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本发明公开一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置,包括载具、固定架、安装架以及多个传送带,所述生产线的每个腔室均设有一个传送带,所述固定架固定安装于传送带上,所述固定架设有四个,成对设置,两个固定架之间间隔布置,所述载具固定于安装架...该专利属于湘潭宏大真空技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭宏大真空技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种用于大面积玻璃磁控溅射镀膜生产线的传送装置,包括载具、固定架、安装架以及多个传送带,所述生产线的每个腔室均设有一个传送带,所述固定架固定安装于传送带上,所述固定架设有四个,成对设置,两个固定架之间间隔布置,所述载具固定于安装架...