本发明专利技术公开了一种微型器件补充装置、补充系统及补充方法，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件在转移后检测和补充困难的问题，本发明专利技术提供了一种微型器件补充装置、补充系统及补充方法，本方案通过电场转移技术，可以实现小尺寸的微型器件的巨量转移和补充，通过对转移后的基板进行检测，获得对应的不良微型器件位置，通过控制系统传送至对应的补充系统以及去除系统，且通过进行不良位置的器件去除，并进行相应的补充，准确率好，可以完成整条产业的顺利和自动化转移，成本低，效率高。
【技术实现步骤摘要】
一种微型器件补充装置、补充系统及补充方法
本专利技术涉及电子制造领域，更具体地说，涉及一种微型器件补充装置、补充系统及补充方法。
技术介绍
微型器件尺寸小，精度高，现有的微型器件的转移和装配主要通过吸附的方式来进行转移，如真空系统吸附进行转移等方法，但是转移效率低，成本高，针对于微型器件如微发光二极管，或其他电子微型器件。随着光电科技的进步，许多光电组件的体积逐渐往小型化发展，近几年来更陆续推出各种微显示器(Micro-display)技术。其中，由于发光二极管LED制作尺寸上的突破，目前将发光二极管以数组排列制作的微发光二极管，即Micro-LED显示器在市场上逐渐受到重视。微发光二极管显示器不同主动式发光组件显示器，其除了在对比度及能耗方面不逊于有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器外，在可靠性及寿命亦占据绝对优势，因此，微发光二极管显示器有极大潜力成为未来行动通讯电子与物联网应用穿戴式电子的主流显示器技术。在微型器件产品化的过程中，其关键在于如何实现“巨量晶粒转移”，即如何将大量的微型器件转移到基板上。在现有技术中，通常采用微机电系统(MEMS)拾取微型器件，然而，MEMS拾取工艺对微型器件转移前后所在基底的平整度、洁净度等都有很高的要求，拾取过程的控制复杂，成本很高。且在拾取过后，如何对拾取后的微型器件如何进行检查、去除安装不正确的器件，补充去除的器件是需要解决的问题。现有的设计都是正常的转移方法，如中国专利申请，申请号201711354228.0，公开日2018年5月8日，专利技术提供一种微发光二极管转移方法，提供一个LED芯片初始基底，所述LED芯片初始基底设置有多个LED芯片。同时，提供一个设置有多个凹槽的转移底板，将所述多个LED芯片转移至所述多个凹槽中，获得承载所述多个LED芯片的转移底板。并且，提供一个电路基板，使所述转移底板与所述电路基板贴合，并将所述多个LED芯片的电极与所述电路基板焊接。将所述转移底板与所述电路基板分离。将所述多个LED芯片设置于所述LED芯片初始基底，并通过所述转移底板将所述多个LED芯片转移至所述电路基板，可以每次转移大量的LED芯片，提高了生产效率，避免了芯片偏移。使用静电力、磁力或真空吸力以吸取微发光二极管。且上述的方法对于器件尺寸，发光组件在1至100微米，对于更小的器件无法达到所需要的效果。传统静电力的吸取转移设备主要使用微机电系统技术，其具复杂架构、高成本与低良率等缺点。传统磁力的吸取转移设备也是使用微机电系统技术，因此同样具复杂架构、高成本与低良率等缺点。此外，需要额外涂布磁力材料于微发光二极管，因而需要额外的制程与成本。传统真空吸力的吸取转移设备使用微真空吸嘴，其高度与内径的比值必须小于一临界数值，才能确保吸取能力。当微发光二极管的尺寸非常小，真空吸嘴的高度，厚度也需跟着变小。因此，于操作时容易造成吸取转移设备的变形而降低吸取效率，甚至造成吸取转移设备的破裂因此，传统真空吸力的吸取转移设备不适于较小微组件的吸取。现有技术中并没有给出如何对微型器件进行相应的检测和补充。
技术实现思路
1.要解决的技术问题针对现有技术中存在的微型器件在转移后检测和补充困难的问题，本专利技术提供了一种微型器件补充装置、补充系统及补充方法，它可以实现对转移后的微型器件进行相应的补充，补充效率高，准确率高。2.技术方案本专利技术的目的通过以下技术方案实现。一种微型器件补充装置，包括，一个或多个微型器件补充匣，微型器件补充匣与补充机构对应，用于存放微型器件，并将微型器件转移至补充机构的补充感应装置上；补充机构，包括补充感应装置和与补充感应装置相对设置的补充转写轮，利用补充感应装置、微型器件和补充转写轮之间的电场感应进行对应位置的微型器件的转移，将补充感应装置上的微型器件转移至转移基板上。更进一步的，补充感应装置上设置有补充感应孔位，补充感应孔位直径大于微型器件外径，补充感应孔位排列方式对应转移基板上基板孔的排列方式。更进一步的，还包括补充充电装置，补充充电装置紧贴补充感应装置。更进一步的，还包括光源装置，光源装置光源朝向去除感应装置。更进一步的，还包括清洁机构，将补充感应装置上未转移完全的微型器件回收。更进一步的，所述的清洁机构包括补充装置刮刀和补充回收仓，补充装置刮刀紧贴补充感应装置的外缘，补充回收仓与补充感应装置相邻设置，未转移完全的微型器件回收至补充回收仓内。更进一步的，补充感应装置为一金属滚轮或外部通过皮带的连接多个滚轮结构，金属滚轮或皮带上表面设置有感光导电层。感光导电层是光敏器件，主要用光导材料制成。光导材料有硫化镉(CdS)、硒-砷(Se-As)。更进一步的，补充感应装置为感应轮，感应轮内部设置有补充滚轮磁铁和/或补充转写轮内部设置有补充转写轮磁铁。更进一步的，还包括回收系统，回收系统设置于微型器件补充匣内和/或设置于补充机构后段，将未安装在对应部位的微型器件进行回收。更进一步的，设置于微型器件补充匣内的回收系统结构如下，微型器件补充匣内的补充滚轮相邻的位置设置有补充回收轮，补充滚轮与补充回收轮紧贴，补充回收轮内部靠近补充滚轮一侧设置有补充回收轮磁铁，补充回收轮内部背离补充滚轮一侧无磁铁。