运输辊制造技术

本发明专利技术涉及一种新的运输辊类型，其提供改性表面以为新衬底提供经改进运输性质。此外，本发明专利技术涉及有益地利用此类运输辊(特别是用于提供保持辊对)的水平运输系统。另外，本发明专利技术涉及含有此运输辊或水平运输系统的处理装置。此外，本发明专利技术涉及一种用于处理衬底的方法及此运输辊的使用。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】运输辊
本专利技术涉及提供尤其是关于非常敏感的衬底的改进运输行为的一种运输辊类型及其使用。此外，本专利技术涉及一种使用用于运输衬底的本专利技术运输辊处理此类衬底的方法。
技术介绍
在所属领域中已知运输辊有益地用于水平运输衬底的构件中。它们十分有用，因为它们表示一种十分有效的运输方式。此外，它们通常允许水平运输衬底，而无需夹箝或可能会损坏衬底的其它装置。经证明，此类装置例如对运输衬底(如印刷电路板)通过处理装置的不同处理区特别有用。然而，例如更柔性的新的衬底类型导致新问题。在本文中，显而易见，当传递运输辊时，更柔性衬底例如基于粘合效应至少会略微弯曲，从而导致对表面产生轻微损坏。既不是通常所使用的运输辊提供实心本体，也不是轮轴提供中心杆，其中多个圆盘经布置以在所述中心杆上间隔开，在此情境中提供合适结果。待解决的特殊问题是处理提供特别敏感的表面的新衬底类型。特别地，经证明，在水平处理装置(其提供保持辊对来保持装置的某一区域中的处理液)中处理此类衬底是有问题的。此布置通常在衬底上提供更高应力，因为例如典型布置中的上辊的重量下压到衬底上。虽然目前的一些衬底看似基本上不会经受损坏，特别地，在其表面上提供十分精细结构的衬底的新一代测试模型提供了大大增加的敏感度且在处理之后显示出损坏。预期包括更敏感表面的此类衬底将变成现代产品的基本部分。借此，最后还预期运输系统的一般要求大大提高以实现对此类下一代衬底的处理。本专利技术的目的因此，本专利技术的目的是提供新的运输辊类型，其针对在衬底的处理中的未来挑战提供经改进特性。优选地，此类运输辊理想地还实现衬底的更合理处理，同时通过提供此类运输辊的保持辊对来运输所述衬底。
技术实现思路
上述问题由独立权利要求及附属权利要求及描述中所揭示的本专利技术来解决。以下描述中包含其它目标及额外益处，然而，本文中未明确阐述但可立即从本文中论述的联系导出或辨别的其它目标由本文中揭示的本专利技术及其实施例解决。本专利技术涉及一种用于运输衬底的水平运输系统的运输辊，其中所述运输辊基本上具有实心本体辊的形式，其中所述运输辊进一步含有提供所述衬底的非均匀接触的改性表面，其中所述改性表面含有用于接触所述衬底的接触区域及不接触所述衬底的所述接触区域之间的凹部，其中所述改性表面经调适以在使用所述运输辊运输时在所述运输辊的两个侧上提供液体或气体交换；其中所述改性表面由基本上均质材料(如聚合物或金属)组成，其中所述均质材料并非由纤维材料或发泡体形成。根据本专利技术的短语“运输辊”是指经调适以至少部分接触衬底的辊。举例来说，此术语涉及布置在运输平面的下面及上面的辊，所述辊将在其转送所述衬底时接触衬底。短语“改性表面”是指提供所述接触区域及凹部的运输辊的表面。通常，所述改性表面至少延伸于经调适以接触衬底的运输辊的表面之上。因为此衬底通常远小于运输辊，且多个运输路径是有可能的，所以单一衬底通常不会接触经调适以接触运输辊的衬底的整个表面。然而，此改性表面并不一定覆盖运输辊的整个表面，因为此类运输辊优选地在其不是既定用于在正常运输期间接触衬底的端处提供安全区域。将改性表面限制到所需表面区域越有吸引力，所述改性表面就越复杂。