一种微型器件转移装置、系统及转移方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微型器件转移装置、系统及转移方法，属于电子制造领域。针对现有技术中存在的微型器件转移效率低、错误率高的问题，本发明专利技术提供了一种微型器件转移装置、系统及转移方法，微型器件转移装置，包括，将微型器件转移至转换机构的接收装置上；转换机构，包括投射装置和与接收装置相对设置的转写轮，利用静电感应转印技术进行微型器件的转移，将接收装置上的微型器件转移至转移基板上。利用静电感应转印技术来对微型器件进行巨量转移，它可以实现微型器件的巨量转移，效率高、准确率好。

【技术实现步骤摘要】
一种微型器件转移装置、系统及转移方法
本专利技术涉及电子制作
，更具体地说，涉及一种微型器件转移装置、系统及转移方法。
技术介绍
微型器件尺寸小，精度高，现有的微型器件的转移和装配主要通过吸附的方式来进行转移，如真空系统吸附进行转移等方法，但是转移效率低，成本高，针对于微型器件如微发光二极管，或其他电子微型器件。随着光电科技的进步，许多光电组件的体积逐渐往小型化发展，近几年来更陆续推出各种微显示器(Micro-display)技术。其中，由于发光二极管LED制作尺寸上的突破，目前将发光二极管以数组排列制作的微发光二极管，即Micro-LED显示器在市场上逐渐受到重视。微发光二极管显示器不同主动式发光组件显示器，其除了在对比度及能耗方面不逊于有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)显示器外，在可靠性及寿命亦占据绝对优势，因此，微发光二极管显示器有极大潜力成为未来行动通讯电子与物联网应用穿戴式电子的主流显示器技术。微发光二极管显示器是将发光二极管以数组排列于电路基板上，以形成投影画面或显本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型器件转移装置，其特征在于，包括投射装置(204)和接收装置(202)；接收装置(202)与投射装置(204)相对旋转或移动；投射装置(204)和接收装置(202)表面各设置有感光材料层，投射装置(204)和接收装置(202)上各设置有发光源(7)；投射装置(204)和接收装置(202)上各设置有布电器(6)。/n

【技术特征摘要】
1.一种微型器件转移装置，其特征在于，包括投射装置(204)和接收装置(202)；接收装置(202)与投射装置(204)相对旋转或移动；投射装置(204)和接收装置(202)表面各设置有感光材料层，投射装置(204)和接收装置(202)上各设置有发光源(7)；投射装置(204)和接收装置(202)上各设置有布电器(6)。


2.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的发光源(7)设置在投射装置(204)和接收装置(202)的外侧或内侧。


3.根据权利要求2所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的发光源(7)为激光发射器或LPH发光光源。


4.根据权利要求1所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，所述的投射装置(204)和接收装置(202)为单滚轮结构、皮带式结构或平面结构。


5.根据权利要求4所述的一种微型器件转移装置，其特征在于，皮带式结构投射装置(204)包括不少于2个的转轮(242)，以及围绕在转轮(242)外围的感光皮带(241)，感光皮带(241)上设置有感光材料层。


6.一种微型器件转移系统，其特征在于，包括若干权利要求1-5所述的微型器件转移装置，转移基板(5)穿过转印滚轮(203)与接收装置(202)之间，转印滚轮(203)将接收装置(202)上的微型器件(1)转移至转移基板(5)上。


7.一种微型器件转移方法，步骤如下：
A、采用权利要求1-5任一所述的转移装置投射装置(204)通过旋转或移动，通过布电器(6)布电在投射装置(204)表面产生高电位的静电荷，经发光源(7)照射，在要吸附微型器件(1)的位置，将高电位静电荷转变成低电位静电荷，微型器件(1)放置在导通高电位静电荷的装置中，利用投射装置(204)表面低电位静电荷与微型器件(1)高电位的静电荷，通过静电效应，将微型器件(1)吸附在感光材料层上；
B、投射装置(204)和接收装置(202)上的设置有感光材料层的表面相对运动，控制发光源(7)，相对运动时对应装置的布电器(6)各自在对应结构的表面布电产生高电...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩进龙，
申请(专利权)人：韩进龙，
类型：发明
国别省市：江苏;32