镀膜装置制造方法及图纸

本公开涉及一种镀膜装置。装置包括：多个腔室、至少一个载板、传输装置、设置在任意相邻两个腔室之间的、可上下移动的隔离机构、控制器；其中，每个腔室的外侧、邻近隔离机构的位置处均设置至少一个第一位置传感器，它用于检测隔离机构的邻近位置是否有载板；载板设置在传输装置上；隔离机构用于隔离或连通相邻两个腔室，至少一个隔离机构的底部设置有至少一个第二位置传感器，用于检测隔离机构的下方是否有载板；控制器用于根据至少一个第一位置传感器和至少一个第二位置传感器的检测结果，控制隔离机构动作。由此，可有效避免因隔离机构误关闭导致的载板、隔离机构损坏，降低了设备维护成本，缩短了设备维护时间，提升了镀膜效率。

coating device

The present disclosure relates to a coating device. The device comprises a plurality of chambers, at least one carrier plate, a transmission device, a movable isolation mechanism and a controller arranged between any two adjacent chambers, in which at least one first position sensor is arranged at the outer side of each chamber and the position of the adjacent isolation mechanism, which is used to detect whether there is a carrier plate in the adjacent position of the isolation mechanism; the carrier plate is arranged in the transmission device. The isolation mechanism is used to isolate or connect two adjacent chambers. At least one second position sensor is arranged at the bottom of the isolation mechanism to detect whether there is a carrier plate under the isolation mechanism. The controller is used to control the action of the isolation mechanism according to the detection results of at least one first position sensor and at least one second position sensor. Therefore, it can effectively avoid the damage of the plate and isolation mechanism caused by the incorrect closure of the isolation mechanism, reduce the cost of equipment maintenance, shorten the equipment maintenance time, and improve the coating efficiency.

【技术实现步骤摘要】
镀膜装置
本公开涉及镀膜领域，具体地，涉及一种镀膜装置。
技术介绍
镀膜设备在通过传输装置传输载板时，通常采用设置在腔室外侧的位置传感器来检测载板是否靠近相邻两个腔室之间的隔离机构(例如，门阀)，其中，该隔离机构通过上下移动来隔离或连通相邻两个腔室；之后，该位置传感器将检测信号发送至可编程逻辑控制器，该可编程逻辑控制器根据该检测信号，控制隔离机构动作。如果上述位置传感器出现故障(即失效)，可编程逻辑控制器无法接收到相应的检测信号，可能引起隔离机构误动作，从而造成设备损坏。例如，可编程逻辑控制器最近一次接收到的检测信号表示隔离机构下方无载板，此时，可编程逻辑控制器控制隔离机构下移，同时载板通过该隔离机构下方，而位置传感器故障导致可编程逻辑控制器无法接收到新的检测信号，这样，隔离机构会与载板发生碰撞，可能导致载板、载板上的待镀膜样品、以及隔离机构损坏，造成镀膜装置停机。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的问题，本公开提供一种镀膜装置。为了实现上述目的，本公开提供一种镀膜装置，包括：多个腔室、至少一个载板、传输装置、设置在任意相邻两个腔室之间的、可上下移动的隔离机构、以及控制器；其中，每个所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：多个腔室(1)、至少一个载板(2)、传输装置(3)、设置在任意相邻两个腔室(1)之间的、可上下移动的隔离机构(4)、以及控制器(5)；其中，每个所述腔室(1)的外侧、邻近所述隔离机构(4)的位置处均设置有至少一个第一位置传感器(6)，所述第一位置传感器(6)用于检测所述隔离机构(4)的邻近位置是否存在所述载板(2)；所述至少一个载板(2)，设置在所述传输装置(3)上，用于安装待镀膜样品；所述传输装置(3)，用于将所述至少一个载板(2)从一腔室(1)输送至另一腔室(1)；所述隔离机构(4)，用于通过上下移动来隔离或连通所述相邻两个腔室(1)，并且，至少一个所述...

【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：多个腔室(1)、至少一个载板(2)、传输装置(3)、设置在任意相邻两个腔室(1)之间的、可上下移动的隔离机构(4)、以及控制器(5)；其中，每个所述腔室(1)的外侧、邻近所述隔离机构(4)的位置处均设置有至少一个第一位置传感器(6)，所述第一位置传感器(6)用于检测所述隔离机构(4)的邻近位置是否存在所述载板(2)；所述至少一个载板(2)，设置在所述传输装置(3)上，用于安装待镀膜样品；所述传输装置(3)，用于将所述至少一个载板(2)从一腔室(1)输送至另一腔室(1)；所述隔离机构(4)，用于通过上下移动来隔离或连通所述相邻两个腔室(1)，并且，至少一个所述隔离机构(4)的底部设置有至少一个第二位置传感器(7)，所述第二位置传感器(7)为贴片式传感器，用于检测所述隔离机构(4)的下方是否存在所述载板(2)；所述控制器(5)，分别与所述至少一个第一位置传感器(6)、所述至少一个第二位置传感器(7)以及所述隔离机构(4)连接，用于根据所述至少一个第一位置传感器(6)和所述至少一个第二位置传感器(7)的检测结果，控制所述隔离机构(4)动作。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述至少一个第二位置传感器(7)包括以下中的至少一者：压力传感器、电容式传感器、电阻式传感器。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述隔离机构(4)包括上隔挡腔(11)、下开口部(12)、以及与所述上隔挡腔(11)内的驱动杆(111)相连接、可上下移动的止挡件(13)，当所述止...

【专利技术属性】
技术研发人员：张寅，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11