静电的基层保持部制造技术

用于容纳和保持基层（4）的静电的基层保持部（2），所述基层保持部具有：转子（6、6'、6''、6'''），所述转子具有保持件（7、7'、7''）用于在保持面（7h、7h'、7h''）上固定所述基层（4），定子（5、5'、5''、5

Base maintenance department of static electricity

The base layer retaining part (2) for containing and maintaining the static electricity of the base layer (4), the base layer retaining part having a rotor (6, 6 ', 6' '), the rotor having a retaining member (7, 7', 7 '') for fixing the base layer (4), the stator (5, 5 '', 5 '', 5 '') on the retaining surface (7h, 7h '')

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】静电的基层保持部
对于更有效率的电子的仪器的市场要求需要用于相应的功能上的单元的新式的制造以及加工方法。这种效率能够在提高了的计算容量、在较灵敏的传感机构如图片收集、在IGBT元件的情况下的较快的和较大的存储模块而还有较大的接通电流或较高的频率、较亮的、有色的或多色的LED中界定。
技术介绍
在大多数情况下提高的效率伴随着增加的能量转换而实现，由此，同样较高地呈现热损失。为了避免过热，一方面冷却，另一方面体积的减少和表面积的提高是针对性的。沿侧面的方向减少芯片体积工艺上被限制，因为微型化不能够被任意地推进。物理的框架参数越来越多地作为各个工艺的硬性的边界出现。为了减少芯片体积，有意义的步骤是，使芯片和/或载体（还称为基层）减薄。基层越薄，其越易碎。易碎性对于基层的操纵提出了特别的要求。为了预防基层碎片并且实现大量生产，特别的措施是必要的，所述特别的措施包含保持基层固定以及处理基层。背减薄的基层必须被置入到最初的、优选地平面的模具上并且保持在其中，因为在没有支持的情况下，背减薄的基层能够接收单独的模具，甚至能够卷起。对此的原因是，局部的原子的关系不能够被控制并且这通过机械的应力状态还影响造型。平面的定义能够在数学的意义上进行或在半导体技术中根据半标准（Semi-Standards）进行，所述半标准在公差的范围内规定允许的偏差。这些定义对于所属领域的技术人员已知。为了固定和弄直变形的基层，工业还发展了以基层操作或保持装置为名称的多个方式和解决办法。参看载体基层的应用、参看US8449716B2以及属于其的结构和连接工艺。下面探讨现有技术的几个缺点。在现有技术中的大部分保持装置不适用于真空或只有条件地适用于真空。保持装置的一个可行方案应用化学的粘结（Adhäsion）用于在载体上固定基层。对于在提高了的温度（高于200°C，较优选地高于300°C，特别优选地高于350°C，十分特别优选地高于400°C）的情况下的和/或在真空中实施的工艺步骤，应用尤其释放气体（ausgasenden）的聚合体化合物和/或粘接材料和/或焊料是不利的。保持装置的另一个可行方案在于，多个基层或一个基层、尤其背减薄的基层借助于微弱的原子的力和/或表面粘结保持固定。尤其在提高了的温度和/或真空情况下的应用中，薄的基层在载体上的附着以及脱开提出挑战。另一个可行方案在于，机械地固定尤其背减薄的基层。保持力能够借助于夹具产生。然而，这通常由于所制造的结构的清洁标准和敏感性而不被期望。保持装置的另一个实施方式在很多情况下应用流体的力产生，其中，要么流动关系（Strömungsverhältnisse）以压力差产生，从而外部的压力将基层压紧在保持装置上。能够应用具有气垫或起抽吸作用的保持面的伯努利执行器。这种系统的实施方式以及设计方案对于所述领域的技术人员已知。已知的是，在真空中应用时每个提及的保持装置具有至少一个缺点。静电学的效应很长时间以来就被应用在尤其用于固定相对小和轻的工件的技术中。在此，应用库伦相互作用或约翰森拉比克效应（参看US1,533,757）。如已知的那样，绝缘体、导体和半导体的材料性质以及电载荷应用于产生力、尤其保持力，而在此电载荷不“流动”。为了固定工件，静电的保持力例如在印刷技术或在较小的纸张的绘图中使用；同样具有静电的媒介固定（纸）的鼓式记录器能够被视为已知的现有技术。在半导体工业、尤其在真空中的基层加工，优选地高或超高真空设备中，通常是借助于简单的静电的基层保持部固定基层。这种基层保持部例如应用于离子注入设备中。这样的设备能够在确定的角度内旋转基层或多个基层，参看US2014/0290862AI。此外，平移自由度能够同样被视为基层保持部的扩展，参看US2015/0170952A1。基层从保持部的脱开已经被有关地研究，参看DOI：10.1585/pfr.3.051以及基层材料与静电的保持力的相互关系，参看DOI：10.1063/1.2778633。也就是说，现有技术公开基层保持部，所述基层保持部借助于静电的保持力固定基层并且实现直到三个自由度（两个轴倾斜以及一个平移）。为了产生在现有技术中的静电的保持力使用电极，所述电极被安置在基层保持件的表面上或在基层保持件的体积中并且相应地一起执行基层在加工时经受的所有运动。对于那个电极的接触使用滑动接触。然而，能够实施的运动过程由于现有技术的设备被限制。被保持的基层静电地保持在已知的基层保持部中。然而，其不实现完全的能够重复的旋转，所述旋转在没有颗粒的送出（Abgabe）的情况下能够停止，因为静电的保持面的接触借助于滑动接触来实施。这总是产生颗粒磨损，所述颗粒磨损尤其对于高真空设备或等离子设备不利地起作用。
技术实现思路
因此本专利技术的任务是，提供改善的静电的基层保持部。尤其在旋转期间不期望的颗粒磨损应该最小化或甚至被防止。除此之外，应该改善保持件的可运动性。这个任务以并列的专利权利要求的主题来解决。本专利技术的有利的改进方案在从属权利要求中说明。落在本专利技术的框架中的还有由至少两个在说明书、权利要求和/或附图中说明的特征的全部的组合。在所说明的值域中，处于提及的边界之内的值应该还作为边界值公开并且能够在任意的组合中被要求。用于容纳和保持基层的根据本专利技术的静电的基层保持部（随后还称为试样保持件或保持装置）具有：-转子，所述转子具有带有用于在保持面（随后还称为固定面或固定表面）上固定基层的保持面的保持件，-用于容纳和支承转子的定子，-用于产生静电的保持力以固定基层的电极，其中，所述定子具有电极。所述保持装置的根据本专利技术的实施方式能够独立于每个基层的直径地操纵每个基层。此外，本专利技术涉及用于加工基层的方法，其中，所述基层通过根据本专利技术的静电的基层保持部保持和旋转。也就是说，所述基层保持部的所有根据本专利技术的方面还适用所述方法。此外，本专利技术涉及加工设备，所述加工设备具有用于加工基层的加工机构和用于保持基层的根据本专利技术的静电的基层保持部。也就是说，所述基层保持部的所有根据本专利技术的方面还适用于所述加工设备。本专利技术尤其在于，电极不是处于保持面处，而是处于定子处和/或定子中。本专利技术的优点尤其在于，根据本专利技术的静电的基层保持部能够在没有滑动接触的情况下实施。由此，在旋转期间不期望的颗粒磨损被最小化或甚至被防止，这尤其对于高真空设备或等离子设备是有利的。在处理腔室中的颗粒数量（试样保持件处于处理腔室中）被显著地减少；这使固定的基层的或根据本专利技术的试样保持件的表面保持清洁。根据本专利技术的静电的基层保持部使静电的保持性质从机械的运动器械脱耦，从而通过放弃基层保持部的静电学的滑动接触来生成减少的、优选地最小的颗粒排出。此外，试样保持件的另外的和附加的污染通过或多或少用囊衣包封的结构方式避免或至少大大地减少。本专利技术的优点是通过避免滑动的部件并且扩展能够实施的、能够再生的运动过程而实现的减少的排出的颗粒量。定子还包含被称为静电的或电组合件的部件。转子还包含被称为机械的组合件的部件。基层的保持固定和运动的根据本专利技术的任务通过定子和转子的协同效应和合作，也就是说，通过机械的组合件和静电的组合件的共同作用来解决。本专利技术涉及具有能够旋转的保持件和静止的、不一同旋转的电极的静电的基层保持部。根据本专利技术的静电的基层保持部主本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于容纳和保持基层（4）的静电的基层保持部（2），具有：‑ 转子（6、6'、6''、6'''），所述转子具有保持件（7、7'、7''）用于在保持面（7h、7h'、7h''）上固定所述基层（4），‑ 定子（5、5'、5''、5

