两个第二固定槽设置在第二固定轴上，且第二固定槽与第一固定槽相对；支撑座的截面呈梯形，四个支撑座的上底面分别与两个侧板的底面相连接；其中，晶圆片同时嵌入两个第一固定槽和两个第二固定槽内。
[0006]在该技术方案中，首先，通过将两个端板的两端分别与两个侧板相连接，并将两个端板对称设置，使两个端板和两个侧板围成一矩形框架，实现通过两个端板和两个侧板固定装置的作用，提高装置的稳定性；其次，通过将两个第一固定轴的两端分别与两个端板相连接，使两个第一固定轴位于两个侧板之间，且两个第一固定轴之间有间距，实现将两个第一固定轴固定在两个端板之间；再次，通过将第一固定槽呈矩形，至少两个第一固定槽设置在第一固定轴上，实现通过第一固定槽将晶圆片的一端固定在第一固定轴上；再次，通过将两个第二固定轴的两端分别与两个端板相连接，使两个第二固定轴位于两个第一固定轴之间，两个第二固定轴之间有间距，并将两个第二固定轴位于两个第一固定轴的上方，以实现将两个第二固定轴固定在两个端板之间；再次，通过将第二固定槽呈V型，并将至少两个第二固定槽设置在第二固定轴上，使第二固定槽与第一固定槽相对，实现将晶圆片两端分别固定在第二固定槽与第一固定槽之间，并通过第二固定槽与第一固定槽对晶圆片进行限位，防止晶圆片脱落，提高装置的稳定性；再次，通过将支撑座的截面呈梯形，使四个支撑座的上底面分别与两个侧板的底面相连接，实现通过四个支撑座对装置进行支撑，采用此种
连接方式，通过将两个侧板与两个端板相连接，以实现容纳装置并提高装置的稳定性，并将第一固定轴与第二固定轴固定在两个端板之间，第一固定轴与第二固定轴上分别设有第一固定槽和第二固定槽，当对晶圆片存放时，将晶圆片放置在第一固定槽和第二固定槽之间，同时通过四个支撑座对装置进行支撑，以提高装置的稳定性，采用此种结构存放晶圆片稳定性高，便于存放和夹取。
[0007]另外，本技术提供的上述技术方案中的石英承载装置还可以具有如下附加技术特征：
[0008]在上述技术方案中，优选地，石英承载装置还包括：引导部；引导部与第一固定槽相连通，引导部截面的两侧边的距离由第一固定槽向背离第一固定槽方向逐渐增大。
[0009]在该技术方案中，通过将引导部与第一固定槽相连通，使引导部截面的两侧边的距离由第一固定槽向背离第一固定槽方向逐渐增大，实现便于晶圆片通过引导部进入第一固定槽内，便于放置，提高装置的工作效率。
[0010]在上述技术方案中，优选地，引导部截面的两侧边呈60度。
[0011]在该技术方案中，通过将引导部截面的两侧边呈60度，以实现晶圆片通过预定角度放置在第一固定槽内，减小放置难度。
[0012]在上述技术方案中，优选地，石英承载装置还包括：移动板、间隔部、连接块、卡接部和拉手；移动板设置有移动槽，移动板位于端板的一侧；两个间隔部同时与移动板的两侧相连接，且间隔部与端板相连接；连接块呈凸字型，至少部分连接块的小端嵌入移动槽内，且连接块的大端与移动板一侧面相贴合；卡接部与连接块相连接，且卡接部与移动板的另一侧面相贴合；拉手与连接块相连接。
[0013]在该技术方案中，通过将移动板设置有移动槽，移动板位于端板的一侧，并将两个间隔部同时与移动板的两侧相连接，使间隔部与端板相连接，实现移动板通过间隔部固定在端板上；通过将连接块呈凸字型，使至少部分连接块的小端嵌入移动槽内，并将连接块的大端与移动板一侧面相贴合，实现通过连接块带动移动板上下移动；通过将卡接部与连接块相连接，且卡接部与移动板的另一侧面相贴合，实现通过卡接部与连接块对移动板进行限位，防止移动板位置发生偏移；通过将拉手与连接块相连接，实现通过拉手带动连接块同步运动，从而实现通过拉手移动产品，以提高装置的灵活性。采用上述结构，在不移动产品时，拉手因重力而言移动槽下落，从而使拉手的顶面高度低于侧板和端板的顶面高度，以便于其他工具(如机械手)在产品的上方移动，从而便于其他工具对放置在产品内的晶圆片进行抓取，进而提升产品的使用性。而且，在操作者准备手动移动产品时，操作者拉拽拉手，使拉手沿着移动槽上升，并使拉手高与侧板和端板的顶面高度，从而便于操作者进行操作。
