温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种压力调整装置。所述压力调整装置包括：排气部，包括抽气泵、以及用于连通反应腔室与所述抽气泵的排气管；注入部，连通所述排气管，用于自所述排气管向所述反应腔室内注入补偿气体；控制部，用于根据所述抽气泵...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。