一种用于晶圆转换的工治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆转换的工治具，它涉及半导体晶圆转换技术领域。它包括用于水平放置晶舟盒的底板，所述底板为长方体结构，所述底板一端侧中部贯穿开设有门形结构的槽口，所述槽口两侧的所述底板端面上分别对称垂直安装有长方体结构的挡板，所述槽口正面上方悬空设有竖直放置的长方体结构推板，所述推板朝向所述槽口的一面中部竖直粘接有长方体结构的海绵垫条，所述海绵垫条的长度与所述推板的长度相同；所述推板通过设置在所述底板上的推移部件悬挂支撑，所述推移部件可带动所述推板向所述槽口方向横向移动。本实用新型专利技术不仅可一次转移25片晶圆，大大提高了工作效率，而且在转移过程中可以有效避免晶圆刮伤、斜插、槽位放置错误。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆转换的工治具
本技术涉及半导体晶圆制造
，具体涉及一种用于晶圆转换的工治具。
技术介绍
在半导体加工制程中，晶圆均是整批承载在晶舟盒内，通过晶舟盒的承载在不同制程机台间移动，以确保晶圆在移动过程中不会损坏，通常一个晶舟盒为一批，一盒承载25片晶圆。晶圆根据用途分为很多种，在整个制程中，晶圆要在几种晶舟盒之间转换；现有技术中，大多采用人工用真空吸笔进行晶圆单片的转移，这种转移方式不仅效率低，而且吸笔在作业过程中可能出现破真空导致晶圆滑落，吸笔头刮伤晶圆，斜插、槽位放置错误等异常情况。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足，本技术提供一种用于晶圆转换的工治具。为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：一种用于晶圆转换的工治具，包括用于水平放置晶舟盒的底板，所述底板为长方体结构，所述底板一端侧中部贯穿开设有门形结构的槽口，所述槽口两侧的所述底板端面上分别对称垂直安装有长方体结构的挡板，所述槽口正面上方悬空设有竖直放置的长方体结构推板，所述推板朝向所述槽口的一面中部竖直粘接有长方体结构的海绵垫条，所述海绵垫条的长度与所述推板的长度相同；所述推板通过设置在所述底板上的推移本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆转换的工治具，其特征在于：包括用于水平放置晶舟盒的底板，所述底板为长方体结构，所述底板一端侧中部贯穿开设有门形结构的槽口，所述槽口两侧的所述底板端面上分别对称垂直安装有长方体结构的挡板，所述槽口正面上方悬空设有竖直放置的长方体结构推板，所述推板朝向所述槽口的一面中部竖直粘接有长方体结构的海绵垫条，所述海绵垫条的长度与所述推板的长度相同；所述推板通过设置在所述底板上的推移部件悬挂支撑，所述推移部件可带动所述推板向所述槽口方向横向移动。

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆转换的工治具，其特征在于：包括用于水平放置晶舟盒的底板，所述底板为长方体结构，所述底板一端侧中部贯穿开设有门形结构的槽口，所述槽口两侧的所述底板端面上分别对称垂直安装有长方体结构的挡板，所述槽口正面上方悬空设有竖直放置的长方体结构推板，所述推板朝向所述槽口的一面中部竖直粘接有长方体结构的海绵垫条，所述海绵垫条的长度与所述推板的长度相同；所述推板通过设置在所述底板上的推移部件悬挂支撑，所述推移部件可带动所述推板向所述槽口方向横向移动。2.根据权利要求1所述的用于晶圆转换的工治具，其特征在于：所述推移部件包括推杆、L型支撑杆、连接杆、横移槽和把手，所述底板一侧面向内开设有水平截面为长方形的横移槽，所述横移槽的长边与所述底板的长边相互平行；所述连接杆一端垂直固定连接在所述推板背离所述槽口的一面中心位置上，所述连接杆另...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈军亮，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34