柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法，其中，该柔性显示面板包括：依次层叠设置第一柔性衬底、第一炭化层、显示结构层，所述第一炭化层的激光透过率小于所述第一柔性衬底的激光透过率。上述柔性显示面板中的第一炭化层的激光透过率较第一柔性衬底的激光透过率小，能够有效阻挡从第一柔性衬底远离显示结构层一侧的表面射入到显示结构层的激光，使得进入显示结构层的激光能量减少，降低激光的透过率，避免了显示结构层受到激光的影响，进而降低激光对显示结构层中的薄膜晶体管的电学性能产生影响，延长了显示器件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法
本专利技术涉及显示
，具体涉及一种柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法。
技术介绍
随着显示技术的发展，柔性显示装置获得越来越广泛的应用。由于柔性显示面板的衬底为柔性衬底，现有的柔性显示面板的制作主要是以基板作为载具承载着柔性衬底，再在柔性衬底上形成显示器件，最后将柔性衬底和载体基板分离得到柔性显示面板。在柔性基板制程过程中，柔性衬底与载体基板的剥离是整个制程最重要的环节之一，目前常用的剥离方法是用激光器对柔性衬底与载体基板接触表面进行炭化，降低柔性衬底的粘附性，从而将柔性衬底与载体基板分离，在用激光炭化柔性衬底的过程中，较高的激光能量对薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，简称为TFT)器件的电学性能产生影响，所以降低激光器在剥离过程中对TFT器件电性的影响是非常重要的课题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供了一种柔性显示面板及柔性显示面板的制备方法，以解决现有技术中采用激光将柔性衬底与载体基板进行分离，激光能量会对薄膜晶体管的电学性能产生影响的问题。为此，本专利技术实施例提供了如下技术方案：本专利技术第一方面，提供了一种柔性显示面板，包括：依次层叠设置第一柔性衬底、第一炭化层、显示结构层，所述第一炭化层的激光透过率小于所述第一柔性衬底的激光透过率。可选地，还包括：阻隔层，设置于所述第一炭化层靠近所述显示结构层一侧的表面，或者设置于所述第一柔性衬底远离所述显示结构层一侧的表面；第二柔性衬底，设置于所述阻隔层远离所述第一柔性衬底的一侧。由于两层柔性衬底直接粘结时的粘附力较低，故在两层柔性衬底之间增加一层阻隔层，使得设置在其上的第二柔性衬底的形成过程更加简单、便捷且粘附性较高，增加第一柔性衬底和第二柔性衬底的粘合。此外，柔性衬底包括两层，即第一柔性衬底和第二柔性衬底，相较于一层柔性衬底来说，为了满足柔性衬底的厚度需求采用两层叠层设置，降低了对每一层柔性衬底的厚度要求，使得每一层的制作难度降低，工艺可控性更高，并且每一层的膜层厚度更易控制，形成的膜层均一性较好。可选地，还包括第二炭化层，设置于所述第二柔性衬底靠近所述显示结构层一侧的表面，所述第二炭化层的激光透过率小于所述第二柔性衬底的激光透过率。通过将双层柔性衬底上表面炭化，使得在LLO激光剥离过程中激光透过率进一步降低，达到LLO剥离对TFT器件电学性能影响降低的效果。可选地，还包括：无机膜层，设置于所述第一炭化层和所述阻隔层之间；或者，设置于所述第二炭化层和所述阻隔层之间。无机膜层能够增加炭化层与阻隔层之间的摩擦力，进而增加两者之间的粘附力，避免炭化层与阻隔层的分离。可选地，所述第一炭化层中碳元素的质量含量为60％～80％；和/或，所述第二炭化层中碳元素质量含量为60％～80％，这样既能够有效阻挡激光的透过，又能够保证柔性衬底的粘附性，避免相邻膜层间的裂开，延长使用寿命。可选地，所述第一炭化层和/或所述第二炭化层包括多个子炭化区域，相邻所述子炭化区域之间具有间隙，所述第一柔性衬底和/或第二柔性衬底填充于所述间隙中，所述显示结构层包括多个TFT器件，多个所述子炭化区域在所述显示结构层上的投影分别位于多个所述TFT器件区域内。在所述第一炭化层和/或所述第二炭化层中，TFT器件区域所对应的位置上设置子炭化区域，非TFT器件区域与相邻所述子炭化区域之间的间隙所对应，即炭化层为图案化结构层，使得炭化层仅保留必要区域，炭化层的设置位置更加灵活多样，炭化层的位置可根据TFT器件的具体设置位置合理确定。这样既能保护TFT器件不受激光的影响，又能够增大柔性衬底与相邻膜层之间的粘合力，使得相邻膜层间不易剥离。可选地，所述阻隔层的材料为铟镓锌氧化物。铟镓锌氧化物对308nm波长的紫外光具有较强的吸收能力，能够有效吸收激光能量。可选地，所述第一柔性衬底为聚酰亚胺薄膜；和/或，所述第二柔性衬底为聚酰亚胺薄膜。可选地，所述显示结构层包括低温多晶硅薄膜晶体管。本专利技术第二方面，提供了一种柔性显示面板的制备方法，包括：在载体基板上形成第一柔性衬底；在所述第一柔性衬底固化后，利用激光对所述第一柔性衬底远离所述载体基板一侧的表面进行炭化，形成第一炭化层；在所述第一炭化层上形成显示结构层；利用激光对所述第一柔性衬底靠近所述载体基板一侧的表面进行炭化，使得所述第一柔性衬底与所述载体基板分离。