用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，包括载具、固定架、安装架以及多个传送带，所述生产线的每个腔室均设有一个传送带，所述固定架固定安装于传送带上，所述固定架设有四个，成对设置，两个固定架之间间隔布置，所述载具固定于安装架上，所述安装架卡紧于两对固定架之间。本发明专利技术的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，能够稳定的传送大面积的玻璃基片，并且适用于各种尺寸的大面积玻璃基片。

【技术实现步骤摘要】
用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置
本专利技术涉及玻璃镀膜
，尤其涉及一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置。
技术介绍
目前市场上的透明导电薄膜主要有ITO(In2O3:Sn)、FTO(SnO2:F)、AZO(ZnO:Al)三种。各自有自己的优缺点，如ITO电阻率比较低,成本较高；FTO成本较低，成膜温度高，氢等离子体环境稳定性差；AZO在氢等离子体环境中稳定性好，成本低廉，电学性能不如ITO。不同吸收层的薄膜太阳能电池需选择适合的透明导电薄膜，以获得最佳界面效果。掺铝氧化锌(AZO)薄膜以其优异的导电性能、可见光透过性能、良好的氢等离子体稳定性能、以及价格低廉、资源丰富等优点将可能成为非晶硅/微晶硅薄膜太阳能电池、CIGS薄膜太阳能电池的透明导电薄膜材料。TCO薄膜具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等共同光电特性，在太阳能电池、平面显示、特殊功能窗口涂层及其他光电器件领域具有广阔的应用前景。TCO薄膜制造成本低于ITO、无毒、易光刻加工、在氢气氛中的化学稳定性比ITO膜好，有可能替代ITO产品，尤其在太阳能电池透明电极领域。而20世纪80年代兴起的Z本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，包括载具(2)、固定架(3)、安装架(5)以及多个传送带(1)，所述生产线的每个腔室均设有一个传送带(1)，所述固定架(3)固定安装于传送带(1)上，所述固定架(3)设有四个，成对设置，两个固定架(3)之间间隔布置，所述载具(2)固定于安装架(5)上，所述安装架(5)卡紧于两对固定架(3)之间。

【技术特征摘要】
1.一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，包括载具(2)、固定架(3)、安装架(5)以及多个传送带(1)，所述生产线的每个腔室均设有一个传送带(1)，所述固定架(3)固定安装于传送带(1)上，所述固定架(3)设有四个，成对设置，两个固定架(3)之间间隔布置，所述载具(2)固定于安装架(5)上，所述安装架(5)卡紧于两对固定架(3)之间。2.根据权利要求1所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，其中一对所述固定架(3)之间固定设有限位杆(4)。3.根据权利要求2所述的用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置，其特征在于，所述限位杆(4)设有缓冲垫。4.根据权利要求1所述的用于大面积...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝海生，黄乐，陈立，凌云，黄夏，孙桂红，黄国兴，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43