【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片清洗领域，尤其涉及一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置。
技术介绍
1、在硅片清洗时，一般都是将硅片放在陶瓷盘上进行清洗。故，在硅片清洗工序，需要先将陶瓷盘传送到清洗机内，再将硅片传送到硅片对应位置。如此，就需要保证陶瓷盘表面无异物，因为硅片极薄，若陶瓷盘表面有异物，置于其上的硅片表面就会被磨损，甚至导致硅片直接破裂。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的问题，提供一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，其可检测陶瓷盘表面是否有异物，从而可有效防止携带异物的陶瓷盘进行下一步流转，防止异物进入下一工序影响陶瓷盘洁净度，防止携带异物的陶瓷盘重复利用对硅片造成损伤。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，包括底板，所述底板的上表面固定连接有滚筒输送机，所述底板的上表面固定连接有第一u形板，所述第一u形板内壁的顶部固定连接有第一液压推杆，所述第一液压推杆的底部固定连接有第一横板，所述第一横板的前后两侧均与第一u形板的内壁接触，所述第一u形板内壁的前后两侧均固定连接有矩形环，所述第一横板的左右两侧均与矩形环的内壁接触，所述第一横板的上表面固定连接有空心块，所述空心块的内壁贴合设置有滑柱，所述滑柱的右侧固定连接有压力传感器，所述压力传感器的右侧和第一横板的上表面均固定连接有连接块，所述滑柱的底部固定连接有弧形柱，所述弧形柱位于第一横板的左侧，所述第一u形板的正面固定连
4、优选的，所述报警机构包括第一安装板，所述第一安装板的背面与第一u形板的正面固定连接，所述第一安装板的正面固定连接有盒体，所述盒体的上表面固定连接有报警器，所述盒体的正面固定连接有触控显示屏，所述盒体的内壁固定连接有控制器，所述报警器、触控显示屏、滚筒输送机、第一液压推杆、压力传感器、第二液压推杆和视觉识别传感器均与控制器电连接。
5、优选的，所述调节支架包括第二安装板，所述第二安装板的底部与第一u形板的上表面固定连接，所述第二安装板的上表面固定连接有方形块，所述方形块的内部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有螺纹柱，所述螺纹柱的表面固定连接有圆板，所述圆板的底部固定连接有圆筒，所述圆筒的底部和第二安装板的上表面均贴合设置有第二横板，所述第二横板的底部与视觉识别传感器的上表面固定连接，所述第二横板的内部开设有条形孔，所述条形孔的内壁与方形块的表面接触。
6、优选的，所述条形孔的长度大于方形块的长度。
7、优选的，所述方形块、螺纹柱、圆板和圆筒的中心均在同一垂直线上。
8、优选的，所述圆筒的表面固定连接有挡环，所述第二横板的上表面、挡环的底部和圆筒的表面均贴合设置有橡胶环。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
10、(1)本技术通过弧形柱和视觉识别传感器对滚筒输送机上的陶瓷盘进行拍照，并将拍摄结果传递至报警机构内进行计算，若计算出陶瓷盘上存在异物，此时，通过弧形柱使陶瓷板无法继续输送，并通过报警器提醒作业人员及时清理陶瓷盘上的异物或者将陶瓷盘取出，进而能有效地防止携带异物的陶瓷盘进行下一步流转，防止异物进入下一工序影响陶瓷盘洁净度，防止携带异物的陶瓷盘重复利用对后续硅片造成损伤。
11、(2)本技术通过滑孔、第二u形板和第二液压推杆的配合，使视觉识别传感器与滚筒输送机之间的距离能根据需要进行调节，同时，通过调节支架使视觉识别传感器与第二u形板的之间能根据需要进行调节，进而通过滑孔、第二u形板、第二液压推杆和调节支架的配合，使视觉识别传感器的位置可根据陶瓷盘的形状进行调节。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上表面固定连接有滚筒输送机(2)，所述底板(1)的上表面固定连接有第一U形板(3)，所述第一U形板(3)内壁的顶部固定连接有第一液压推杆(4)，所述第一液压推杆(4)的底部固定连接有第一横板(5)，所述第一横板(5)的前后两侧均与第一U形板(3)的内壁接触，所述第一U形板(3)内壁的前后两侧均固定连接有矩形环(6)，所述第一横板(5)的左右两侧均与矩形环(6)的内壁接触，所述第一横板(5)的上表面固定连接有空心块(7)，所述空心块(7)的内壁贴合设置有滑柱(8)，所述滑柱(8)的右侧固定连接有压力传感器(9)，所述压力传感器(9)的右侧和第一横板(5)的上表面均固定连接有连接块(10)，所述滑柱(8)的底部固定连接有弧形柱(11)，所述弧形柱(11)位于第一横板(5)的左侧，所述第一U形板(3)的正面固定连接有报警机构(12)，所述第一U形板(3)的上表面开设有滑孔(13)，所述滑孔(13)的内壁贴合设置有第二U形板(14)，所述第二U形板(14)内壁的顶部和第一U形板(3)的上表面均固定