可选地，形成第一炭化层之后，还包括：在所述第一炭化层上形成阻隔层；在所述阻隔层远离所述第一炭化层一侧形成第二柔性衬底；在所述第二柔性衬底远离阻隔层的一侧形成显示结构层。可选地，在所述阻隔层远离所述第一炭化层一侧形成第二柔性衬底之后，所述方法还包括：在所述第二柔性衬底固化之后，利用激光对所述第二柔性衬底远离所述载体基板一侧的表面进行炭化，形成第二炭化层。可选地，形成第一炭化层之后，还包括：将所述第一柔性衬底从所述载体基板上剥离；在所述载体基板上形成第二柔性衬底；在所述第二柔性衬底远离载体基板的一侧形成阻隔层；将剥离的所述第一柔性衬底粘附在所述阻隔层上；在所述第一柔性衬底上形成显示结构层；利用激光对所述第二柔性衬底靠近所述载体基板一侧的表面进行炭化，使得所述第二柔性衬底与所述载体基板分离。可选地，在所述载体基板上形成第二柔性衬底之后，所述方法还包括：在所述第二柔性衬底固化之后，利用激光对所述第二柔性衬底远离所述载体基板一侧的表面进行炭化，形成第二炭化层。可选地，在所述第一炭化层上形成阻隔层之前，在所述第一炭化层上形成无机膜层；或者，在所述第二柔性衬底上形成阻隔层之前，在所述第二炭化层上形成无机膜层。可选地，在所述第一炭化层上形成阻隔层之前，对所述第一炭化层远离所述载体基板一侧的表面进行粗化；或者，在所述第二柔性衬底上形成阻隔层之前，对所述第二炭化层远离所述载体基板一侧的表面进行粗化。可选地，所述载体基板为玻璃基板。本专利技术第三方面，提供了一种显示设备，包括如本专利技术第一方面中任一所述的柔性显示面板。本专利技术实施例技术方案，具有如下优点：1.本专利技术实施例提供了一种柔性显示面板，包括：依次层叠设置第一柔性衬底、第一炭化层、显示结构层，所述第一炭化层的透过率小于所述第一柔性衬底的透过率。上述柔性显示面板中的第一炭化层的透过率较第一柔性衬底的透过率小，能够有效阻挡从第一柔性衬底远离显示结构层一侧的表面射入到显示结构层的激光，使得进入显示结构层的激光能量减少，降低激光的透过率，避免了显示结构层受到激光的影响，进而降低激光对显示结构层中的薄膜晶体管的电学性能产生影响，延长了显示器件的使用寿命。2.本专利技术实施例提供了一种柔性显示面板，其中，柔性显示面板的制备方法包括在载体基板上形成第一柔性衬底；在该第一柔性衬底固化后，利用激光对该第一柔性衬底远离载体基板一侧的表面进行炭化，形成第一炭化层，在第一炭化层上形成显示结构层，激光炭化后柔性衬底中碳元素含量上升，碳元素的增加会对激光透射率有一定的阻隔，当柔性衬底与基板进行激光剥离时，炭化层的存在降低了激光能量的透过率，避免了显示结构层受到激光的影响，从而解决了现有技术中采用激光将柔性衬底与载体基板进行分离，激光能量会对薄膜晶体管的电学性能产生影响的问题，在保障剥离效果的同时，延长了显示器件的使用寿命。附图说明为了更清楚地说明本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：依次层叠设置第一柔性衬底、第一炭化层、显示结构层，所述第一炭化层的激光透过率小于所述第一柔性衬底的激光透过率。

【技术特征摘要】
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括：依次层叠设置第一柔性衬底、第一炭化层、显示结构层，所述第一炭化层的激光透过率小于所述第一柔性衬底的激光透过率。2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，还包括：阻隔层，设置于所述第一炭化层靠近所述显示结构层一侧的表面，或者设置于所述第一柔性衬底远离所述显示结构层一侧的表面；第二柔性衬底，设置于所述阻隔层远离所述第一柔性衬底的一侧。3.根据权利要求2所述的柔性显示面板，其特征在于，还包括第二炭化层，设置于所述第二柔性衬底靠近所述显示结构层一侧的表面，所述第二炭化层的激光透过率小于所述第二柔性衬底的激光透过率。4.根据权利要求3所述的柔性显示面板，其特征在于，还包括：无机膜层，设置于所述第一炭化层和所述阻隔层之间；或者，设置于所述第二炭化层和所述阻隔层之间。5.根据权利要求3或者4所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一炭化层中碳元素质量含量为60％～80％；和/或，所述第二炭化层中碳元素质量含量为60％～80％。6.根据权利要求1-5任一项所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一炭化层和/或所述第二炭化层包括多个子炭化区域，相邻所述子炭化区域之间具有间隙，所述第一柔性衬底和/或所述第二柔性衬底填充于所述间隙中，所述显示结构层包括多个TFT器件，多个所述子炭化区域在所述显示结构层上的投影分别位于多个所述TFT器件区域内。7.一种柔性显示面板的制备方法，其特征在于，包括：在载体基板上形成第一柔性衬底；在所述第一柔性衬底固化后，利用激光对所述第一柔性衬底远离所述载体基板一侧的表面进行炭化，形成第一炭化层；在所述第一炭化层上形成显示结构层；利用...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨宁，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13