一种微型器件补充装置及补充系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种微型器件补充装置及补充系统，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件在转移后检测和补充困难的问题，本实用新型专利技术提供了一种微型器件补充装置及补充系统，本方案通过电场转移技术，可以实现小尺寸的微型器件的巨量转移和补充，通过对转移后的基板进行检测，获得对应的不良微型器件位置，通过控制系统传送至对应的补充系统以及去除系统，且通过进行不良位置的器件去除，并进行相应的补充，准确率好，可以完成整条产业的顺利和自动化转移，成本低，效率高。

A supplementary device and system for Micro Devices

The utility model discloses a micro device supplement device and a supplement system, belonging to the field of electronic manufacturing. In view of the difficulty of detection and supplement of micro devices after transfer existing in the prior art, the utility model provides a micro device supplement device and supplement system. In this scheme, through the electric field transfer technology, large amount of transfer and supplement of small-sized micro devices can be realized. By detecting the transferred substrate, the corresponding bad micro device position can be obtained The control system is transmitted to the corresponding supplement system and removal system, and through the removal of devices in bad positions and corresponding supplement, the accuracy is good, which can complete the smooth and automatic transfer of the whole industry, with low cost and high efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种微型器件补充装置及补充系统
本技术涉及电子制造领域，更具体地说，涉及一种微型器件补充装置及补充系统。
技术介绍
微型器件尺寸小，精度高，现有的微型器件的转移和装配主要通过吸附的方式来进行转移，如真空系统吸附进行转移等方法，但是转移效率低，成本高，针对于微型器件如微发光二极管，或其他电子微型器件。随着光电科技的进步，许多光电组件的体积逐渐往小型化发展，近几年来更陆续推出各种微显示器(Micro-display)技术。其中，由于发光二极管LED制作尺寸上的突破，目前将发光二极管以数组排列制作的微发光二极管，即Micro-LED显示器在市场上逐渐受到重视。微发光二极管显示器不同主动式发光组件显示器，其除了在对比度及能耗方面不逊于有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器外，在可靠性及寿命亦占据绝对优势，因此，微发光二极管显示器有极大潜力成为未来行动通讯电子与物联网应用穿戴式电子的主流显示器技术。在微型器件产品化的过程中，其关键在于如何实现“巨量晶粒转移”，即如何将大量的微型器件转移到基板上。在现有技术中，通常采用微机电系统(MEMS)拾取微型本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型器件补充装置，其特征在于，包括，一个或多个微型器件补充匣(111)，微型器件补充匣(111)与补充机构对应，用于存放微型器件(1)，并将微型器件(1)转移至补充机构的补充感应装置(112)上；补充机构，包括补充感应装置(112)和与补充感应装置(112)相对设置的补充转写轮(113)，利用补充感应装置(112)、微型器件(1)和补充转写轮(113)之间的电场感应进行对应位置的微型器件(1)的转移，将补充感应装置(112)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。

【技术特征摘要】
1.一种微型器件补充装置，其特征在于，包括，一个或多个微型器件补充匣(111)，微型器件补充匣(111)与补充机构对应，用于存放微型器件(1)，并将微型器件(1)转移至补充机构的补充感应装置(112)上；补充机构，包括补充感应装置(112)和与补充感应装置(112)相对设置的补充转写轮(113)，利用补充感应装置(112)、微型器件(1)和补充转写轮(113)之间的电场感应进行对应位置的微型器件(1)的转移，将补充感应装置(112)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。2.根据权利要求1所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，补充感应装置(112)上设置有补充感应孔位，补充感应孔位直径大于微型器件(1)外径，补充感应孔位排列方式对应转移基板(5)上基板孔(501)的排列方式。3.根据权利要求1或2所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，还包括补充充电装置(117)，补充充电装置(117)紧贴补充感应装置(112)。4.根据权利要求3所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，还包括补充光源装置(118)，补充光源装置(118)光源朝向补充感应装置(112)。5.根据权利要求1所述的一种微型器件补充装置，其特征在于，补充感应装置(112)...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩进龙，
申请(专利权)人：韩进龙，
类型：新型
国别省市：江苏,32