【技术实现步骤摘要】
一种除膜装置
本技术涉及新能源
,特别涉及一种除膜装置。
技术介绍
在薄膜太阳能电池制备过程中,化学水浴镀膜(CBD)设备对衬底进行硫化镉(CdS)镀膜后,会在衬底的四个侧边附着形成膜层。附着于衬底的四个侧边的膜层,需要清洗去除。现有技术中去除衬底的四个侧边的膜层的方法是利用盘刷打磨衬底的四个侧边,其中,盘刷的设置刷毛的一面与衬底相垂直,盘刷的刷毛长近2cm,刷毛的直径约为1200目。在膜层的去除过程中,由于盘刷的轴线与衬底相平行,盘刷的刷毛与衬底的接触面积小,且盘刷的刷毛与衬底接触产生的摩擦力小,导致膜层去除不彻底,去除率低。因此,如何提高膜层的去除率,成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供了一种除膜装置,以提高膜层的去除率。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种除膜装置,所述除膜装置为用于去除CBD工艺中在衬底的侧边上形成的膜层的除膜装置,所述除膜装置包括清洁刷和驱动所述清洁刷转动的驱动件,所述清洁刷包括:滚刷体,所述滚刷体与所述驱动件连接,所述滚刷体的转动轴线与所述衬底所在的平面垂直;刷毛,所述刷毛的一端与所述滚刷体固 ...
【技术保护点】
1.一种除膜装置,其特征在于,所述除膜装置为用于去除CBD工艺中在衬底(3)的侧边上形成的膜层的除膜装置,所述除膜装置包括清洁刷和驱动所述清洁刷转动的驱动件,所述清洁刷包括:滚刷体(1),所述滚刷体(1)与所述驱动件连接,所述滚刷体(1)的转动轴线与所述衬底(3)所在的平面垂直;刷毛(2),所述刷毛(2)的一端与所述滚刷体(1)固定连接,所述刷毛(2)的另一端为自由端,所述自由端与所述衬底(3)的侧边接触。
【技术特征摘要】
1.一种除膜装置,其特征在于,所述除膜装置为用于去除CBD工艺中在衬底(3)的侧边上形成的膜层的除膜装置,所述除膜装置包括清洁刷和驱动所述清洁刷转动的驱动件,所述清洁刷包括:滚刷体(1),所述滚刷体(1)与所述驱动件连接,所述滚刷体(1)的转动轴线与所述衬底(3)所在的平面垂直;刷毛(2),所述刷毛(2)的一端与所述滚刷体(1)固定连接,所述刷毛(2)的另一端为自由端,所述自由端与所述衬底(3)的侧边接触。2.根据权利要求1所述的除膜装置,其特征在于,所述刷毛(2)为碳化硅磨料丝刷毛(2)。3.根据权利要求2所述的除膜装置,其特征在于,所述刷毛(2)的长度为0.8-1.5cm。4.根据权利要求3所述的除膜装置,其特征在于,所述刷毛(2)的直径为500-700目,相邻所述刷毛(2)之间的距离为0.1-0.3mm。5.根据权利要求1所述的除膜装置,其特征在于,所述滚刷体(1)为中空圆柱滚刷...
【专利技术属性】
技术研发人员:葛建云,
申请(专利权)人:北京铂阳顶荣光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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