[0014]在上述技术方案中，优选地，石英承载装置还包括：盲孔和连接螺栓；盲孔设在拉手上；连接螺栓依次穿过拉手、连接块和卡接部，且连接螺栓嵌入盲孔内。
[0015]在该技术方案中，通过将盲孔设在拉手上，使连接螺栓依次穿过拉手、连接块和卡接部，并将连接螺栓嵌入盲孔内，实现通过连接螺栓将拉手、连接块和卡接部相固定，提高装置的稳定性。
[0016]在上述技术方案中，优选地，石英承载装置还包括：夹持架、夹紧板和弹簧；夹持架为两端具有开口的中空腔体，两个夹持架设置在端板上；夹紧板嵌入夹持架内；弹簧嵌入夹持架内，弹簧的一端与夹持架的相连接，且弹簧的另一端与夹紧板相连接。
[0017]在该技术方案中，通过将夹持架为两端具有开口的中空腔体，使两个夹持架设置在端板上，夹紧板嵌入夹持架内，并将弹簧嵌入夹持架内，使弹簧的一端与夹持架的相连接，同时将弹簧的另一端与夹紧板相连接，实现将弹簧固定在夹持架与夹紧板之间，当抬取装置时，使机械手嵌入支撑架内，通过弹簧对机械手进行限位夹紧，以便于夹取，进而防止机械手脱落。
[0018]在上述技术方案中，优选地，石英承载装置还包括：套管、容纳盲孔和移动杆；套管的一端固定在夹紧板上，且套管嵌入弹簧内；容纳盲孔设置在套管的另一端；移动杆的一端嵌入容纳盲孔内，且移动杆的另一端与夹持架相连接。
[0019]在该技术方案中，通过将套管的一端固定在夹紧板上，且套本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英承载装置，用于固定晶圆片，其特征在于，所述石英承载装置统包括：侧板，两个所述侧板对称设置，且两个所述侧板之间有间距；端板，两个所述端板的两端分别与两个所述侧板相连接，两个所述端板对称设置，且两个所述端板和两个所述侧板围成一矩形框架；第一固定轴，两个所述第一固定轴的两端分别与两个所述端板相连接，两个所述第一固定轴位于两个所述侧板之间，且两个所述第一固定轴之间有间距；第一固定槽，所述第一固定槽呈矩形，至少两个所述第一固定槽设置在所述第一固定轴上；第二固定轴，两个所述第二固定轴的两端分别与两个所述端板相连接，两个所述第二固定轴位于所述两个所述第一固定轴之间，两个所述第二固定轴之间有间距，且两个所述第二固定轴位于两个所述第一固定轴的上方；第二固定槽，所述第二固定槽呈V型，至少两个所述第二固定槽设置在所述第二固定轴上，且所述第二固定槽与所述第一固定槽相对；支撑座，所述支撑座的截面呈梯形，四个所述支撑座的上底面分别与两个所述侧板的底面相连接；其中，所述晶圆片同时嵌入两个所述第一固定槽和两个所述第二固定槽内。2.根据权利要求1所述的石英承载装置，其特征在于，所述石英承载装置还包括：引导部，所述引导部与所述第一固定槽相连通，所述引导部截面的两侧边的距离由所述第一固定槽向背离所述第一固定槽方向逐渐增大。3.根据权利要求2所述的石英承载装置，其特征在于：所述引导部截面的两侧边呈60度。4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：李光华，
申请(专利权)人：沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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