2.根据权利要求1所述的一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，其特征在于，所述报警机构(12)包括第一安装板(121)，所述第一安装板(121)的背面与第一U形板(3)的正面固定连接，所述第一安装板(121)的正面固定连接有盒体(122)，所述盒体(122)的上表面固定连接有报警器(123)，所述盒体(122)的正面固定连接有触控显示屏(124)，所述盒体(122)的内壁固定连接有控制器(125)，所述报警器(123)、触控显示屏(124)、滚筒输送机(2)、第一液压推杆(4)、压力传感器(9)、第二液压推杆(15)和视觉识别传感器(17)均与控制器(125)电连接。
3.根据权利要求1所述的一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，其特征在于，所述调节支架(16)包括第二安装板(161)，所述第二安装板(161)的底部与第一U形板(3)的上表面固定连接，所述第二安装板(161)的上表面固定连接有方形块(162)，所述方形块(162)的内部开设有螺纹孔(163)，所述螺纹孔(163)的内壁螺纹连接有螺纹柱(164)，所述螺纹柱(164)的表面固定连接有圆板(165)，所述圆板(165)的底部固定连接有圆筒(166)，所述圆筒(166)的底部和第二安装板(161)的上表面均贴合设置有第二横板(167)，所述第二横板(167)的底部与视觉识别传感器(17)的上表面固定连接，所述第二横板(167)的内部开设有条形孔(168)，所述条形孔(168)的内壁与方形块(162)的表面接触。
4.根据权利要求3所述的一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，其特征在于，所述条形孔(168)的长度大于方形块(162)的长度。
5.根据权利要求3所述的一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，其特征在于，所述方形块(162)、螺纹柱(164)、圆板(165)和圆筒(166)的中心均在同一垂直线上。
6.根据权利要求3所述的一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，其特征在于，所述圆筒(166)的表面固定连接有挡环(18)，所述第二横板(167)的上表面、挡环(18)的底部和圆筒(166)的表面均贴合设置有橡胶环(19)。
...【技术特征摘要】
1.一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上表面固定连接有滚筒输送机(2)，所述底板(1)的上表面固定连接有第一u形板(3)，所述第一u形板(3)内壁的顶部固定连接有第一液压推杆(4)，所述第一液压推杆(4)的底部固定连接有第一横板(5)，所述第一横板(5)的前后两侧均与第一u形板(3)的内壁接触，所述第一u形板(3)内壁的前后两侧均固定连接有矩形环(6)，所述第一横板(5)的左右两侧均与矩形环(6)的内壁接触，所述第一横板(5)的上表面固定连接有空心块(7)，所述空心块(7)的内壁贴合设置有滑柱(8)，所述滑柱(8)的右侧固定连接有压力传感器(9)，所述压力传感器(9)的右侧和第一横板(5)的上表面均固定连接有连接块(10)，所述滑柱(8)的底部固定连接有弧形柱(11)，所述弧形柱(11)位于第一横板(5)的左侧，所述第一u形板(3)的正面固定连接有报警机构(12)，所述第一u形板(3)的上表面开设有滑孔(13)，所述滑孔(13)的内壁贴合设置有第二u形板(14)，所述第二u形板(14)内壁的顶部和第一u形板(3)的上表面均固定连接有第二液压推杆(15)，所述第二u形板(14)的上表面固定连接有调节支架(16)，所述调节支架(16)的底部固定连接有视觉识别传感器(17)，所述视觉识别传感器(17)位于第二u形板(14)的左侧，所述滚筒输送机(2)、第一液压推杆(4)、压力传感器(9)、第二液压推杆(15)和视觉识别传感器(17)均与报警机构(12)电连接。
2.根据权利要求1所述的一种检测陶瓷盘表面异物防止流入清洗机的装置，其特征在于，所述报警机构(12)包括第一安装板(121)，所述第一安装板(121)的背面与第一u形板(3)的正面固定连接，所述第一安装板(121)的正面固定连接有盒体(122)，所述盒体(122)的上表面固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈海波，刘子申，李文磊，严政先，许普增，王立征，周林壮，赵鹏，郑栋雨，东士博，刘建伟，谭永麟，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。