下载一种用于晶圆转换的工治具的技术资料

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本实用新型公开了一种用于晶圆转换的工治具,它涉及半导体晶圆转换技术领域。它包括用于水平放置晶舟盒的底板,所述底板为长方体结构,所述底板一端侧中部贯穿开设有门形结构的槽口,所述槽口两侧的所述底板端面上分别对称垂直安装有长方体结构的挡板,所述槽...
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