一种加热装置及加热方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种加热装置及加热方法，将吸盘直接固定在隔热座上，通过柔性固定装置将薄型加热器倒挂于吸盘下表面，加热器和吸盘受热形变产生的力轴向向下传递，减小了加热器在加热过程中自身形变对基底的高度及平面度的影响。在加热器与吸盘之间增加温度均化层，实现加热器和吸盘之间的均匀传热，在加热器下表面增加固定层，避免加热器由于热量无法迅速传递致使其局部受热而发生翘曲。同时本发明专利技术采用薄型加热器，降低了加热装置的重量，进而降低了对工作台的负载需求，由于加热器厚度的降低，加热器热容减小，加热装置加热和冷却的周期缩短，提高了加热效率。

A Heating Device and Method

The invention provides a heating device and a heating method, which fixes the suction cup directly on the heat insulating seat, hangs the thin heater upside down on the lower surface of the suction cup through a flexible fixing device, and transfers the force produced by the heating deformation of the heater and the suction cup downwards in an axial direction, thus reducing the influence of the deformation of the heater itself on the height and plane of the base during heating process. Increase the temperature homogenization layer between the heater and the sucker to realize the uniform heat transfer between the heater and the sucker. Increase the fixed layer on the lower surface of the heater to avoid the warping of the heater due to the rapid heat transfer. At the same time, the thin heater reduces the weight of the heating device, thereby reducing the load demand of the worktable. As the thickness of the heater decreases, the heat capacity of the heater decreases, the heating and cooling cycle of the heating device shortens, and the heating efficiency improves.

【技术实现步骤摘要】
一种加热装置及加热方法
本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种键合加热装置及加热方法。
技术介绍
晶圆键合技术可以将不同材料的晶圆结合在一起。利用晶圆键合技术组合新结构材料有极大的自由度，被广泛应用于微电子电路、传感器、功率器件微机械加工、光电子器件、绝缘性硅晶片等领域。晶圆键合过程一般是将硅片、玻璃衬底等基底材料在真空环境下加热到一定的温度，施加一定的外力，并持续一定时间，进行键合。现有晶圆键合设备的主要加热装置如图1所示：通过钎焊将加热丝埋在高温合金的金属盘中制作加热器13，将所述加热器13置于隔热座14上，在加热器13上叠加吸盘12，或者将加热器13和吸盘12合并成一个零件，通过吸盘12吸附基底11，加热过程热传导依次经过加热器13、吸盘12，最后到基底11，完成基底11加热。该加热装置中，加热器13重量较大，对承载该加热装置的工作台动力学性能影响非常大，不适合用于对重量有限制的场合，而且加热过程中热膨胀会导致加热器13及吸盘12整体厚度变厚，使其平面度变差，进一步影响吸附于吸盘12上基底11的高度及平面度。由于在晶圆键合设备中需要用机器视觉系统对基底11上的芯片进行位置检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热装置，其特征在于，包括：加热器、吸盘及隔热座，所述吸盘固定在所述隔热座上，所述隔热座位于所述吸盘的边缘；所述加热器固定在所述吸盘上，且所述加热器与所述隔热座位于所述吸盘的同一表面上。

【技术特征摘要】
1.一种加热装置，其特征在于，包括：加热器、吸盘及隔热座，所述吸盘固定在所述隔热座上，所述隔热座位于所述吸盘的边缘；所述加热器固定在所述吸盘上，且所述加热器与所述隔热座位于所述吸盘的同一表面上。2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热器为薄型加热器。3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热器和所述吸盘的重量比例小于1。4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热器同所述吸盘相贴合。5.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括柔性固定装置，所述加热器通过所述柔性固定装置固定在所述吸盘的下表面。6.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述柔性固定装置包括蝶形弹簧和台阶螺栓，所述蝶形弹簧位于所述台阶螺栓的台阶上。7.根据权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述台阶螺栓的台阶高度由所述加热器的厚度、重量及所述蝶形弹簧的压缩量决定。8.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：程静，朱鸷，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31