此外，本专利技术涉及一种含有运输辊的水平运输系统，其中至少一个运输辊是本专利技术运输辊。此外，本专利技术涉及一种用于湿处理(如化学蚀刻、化学清理、化学金属沉积或电解金属沉积，特定来说，化学金属沉积或电解金属沉积)的处理装置，其中所述处理装置含有至少一个本专利技术运输辊或至少一个本专利技术水平运输系统。此外，本专利技术涉及一种处理衬底的方法，其中所述方法含有使用本专利技术运输辊、本专利技术水平运输系统或本专利技术处理装置运输所述衬底的步骤。此外，本专利技术涉及用于水平运输衬底的本专利技术运输辊的使用。附图说明为了更完整地理解本专利技术，参考连同附图考虑的本专利技术的以下实施方式，其中：图1展示根据本专利技术的优选实施例的本专利技术运输辊的示意性侧视图。图2展示含有图1中所展示的运输辊的本专利技术水平运输系统的示意性横截面的切口。图3展示含有图1中所展示的运输辊的本专利技术水平运输系统的一部分的示意性透视侧视图。图4展示含有图1中所展示的运输辊的本专利技术水平运输系统的一部分的示意性透视侧视图。图5展示含有图4中所展示的水平运输系统的部分的本专利技术处理装置的一部分的示意性横截面。图6a、6b及6c展示不同类型的本专利技术运输辊相较于图1中展示的运输辊的改性表面的示意性横截面的切口。图7a、图7b及图7c展示提供中心部分12及涂布材料13的本专利技术运输辊1'的示意性横截面及示意性侧视图。图8展示本专利技术的优选实施例的不同类型的线形凹部的示意性侧视图。具体实施方式本专利技术涉及一种用于运输衬底的水平运输系统的运输辊，其中所述运输辊基本上具有实心本体辊的形式，其中所述运输辊进一步含有提供所述衬底的非均匀接触的改性表面，其中所述改性表面含有用于接触所述衬底的接触区域及未接触所述衬底的所述接触区域之间的凹部，其中所述改性表面经调适以在使用所述运输辊运输时在所述运输辊的两个侧上提供液体或气体交换；其中所述改性表面由基本上均质材料(如聚合物或金属)组成，其中所述均质材料并非由纤维材料或发泡体形成。当测试可能的新衬底的实例时，注意到，只要衬底仍处于湿状态，则十分柔性的衬底例如往往会遭受使用现有技术水平的整个本体辊通过基本上干燥的模块来运输。在本文中，怀疑发生的损坏是由衬底的临时变形导致，例如，起因于衬底到运输辊的粘合。假定运输辊的改性表面的精细结构收集少量液体，其使起因于液滴粘合到衬底的建立于衬底的表面上的液膜达到平衡。假定此液膜有濒临中断的危险，则本专利技术改性表面的小结构允许在运输辊的两个侧上进行有限液体交换以使较干的衬底的部分达到平衡。液膜的此均衡化看似最小化衬底上的物理应力，这是因为最小化了提供衬底的不可控移动的液膜的中断。此外，显而易见，本专利技术运输辊还有益地用于干化模块中，因为更均质液膜提供更高表面区域，且因此，增加粘合到衬底的液体的干化速度。此外，导引缓慢气流朝向仅在其表面上提供低液体量的衬底看似提供了轻轻地将衬底从运输辊卸离的空气垫。假定大大减少或通常甚至防止衬底的拍打，因为直到所得气压高到足以提升衬底才捕集转送朝向所运输的气体。正相反，本专利技术改性表面的凹部看似形成通道及实现连续气流。因此，本专利技术运输辊可例如用于使衬底的液膜自动均衡直到其足够干燥，且在此之后有益地用于增强干化模块的干化效应。此外，已证明：假定衬底的敏感侧压到运输辊的表面上，则提供小凹部的本专利技术运输辊特别有用。如果例如液体保持于与衬底的运输方向相反的一侧上，则运输辊的移动朝向衬底与运输辊的瓶颈转送液流，如在例如图2中可见。在本文中，假定液体移动与衬底与运输辊之间的间隙的窄化的组合在衬底与运输辊的接触点附近提供增加压力。然而，所述增加压力看似会损坏敏感衬底的精细结构。