温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种石英承载器，用于固定晶圆片，石英承载器包括：第一固定部、固定轴、第二固定部和固定槽；第一固定部的截面呈弧形；至少两个固定轴的一端与第一固定部的上表面相连接；第二固定部的截面呈弧形，且第二固定部的上表面与至少两个固定轴的另...
该专利属于沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯贝伊尔半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。