压力调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种压力调整装置。所述压力调整装置包括：排气部，包括抽气泵、以及用于连通反应腔室与所述抽气泵的排气管；注入部，连通所述排气管，用于自所述排气管向所述反应腔室内注入补偿气体；控制部，用于根据所述抽气泵的泵送信息调整所述注入部注入所述补偿气体的流速，使得所述反应腔室内的压力保持在预设压力。本实用新型专利技术提高了对反应腔室内压力控制的准确度，改善了半导体工艺制程的质量。

Pressure regulator

The utility model relates to the technical field of semiconductor manufacturing, in particular to a pressure adjustment device. The pressure adjusting device includes: an exhaust part, including an exhaust pump, and an exhaust pipe for connecting the reaction chamber and the exhaust pump; an injection part, connecting the exhaust pipe, for injecting compensating gas into the reaction chamber from the exhaust pipe; and a control part, for adjusting the flow rate of the compensating gas injected into the injection part according to the pumping information of the exhaust pump, so as to make the injection part inject the compensating gas. The pressure in the reaction chamber is maintained at a preset pressure. The utility model improves the accuracy of pressure control in the reaction chamber, and improves the quality of semiconductor process.

【技术实现步骤摘要】
压力调整装置
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种压力调整装置。
技术介绍
随着平面型闪存存储器的发展，半导体的生产工艺取得了巨大的进步。但是最近几年，平面型闪存的发展遇到了各种挑战：物理极限、现有显影技术极限以及存储电子密度极限等。在此背景下，为解决平面闪存遇到的困难以及追求更低的单位存储单元的生产成本，各种不同的三维(3D)闪存存储器结构应运而生，例如3DNOR(3D或非)闪存和3DNAND(3D与非)闪存。其中，3DNAND存储器以其小体积、大容量为出发点，将储存单元采用三维模式层层堆叠的高度集成为设计理念，生产出高单位面积存储密度，高效存储单元性能的存储器，已经成为新兴存储器设计和生产的主流工艺。3DNAND存储器的制造需要经历若干步处理步骤，而许多加工工艺的实施，都需要确保反应腔室内为低压环境，例如低压化学气相沉积(LowPressureChemicalVaporDeposition，LPCVD)工艺、原子层沉积(AtomicLayerDeposition，ALD)工艺等。这就要求对所述反应腔室内进行压力控制。然而，现有的压力调整装置或者调整方法，都不能准确的控制所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力调整装置，其特征在于，包括：排气部，包括抽气泵、以及用于连通反应腔室与所述抽气泵的排气管；注入部，连通所述排气管，用于自所述排气管向所述反应腔室内注入补偿气体；控制部，用于根据所述抽气泵的泵送信息调整所述注入部注入所述补偿气体的流速，使得所述反应腔室内的压力达到预设压力。

【技术特征摘要】
1.一种压力调整装置，其特征在于，包括：排气部，包括抽气泵、以及用于连通反应腔室与所述抽气泵的排气管；注入部，连通所述排气管，用于自所述排气管向所述反应腔室内注入补偿气体；控制部，用于根据所述抽气泵的泵送信息调整所述注入部注入所述补偿气体的流速，使得所述反应腔室内的压力达到预设压力。2.根据权利要求1所述的压力调整装置，其特征在于，所述排气部还包括安装于所述排气管中的控制阀，所述控制阀用于控制所述排气管与所述反应腔室的连通状态。3.根据权利要求2所述的压力调整装置，其特征在于，所述控制阀为蝴蝶阀。4.根据权利要求3所述的压力调整装置，其特征在于，所述控制部连接所述蝴蝶阀，用于将所述蝴蝶阀的阀板调整至全开状态至全闭状态之间的任意状态。5.根据权利要求3所述的压力调整装置，其特征在于，所述注入部包括注入管，所述注入管连通位于所述抽气泵与所述蝴蝶阀之间的排气管。6.根据权利要求5所述的压力调整装置，其特征在于，所述控制部包括：存储器，用于存储所述泵送信息，所述泵送信息为采用所述抽气泵对所述反应腔室抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋海，王秉国，蒲浩，沈超，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：湖北,42