本专利技术运输辊提供运输辊的两个侧的经定义小液体交换以减小此局部压力峰值。此外，使用本文中所揭示的大量小接触区域提供压力的十分良好分布，所述压力起因于此保持辊对的上运输辊的重量下压到衬底上。本专利技术中所使用的短语“实心本体辊”是指辊，其中所述辊提供所运输的衬底与其基本上连续接触。在本文中，经调适以接触提供改性表面的衬底的此实心本体辊的部分优选地基本上具有如柱体(优选地是圆柱体)的几何本体的形式。优选地，实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于运输衬底(3)的水平运输系统(2)的运输辊(1、1')，其中所述运输辊(1、1')基本上具有实心本体辊的形式，其特征在于：所述运输辊(1、1')进一步含有改性表面(4)，所述改性表面(4)提供所述衬底(3)的非均匀接触，其中所述改性表面(4)含有用于接触所述衬底(3)的接触区域(5、5'、5”、5”')及不接触所述衬底的所述接触区域(5、5'、5”、5”')之间的凹部(6、6'、6”、6”')，其中所述改性表面(4)经调适以在使用所述运输辊(1、1')运输时在所述运输辊(1、1')的两个侧上提供液体或气体交换；其中所述改性表面(4)由如聚合物或金属的基本上均质材料组成，其中所述均质材料不由纤维材料或发泡体形成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.11.16 EP 16199129.41.一种用于运输衬底(3)的水平运输系统(2)的运输辊(1、1')，其中所述运输辊(1、1')基本上具有实心本体辊的形式，其特征在于：所述运输辊(1、1')进一步含有改性表面(4)，所述改性表面(4)提供所述衬底(3)的非均匀接触，其中所述改性表面(4)含有用于接触所述衬底(3)的接触区域(5、5'、5”、5”')及不接触所述衬底的所述接触区域(5、5'、5”、5”')之间的凹部(6、6'、6”、6”')，其中所述改性表面(4)经调适以在使用所述运输辊(1、1')运输时在所述运输辊(1、1')的两个侧上提供液体或气体交换；其中所述改性表面(4)由如聚合物或金属的基本上均质材料组成，其中所述均质材料不由纤维材料或发泡体形成。2.根据权利要求1所述的运输辊(1、1')，其中所述改性表面(4)提供线形凹部(6、6'、6”、6”')。3.根据权利要求1到2中任一权利要求所述的运输辊(1、1')，其中每一凹部(6、6'、6”、6”')提供表面，且在横截面中在每一凹部(6、6'、6”、6”')的所述表面与接触线或接触圆圈之间围封区域，且其中沿着所述运输辊(1、1')的轴的横截面中的所述区域是至多5mm2，垂直于所述运输辊(1、1')的所述轴的横截面中的所述区域是至多12mm2，或两者，总计达所述对应横截面中的所述凹部(6、6'、6”、6”')的所有区域的总和的至少90％。4.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的运输辊(1、1')，其中基于所述对应横截面中的所述接触区域的数目，所述改性表面(4)的所述接触区域(5、5'、5”、5”')的至少90％在沿着所述运输辊(1、1')的所述轴的所述横截面中具有至多1.3cm的长度；在垂直于所述运输辊(1、1')的所述轴的所述横截面中具有至多0.8cm的长度，...

【专利技术属性】
技术研发人员：费迪南多·温诺，斯特凡·格鲁斯纳，
申请(专利权)人：德国艾托特克公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE