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本公开涉及一种镀膜装置。装置包括：多个腔室、至少一个载板、传输装置、设置在任意相邻两个腔室之间的、可上下移动的隔离机构、控制器；其中，每个腔室的外侧、邻近隔离机构的位置处均设置至少一个第一位置传感器，它用于检测隔离机构的邻近位置是否有载板；...
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