一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，包括设置在片盒清洗机周围的轨道以及设置在轨道上的搬运小车，轨道的一侧设置有齿条，搬运小车的下部设置有第二电机带动运转的齿轮，齿轮和齿条啮合，搬运小车上设置有片盒治具夹紧转台，片盒治具夹紧转台可在竖直方向上进行转动。本发明专利技术所述的适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，有效节省工作空间、提高了生产效率。

An Automatic Transmission Device for Sheet Box Cleaner Applicable to First Class Cleaning Room

The invention provides an automatic transmission device for a sheet box cleaner suitable for a first-class clean room, which includes a track set around the sheet box cleaner and a moving trolley set on the track. A rack is arranged on one side of the track, a gear driven by a second motor is arranged on the lower part of the moving trolley, and a gear and rack mesh is arranged on the moving trolley, and a clamping turntable for the sheet box fixture is arranged on the moving trolley. The clamping turntable of the box fixture can be rotated vertically. The automatic transmission device of the sheet box cleaner suitable for the first class clean room can effectively save working space and improve production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置
本专利技术属于半导体材料领域，尤其是涉及一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置。
技术介绍
在半导体硅单晶制造领域中,片盒清洗机中片盒治具需要人工从出口搬运至入口，浪费人力，片盒清洗效率低下；另外，片盒清洗机与墙壁之间空间有限，人工搬运十分不便。采用RGV小车传输片盒治具，可节省人力，提高自动化程度，有效节省工作空间，对传输片盒治具具有非常重要的应用价值。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术旨在提出一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，有效节省工作空间、提高了生产效率。为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，包括设置在片盒清洗机周围的轨道以及设置在轨道上的搬运小车，轨道的一侧设置有齿条，搬运小车的下部设置有第二电机带动运转的齿轮，齿轮和齿条啮合，搬运小车上设置有片盒治具夹紧转台，片盒治具夹紧转台可在竖直上进行转动。进一步的，片盒治具夹紧转台包括片盒治具托架和夹紧装置，片盒治具托架下面与转动轴固定连接，转动轴通过联轴器与第一电机的输出轴连接，在第一电机的带动下，片盒治具托架以转动轴为中心进行转动。进一步的，片盒治具托架包括底板和侧板，侧板位于底板的两侧且与底板垂直，底板上且位于设置有侧板的两端分别设置有滚轮，片盒治具通过滚轮平移至片盒治具托架上，夹紧装置设置在侧板上，夹紧装置包括气缸和夹紧板，气缸固定设置在侧板的外侧，且气缸的活塞杆竖直向上设置，活塞杆的端部固定连接有L形的夹紧板，夹紧板在气缸的带动下夹紧片盒治具。进一步的，搬运小车下面设置有第二电机、齿轮和车轮，车轮分别布置在轨道的两侧，第二电机竖直方向设置且第二电机的输出轴朝下设置，第二电机的输出轴的端部固定设置有齿轮，齿轮与齿条配合，在第二电机的带动下齿轮转动带动。进一步的，第二电机的输出轴与齿轮之间采用平键进行连接。进一步的，侧板的同一端设置有向内延伸的挡板。工作原理：在片盒清洗机的出口处，片盒治具移动至片盒清洗机出口处，并且其上装有片盒。首先启动气缸，使夹紧板上升，片盒治具通过滚轮托送至片盒治具托架上，由于滚轮的设置，减小了滚轮与片盒治具之间的摩擦，提高了工作的洁净度。待片盒治具进入片盒治具托架上之后，将夹紧板向下移动，使得夹紧板将片盒治具夹紧。启动第一电机，第一电机通过输出轴、联轴器以及转动轴进而带动片盒治具托架转动45°，取下片盒再旋转45°片盒治具处于竖直状态。滚轮为塑料材质，避免摩擦产尘。然后启动第二电机，进而齿轮转动，进而齿轮通过与齿条啮合向前移动，进而搬运小车向前移动。将片盒治具传输至片盒清洗机入口处，将片盒治具放置在清洗机入口处，反方向旋转45°，将片盒挂在片盒治具上，再继续旋转45°，片盒治具处于水平位置。然后启动气缸，使夹紧板上升，带有片盒的片盒治具通过滚轮离开搬运小车，进入到片盒清洗机。然后卸下了片盒治具的搬运小车再次返回片盒清洗机出口，等待装有清洗之后片盒的片盒治具。相对于现有技术，本专利技术所述的适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置具有以下优势：本专利技术所述的适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，能够实现将片盒治具从片盒清洗机出口处传输至入口处，避免了传输效率低下、传输空间小等弊端,有效的节省人力，节约工作时间，提高工作效率，解决人工成本。附图说明构成本专利技术的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为本专利技术实施例所述的装有片盒清洗机的一级洁净室的示意图；图2为本专利技术实施例所述的带有传输装置的片盒清洗机的结构示意图；图3为本专利技术实施例所述的搬运小车的下部与轨道配合的结构示意图；图4为本专利技术实施例所述的搬运小车的结构示意图。附图标记说明：1-片盒清洗机；2-轨道；3-搬运小车；4-齿条；5-第二电机；6-齿轮；7-片盒治具托架；701-底板；702-侧板；703-挡板；8-第一电机；9-滚轮；10-片盒治具；11-气缸；12-夹紧板；13-车轮。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。如图1-4所示，一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，包括设置在片盒清洗机1周围的轨道2以及设置在轨道2上的搬运小车3，轨道2的一侧设置有齿条4，搬运小车3的下部设置有第二电机5带动运转的齿轮6，齿轮6和齿条4啮合，搬运小车3上设置有片盒治具夹紧转台，片盒治具夹紧转台可在竖直上进行转动。上述片盒治具夹紧转台包括片盒治具托架7和夹紧装置，片盒治具托架7下面与转动轴固定连接，转动轴通过联轴器与第一电机8的输出轴连接，在第一电机8的带动下，片盒治具托架7以转动轴为中心进行转动。上述片盒治具托架7包括底板701和侧板702，侧板702位于底板701的两侧且与底板701垂直，底板701上且位于设置有侧板702的两端分别设置有滚轮9，片盒治具10通过滚轮9平移至片盒治具托架7上，夹紧装置设置在侧板702上，夹紧装置包括气缸11和夹紧板12，气缸11固定设置在侧板702的外侧，且气缸11的活塞杆竖直向上设置，活塞杆的端部固定连接有L形的夹紧板12，夹紧板12在气缸11的带动下夹紧片盒治具10。上述搬运小车3下面设置有第二电机5、齿轮6和车轮13，车轮13分别布置在轨道2的两侧，第二电机5竖直方向设置且第二电机5的输出轴朝下设置，第二电机5的输出轴的端部固定设置有齿轮6，齿轮6与齿条4配合，在第二电机5的带动下齿轮6转动带动。上述第二电机5的输出轴与齿轮6之间采用平键进行连接。上述侧板702的同一端设置有向内延伸的挡板703。上述滚轮9为塑料材质。工作原理：在片盒清洗机1的出口处，片盒治具10被拉出离开出口，此时片盒治具10上面装有片盒。首先启动气缸11，使夹紧板12上升，片盒治具10通过滚轮9托送至片盒治具托架7上，由于滚轮9的设置，减小了滚轮9与片盒治具10之间的摩擦，提高了工作的洁净度。待片盒治具10进入片盒治具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，其特征在于：包括设置在片盒清洗机(1)周围的轨道(2)以及设置在轨道(2)上的搬运小车(3)，轨道(2)的一侧设置有齿条(4)，搬运小车(3)的下部设置有第二电机(5)带动运转的齿轮(6)，齿轮(6)和齿条(4)啮合，搬运小车(3)上设置有片盒治具夹紧转台，片盒治具夹紧转台可在竖直方向上进行转动。

