一种气嘴结构，由金属制成，该气嘴的周面凸设有较大外径的一固定片，该固定片上具有数个结合孔可分别供数个螺栓穿过而将其螺锁结合在一平台上，该气嘴之中具有一气道，该气道一端延伸到顶面而形成一第一开口可供与一晶圆盒的对接部相接通，另一端则延伸到周面而形成一第二开口用以供连接一进气管或一出气管，且该第二开口位于该固定片的下方，该气嘴的顶面凸设有断面呈圆弧形且呈同心圆状的数个环凸肋供用于与该晶圆盒的对接部抵接；藉由上述结构可使晶圆盒不会有过大的高度变化，而且亦不会沾黏晶圆制程中所产生的杂质。
Gas nozzle structure
A gas nozzle structure is made of metal. The circumference of the gas nozzle is convex with a fixed sheet with a larger external diameter. The fixed sheet has several connecting holes for bolts to pass through and lock them on a platform. The gas nozzle has an air passage, one end of which extends to the top surface to form a first opening for connecting with the butt of a wafer box, and the other end extends. A second opening is formed by extending to the circumference for connecting an intake pipe or an outlet pipe, and the second opening is located below the fixing sheet. The top surface of the gas nozzle is convex with several ring convex ribs with circular cross-section and concentric circle shape, which are used to connect with the butt part of the wafer box. With the above structure, the wafer box will not change greatly in height and will not stick to the wafer. The impurities produced in the process.
【技术实现步骤摘要】
气嘴结构
本技术涉及一种晶圆盒充气装置的气嘴结构，尤指一种可使置放于其上的晶圆盒不会有过大的高度变化而使机械手臂运送晶圆进、出时不会有任何影响，而且亦不会沾黏晶圆制程中所产生的杂质的气嘴结构。
技术介绍
请参阅图1所示，为一种已知晶圆盒充气装置的结构示意图，该晶圆盒充气装置10主要是设于一晶圆制程设备中用于将特定气体（如干燥空气、氮气等）充进一晶圆盒11中，使于制程中或制程后将该晶圆盒11中的晶圆12的湿气去除或是避免晶圆12产生氧化。该晶圆盒充气装置10主要包含一平台13可供承载该晶圆盒11，该平台13上设有数个气嘴14可供分别与该晶圆盒11上的对接部15对接而相连通，该数个气嘴14为橡胶或硅胶材质，且分别连接有数个进气管16及数个出气管17，供用于分别将气体导入或导出。该晶圆盒11的对接部15为一单向阀结构，即仅可由外部向内单向充入气体或是仅可由内部向外单向排出气体，此为已知且常见的结构，而且其并非本创作欲保护的范畴，因此图式中仅以简单方式示意，实际详细结构不再另外赘述，此合先叙明。请配合参阅图1-图3所示，由于橡胶或硅胶材质的气嘴14在承受重量时会产生较大的变形量，所以当该晶圆盒11置放于其上时，该晶圆盒11相对于该平台13的高度便会随着该晶圆盒11中的晶圆12的数量随时发生变化，而且其变化量亦不小，因此当该机械手臂18在将晶圆12送出或送入该晶圆盒11时，便会因其高度的变化而无法将晶圆12精准地置入该晶圆盒11中的适当位置或是精准地取出。例如图2所示，当该晶圆盒11中没有晶圆12时，则该晶圆盒11与平台13之间的高度H1较大，当如图3所示该机械手臂18将晶圆12依序运送入该晶圆盒11之中时，该气嘴14便会因承受的重量增加而受压变形，导致该晶圆盒11与平台13之间的高度H2大幅下降；反之，当满载晶圆12的晶圆盒11中的晶圆12逐渐被该机械手臂18运出时，该晶圆盒11与平台13之间的高度亦会因气嘴14承受的重量减少而弹性升高。而如此高度的大幅变化便会严重影响机械手臂18运送晶圆12进出该晶圆盒11。再者，由于该已知气嘴14的材质为橡胶或硅胶，因此非常容易沾黏制程中所产生的杂质（如PI、PBO、碳等微粒），而且该沾黏的杂质亦不易被该气嘴14的散溢气流吹离。有鉴于此，本创作人乃针对上述问题，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本创作。
技术实现思路