更进一步的，设置于补充机构后段的回收系统结构如下，包括补充回收轮和与补充回收轮对应的补充压轮，转移基板从补充回收轮和补充压轮之间通过，补充回收轮内部靠近补充压轮一侧设置有补充回收轮磁铁，补充回收轮内部背离补充压轮一侧无磁铁，回收压轮内部设置有回收压轮磁铁。一种微型器件补充系统，包括上述所述的一个或者多个补充装置及控制系统，补充装置与控制系统连接，获得对应补充信息，转移基板穿过补充装置，补充装置将微型器件从补充装置中转移至转移基板对应的补充位置上，控制系统控制若干补充装置的工作和转移基板的前进。更进一步的，还包括设置在补充装置前的检测装置，检测装置检测转移基板的微型器件，将对应检测信息传送至控制系统中。更进一步的，还包括一个或者多个去除装置，去除装置设置在补充装置和检测装置之间，去除装置通过从控制系统获得的检测信息进行不良微型器件的去除。一种微型器件补充方法，采用上述任一所述的补充系统，步骤如下：补充装置通过控制系统获得所需要补充的位置信息；补充装置通过微型器件补充匣，将微型器件从微型器件补充匣转移至补充机构的补充感应装置上；补充感应装置上通过设置补充转写轮利用电场感应补充方法进行微型器件的转移，将补充感应装置上的微型器件补充至转移基板对应的补充位置上，完成微型器件的补充。更进一步的，在补充之前，去除装置通过从控制系统获得的检测信息先进行不良微型器件的去除，后对去除的部位进行对应的补充。更进一步的，控制系统的需要补充和/或去除的位置信息通过检测装置检测获得。更进一步的，具体的电场感应补充方法如下，补充充电装置对补充感应装置表面布电使其表面布静电位，补充光源装置根据所需要补充的位置，对补充感应装置表面对应的补充的位置进行曝光，在补充感应装置表面形成电洞，补充感应装置旋转至微型器件补充匣的补充滚轮位置，补充滚轮表面给予大于补充感应装置表面静电位，使得补充感应装置表面电洞位置与补充滚轮产生电场效应，经传动设计，补充感应装置表面电洞位置与补本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种微型器件补充装置，其特征在于，包括，一个或多个微型器件补充匣(111)，微型器件补充匣(111)与补充机构对应，用于存放微型器件(1)，并将微型器件(1)转移至补充机构的补充感应装置(112)上；补充机构，包括补充感应装置(112)和与补充感应装置(112)相对设置的补充转写轮(113)，利用补充感应装置(112)、微型器件(1)和补充转写轮(113)之间的电场感应进行对应位置的微型器件(1)的转移，将补充感应装置(112)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。
【技术特征摘要】
1.一种微型器件补充装置，其特征在于，包括，一个或多个微型器件补充匣(111)，微型器件补充匣(111)与补充机构对应，用于存放微型器件(1)，并将微型器件(1)转移至补充机构的补充感应装置(112)上；补充机构，包括补充感应装置(112)和与补充感应装置(112)相对设置的补充转写轮(113)，利用补充感应装置(112)、微型器件(1)和补充转写轮(113)之间的电场感应进行对应位置的微型器件(1)的转移，将补充感应装置(112)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。2.根据权利要求1所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，补充感应装置(112)上设置有补充感应孔位，补充感应孔位直径大于微型器件(1)外径，补充感应孔位排列方式对应转移基板(5)上基板孔(501)的排列方式。3.根据权利要求1或2所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，还包括补充充电装置(117)，补充充电装置(117)紧贴补充感应装置(112)。4.根据权利要求3所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，还包括补充光源装置(118)，补充光源装置(118)光源朝向补充感应装置(112)。5.根据权利要求1所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，补充感应装置(112)为一金属滚轮或外部通过皮带的连接多个滚轮结构，金属滚轮或皮带上表面设置有感光导电层。6.根据权利要求1所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，补充感应装置(112)为感应轮，感应轮内部设置有补充滚轮磁铁(1121)和/或补充转写轮(113)内部设置有补充转写轮磁铁(1131)。7.一种微型器件补充系统，其特征在于，包括权利要求1-6所述的一个或者多个补充装置(10)及控制系统，补充装置(10)与控制系统连接，获得对应补充信息，转移基板(5)穿过补充装置(10)，补充装置(10)将微型器件(1)从补充装置(10)中转移至转移基板(5)对应的补充位置上，控制系统控制若干补充装置(10)的工作和转移基板(5)的前进。8.根据权利要求11所述的一种微型器件补充系统，其特征在于，还包括设置在补充装置(10)前的检测装置(8)，检测装置(8)检测转移基板(5)的微型器件(1)，将对应检测信息传送至控制系统中。9.根据权利要求7或8所述的一种微型器件补充系统，其特征在于，还包括一个或者多个去除装置(9)，去除装置(9)设置在补充装置(10)和检测装置(8)之间，去除装置(9)通过...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩进龙，
申请(专利权)人：韩进龙，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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