【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻制程中的新型铁氟龙治具
本技术涉及晶粒挑拣机设备领域，具体是一种蚀刻制程中的新型铁氟龙治具。
技术介绍
铁氟龙材料因其具有的不粘性、耐热性、耐磨损性和耐腐蚀性等诸多优良特性而被广泛使用。在金凸块封装蚀刻制程中，由于技术的迭代逐渐引入12寸晶圆的生产，为兼顾8寸、12寸蚀刻作业，设计新型的铁氟龙治具结构解决在机台兼顾作业中治具所造成的系列问题，目前8寸晶圆在作业中铁氟龙治具中存在药液残留的问题，而残留药液对后续金凸块制程过程中产生影响，因此需要一个能够有效解决蚀刻制程中药液残留的新型铁氟龙治具。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种蚀刻制程中的新型铁氟龙治具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种蚀刻制程中的新型铁氟龙治具，包括治具本体，所述治具本体为长方体框且治具本体包括两垂直方向上对立设置的安装板以及垂直连接在安装板间的横梁和支撑腿，所述横梁和支撑腿的数量各为两个且横梁和支撑腿平行设置，所述安装板内壁底部设有导轨，导轨上均匀设有T型导流块和导流孔，所述安装板背离横梁外顶部垂直设有卡板，卡板背离横梁外侧设有卡扣，所述安装板、横梁、支撑腿、卡板和T型导流块为一体注塑成型。作为本技术进一步的方案：所述T型导流块和导流孔的数量各为四个。作为本技术再进一步的方案：所述卡板的高度小于安装板高度。与现有技术相比，本技术的有益效果是：减少作业中8寸铁氟龙治具在制程过程中药液的带出问题；排除作业后8寸铁氟龙治具中的药物残留问题，防止残留药液对下次制程的影响；排除治具带出药液造成的环境安全问题。附图说明图1为蚀刻制程中的新型铁氟龙治具...
【技术保护点】
1.一种蚀刻制程中的新型铁氟龙治具，包括治具本体(1)，其特征在于，所述治具本体为长方体框且治具本体包括两垂直方向上对立设置的安装板(2)以及垂直连接在安装板(2)间的横梁(3)和支撑腿(4)，所述横梁(3)和支撑腿(4)的数量各为两个且横梁(3)和支撑腿(4)平行设置，所述安装板内壁底部设有导轨(5)，导轨(5)上均匀设有T型导流块(6)和导流孔(7)，所述安装板(2)背离横梁(3)外顶部垂直设有卡板(8)，卡板(8)背离横梁(3)外侧设有卡扣(9)，所述安装板(2)、横梁(3)、支撑腿(4)、卡板(8)和T型导流块(6)为一体注塑成型。
【技术特征摘要】
1.一种蚀刻制程中的新型铁氟龙治具，包括治具本体(1)，其特征在于，所述治具本体为长方体框且治具本体包括两垂直方向上对立设置的安装板(2)以及垂直连接在安装板(2)间的横梁(3)和支撑腿(4)，所述横梁(3)和支撑腿(4)的数量各为两个且横梁(3)和支撑腿(4)平行设置，所述安装板内壁底部设有导轨(5)，导轨(5)上均匀设有T型导流块(6)和导流孔(7)，所述安装板(2)背离横梁...
【专利技术属性】
技术研发人员：张家伟，朱翔宇，江富杰，李司元，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
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