【技术特征摘要】
1.一种适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，其特征在于：包括设置在片盒清洗机(1)周围的轨道(2)以及设置在轨道(2)上的搬运小车(3)，轨道(2)的一侧设置有齿条(4)，搬运小车(3)的下部设置有第二电机(5)带动运转的齿轮(6)，齿轮(6)和齿条(4)啮合，搬运小车(3)上设置有片盒治具夹紧转台，片盒治具夹紧转台可在竖直方向上进行转动。2.根据权利要求1所述的适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，其特征在于：片盒治具夹紧转台包括片盒治具托架(7)和夹紧装置，片盒治具托架(7)下面与转动轴固定连接，转动轴通过联轴器与第一电机(8)的输出轴连接，在第一电机(8)的带动下，片盒治具托架(7)以转动轴为中心进行转动。3.根据权利要求1所述的适用于一级洁净室的片盒清洗机自动传输装置，其特征在于：片盒治具托架(7)包括底板(701)和侧板(702)，侧板(702)位于底板(701)的两侧且与底板(701)垂直，底板(701)上且位于设置有侧板(702)的两端分别设置有滚轮(9)，片盒治具(10)通过滚轮(9)平移至片盒治具托架(7)上，夹紧装置设置在侧板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文亮，张丰，张久武，张少飞，张淳，戴超，刘琦，孙晨光，徐荣清，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12