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本发明提供一种加热装置及加热方法，将吸盘直接固定在隔热座上，通过柔性固定装置将薄型加热器倒挂于吸盘下表面，加热器和吸盘受热形变产生的力轴向向下传递，减小了加热器在加热过程中自身形变对基底的高度及平面度的影响。在加热器与吸盘之间增加温度均化层...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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