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.用于容纳和保持基层（4）的静电的基层保持部（2），具有：-转子（6、6'、6''、6'''），所述转子具有保持件（7、7'、7''）用于在保持面（7h、7h'、7h''）上固定所述基层（4），-定子（5、5'、5''、5iii、5iV），所述定子用于容纳和支承所述转子（6、6'、6''、6'''），-电极（11、11'、11''），所述电极用于产生静电的保持力以固定所述基层（4），其特征在于，所述定子（5、5'、5''、5iii、5iV）具有所述电极（11、11'、11''）。2.根据权利要求l所述的静电的基层保持部（2），其中，所述转子（6、6'、6''、6'''）通过电可传导的支承元件（10）支承，尤其通过球支承件和/或深沟球支承件和/或角接触球支承件和/或球面支承件和/或轴向支承件和/或径向支承件支承。3.根据前述权利要求中任一项所述的静电的基层保持部（2），其中，所述电可传导的支承元件（10）接触所述定子（5、5'、5''、5iii、5iV）的电极（11、11'、11''）。4.根据前述权利要求中任一项所述的静电的基层保持部（2），其中，所述保持件（7、7'、7''）沿Z方向的厚度为少于100mm，优选地少于50mm，特别优选地少于10mm，十分特别优选地少于5mm。5.根据前述权利要求中任一项所述的静电的基层保持部（2），其中，在所述电极（11、11'、11''）与所述保持面（7h、7h'、7h''）之间的间距为少于100毫米。6.根据前述权利要求中任一项所述的静电的基层保持部（2），其中，在所述保持件（7、7'、7''）的背离所述基层（4）的侧上布置加深部，在所述加深部中布置所述电极（11、11'、11''），其中，所述加深部尤其同心地和/或作为通道构造。7.根据前述权利要求中任一项所述的静电的基层保持部（2），其中，所述电极（11、11'、11''）构造为环（11），所述环（11）尤其等距地和/或同心地布置。8.根据前述权利要求中任一项所述的静电的基层保...

【专利技术属性】
技术研发人员：C弗勒特根，
申请(专利权)人：EV集团E·索尔纳有限责任公司，
类型：发明
国别省市：奥地利,AT