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本发明涉及一种新的运输辊类型，其提供改性表面以为新衬底提供经改进运输性质。此外，本发明涉及有益地利用此类运输辊(特别是用于提供保持辊对)的水平运输系统。另外，本发明涉及含有此运输辊或水平运输系统的处理装置。此外，本发明涉及一种用于处理衬底的...
该专利属于德国艾托特克公司所有，仅供学习研究参考，未经过德国艾托特克公司授权不得商用。

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