本技术的主要目的在于，针对已知橡胶或硅胶材质的气嘴所存在的易在制程中使晶圆盒产生过大的高度变化进而影响机械手臂运送晶圆的进出，而且易沾黏晶圆制程中所产生的杂质等问题，而提供一种气嘴结构。为解决上述问题，本技术所采用的技术方案是：一种气嘴结构，该气嘴的周面凸设有较大外径的一固定片，该固定片上具有数个结合孔可分别供数个螺栓穿过而将其螺锁结合在一平台上，该气嘴之中具有一气道，该气道一端延伸到顶面而形成一第一开口可供与一晶圆盒的对接部相接通，另一端则延伸到周面而形成一第二开口用以供连接一进气管或一出气管，且该第二开口位于该固定片的下方，其特征在于，该气嘴由金属制成，该气嘴的顶面凸设有断面呈圆弧形且呈同心圆状的数个环凸肋供用于与该晶圆盒的对接部抵接。所述数个环凸肋中，气嘴顶面内侧的环凸肋的高度高于外侧的环凸肋。所述环凸肋的数量为2道。如此，本创作所提供的气嘴结构，使该晶圆盒压设于其上时，不论该晶圆盒中的晶圆增加与否，该气嘴皆不会因受压而变形，相对的该晶圆盒的高度自始至终皆不会有太大的变化，因此机械手臂在运送晶圆进出该晶圆盒时便不会受到任何影响。而且，金属材质的该气嘴亦不易会沾黏晶圆制程中所产生的杂质，尤其是即使有少量杂质沾黏，更是会在充放气的同时因该气嘴的表面较为光滑而会被该气嘴之散溢气流吹离。本技术同时提供一种气嘴结构，包括一本体，该本体的周面凸设有较大外径的一固定片，该固定片上具有数个结合孔可分别供数个螺栓穿过而将其螺锁结合在一平台上，该本体之中具有一气道，该气道一端延伸到顶面而形成一第一开口可供与一晶圆盒的对接部相接通，另一端则延伸到周面而形成一第二开口用以供连接一进气管或一出气管，且该第二开口位于该固定片的下方，其特征在于，该气嘴还包括一O形胶圈，该本体由金属制成，该本体的顶面于该第一开口的周围设有一环沟槽；O形胶圈嵌设于该环沟槽之中，且上侧凸伸出该本体的顶面一高度。所述环沟槽的断面形状呈梯形。所述O形胶圈上侧凸伸出该本体顶面的高度小于0.1mm。所述O形胶圈为橡胶材质或为硅胶材质。如此，藉由该O形胶圈便可使其具有良好的密封效果，而且并使该晶圆盒与平台之间的最大高度变化为该O形胶圈上侧凸伸出该本体顶面的高度，因此使该晶圆盒与平台之间的高度变化可被控制到可接受的范围之内，进而使其不会影响到机械手臂运送晶圆进出，而且该金属材质的本体亦可有效减少杂质的沾黏。附图说明图1是已知晶圆盒充气装置的结构示意图。图2是已知气嘴第一种受压状态示意图。图3是已知气嘴第二种受压状态示意图。图4是本技术的立体示意图。图5是本技术的剖面示意图。图6是本技术使用状态示意图。图7是本技术另一实施例的立体分解示意图。图8是本技术另一实施例的立体组合示意图。图9是本技术另一实施例的组合剖面示意图。图10是本技术另一实施例未受压时的动作示意图。图11是本技术另一实施例受最大压力时的动作示意图。标号说明：10晶圆盒充气装置11晶圆盒12晶圆13平台14气嘴15对接部16进气管17出气管18机械手臂20气嘴21固定片22结合孔23气道24第一开口25第二开口26进气管27出气管28环凸肋30平台31晶圆盒32对接部40气嘴41本体42固定片43结合孔44气道45第一开口46第二开口47进气管48出气管49环沟槽50O形胶圈。具体实施方式请参阅图4-图6所示，显示本技术所述的气嘴结构，其由金属材质制成，该气嘴20的周面凸设有较大外径的一固定片21，该固定片21上具有数个结合孔22可分别供数个螺栓(图中未示)穿过而螺锁结合在一平台30上。该气嘴20之中具有一气道23，该气道23一端延伸到顶面而形成一第一开口24可供与一晶圆盒31的对接部32相接通，另一端则延伸到周面而形成一第二开口25用以供连接一进气管26或一出气管27，且该第二开口25位于该固定片21的下方。该气嘴20的顶面凸设有断面呈圆弧形且呈同心圆状的数个环凸肋28供用于与该晶圆盒31的对接部32抵接，内侧的该环凸肋28的高度高于外侧的环凸肋28。在本实施例中，该环凸肋28的数量为2道。如此，当该晶圆盒31压设于金属材质的该气嘴20上时，不论该晶圆盒31中的晶圆增加与否，该气嘴20皆不会因受压而变形，相对的该晶圆盒31与平台30之间的高度H3自始至终皆不会有太大的变化，因此机械手臂在运送晶圆进出该晶圆盒31时便不会受到任何影响，如图6所示。而且，金属材质的气嘴20亦不易会沾黏晶圆制程中所产生的杂质，尤其是即使有少量杂质沾黏，更是会在充放气的同时因该气嘴20的表面较为光滑而会被该气嘴20的散溢气流吹离。请参阅图7-图11所示，为本技术所述气嘴结构的另一实施例，本实施例中显示该气嘴40包括一本体41及一O形胶圈50。其中：该本体41，为金属材质制成，该本体41的周面凸设有较本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种气嘴结构，该气嘴的周面凸设有较大外径的一固定片，该固定片上具有数个结合孔可分别供数个螺栓穿过而将其螺锁结合在一平台上，该气嘴之中具有一气道，该气道一端延伸到顶面而形成一第一开口可供与一晶圆盒的对接部相接通，另一端则延伸到周面而形成一第二开口用以供连接一进气管或一出气管，且该第二开口位于该固定片的下方，其特征在于，该气嘴由金属制成，该气嘴的顶面凸设有断面呈圆弧形且呈同心圆状的数个环凸肋供用于与该晶圆盒的对接部抵接。
【技术特征摘要】
1.一种气嘴结构，该气嘴的周面凸设有较大外径的一固定片，该固定片上具有数个结合孔可分别供数个螺栓穿过而将其螺锁结合在一平台上，该气嘴之中具有一气道，该气道一端延伸到顶面而形成一第一开口可供与一晶圆盒的对接部相接通，另一端则延伸到周面而形成一第二开口用以供连接一进气管或一出气管，且该第二开口位于该固定片的下方，其特征在于，该气嘴由金属制成，该气嘴的顶面凸设有断面呈圆弧形且呈同心圆状的数个环凸肋供用于与该晶圆盒的对接部抵接。2.如权利要求1所述的气嘴结构，其特征在于，所述数个环凸肋中，气嘴顶面内侧的环凸肋的高度高于外侧的环凸肋。3.如权利要求2所述的气嘴结构，其特征在于，所述环凸肋的数量为2道。4.一种气嘴结构，包括一本体，该本体的周面凸设有较大外径的一固定片，该固定片上具有数个结合孔可...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪明，
申请(专利权)人：圣堂通讯有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71
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