The utility model discloses a honeycomb micro-stop structure, which comprises a honeycomb structure in which a conduction frame and a support frame are clamped. The conduction frame has an outward projection bump on the outward side. The impact stress is dispersed by the cascaded honeycomb structure. The honeycomb micro-stop structure not only absorbs the impact energy but also avoids the stress concentration caused by the deformation of the micro-stop structure after the mass block collides with the micro-stop structure.
【技术实现步骤摘要】
一种蜂窝状微止挡结构
本技术涉及电子领域，具体涉及一种微器件的抗冲击过载微机械结构。
技术介绍
MEMS传感器通过测量微小敏感结构的某种变化来实现相应待测量的测量。MEMS（MicroElectroMechanicalSystem）传感器具有体积小、质量轻、功耗低、成本低等优点。MEMS惯性传感器包括检测加速度的MEMS加速度传感器和检测角速度的MEMS陀螺仪，其可广泛的应用于军事和民用领域。在工业自动化领域，其主要应用于先进的自动安全系统、高性能的导航系统、航行稳定性、翻滚的检测和预防、以及安全气囊和制动系统。在消费电子产品领域，主要应用于手机、平板电脑等数码产品、摄影器材中的图像稳定、虚拟现实产品以及计算机游戏。在军事应用方面，主要运用于弹药的惯性制导、飞行器的导航和姿态控制、平台稳定、便携式单兵导航等。在部分冲击和振动较强的应用场合，MEMS惯性传感器需具备相应的抗冲击能力才能保证器件不发生失效或性能退化，实现恶劣环境下的加速度或角速度测量。技术专利申请《一种带声学腔的电容式加速度传感器》提出在加速度传感器敏感结构的背面设计加工出带有阻尼孔和限位凸点的背极板...
【技术保护点】
1.一种蜂窝状微止挡结构，其特征是，包括传导框架和支撑框架夹持在其中的蜂窝结构，所述传导框架朝向外部的一面具有一向外凸出的碰撞凸点。
【技术特征摘要】
1.一种蜂窝状微止挡结构，其特征是，包括传导框架和支撑框架夹持在其中的蜂窝结构，所述传导框架朝向外部的一面具有一向外凸出的碰撞凸点。2.根据权利要求1所述的一种蜂窝状微止挡结构，其特征是，所述碰撞凸点朝向MEMS惯性传感器的质量块。3.根据权利要求1所述的一种蜂窝状微止挡结构，其特征是，所述支撑框架固定在基底上。4.根据权利要求1所述的一种蜂窝状微止挡结构，其特征是，所述碰撞凸点在接触碰撞过程中，将碰撞受力经传导框架传递至蜂窝结构，使蜂窝结构发生形变。5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：凤瑞，
申请(专利权)人：中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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