一种提高换热效率的冷却板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种提高换热效率的冷却板，包括底板和盖板，所述底板和盖板内设置有多个一体式结构的分部，所述每个分部内均设置有循环水道，所述循环水道为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管和与回水通道连接的回水管，所述进水管上连接有流量阀，用于调节每个分部内冷却液的流量，本实用新型专利技术提供的冷却板通过在冷却板内设置进、回水通道并行的循环水道，解决了因进水、回水温差引起的整体冷却板温度不均匀的问题，同时由于流量阀和温度传感器的设置使得可对各个分部的冷却液流量进行控制，以使得板体上各个区域的冷却效果一致，同时也提高了冷却效率。

【技术实现步骤摘要】
一种提高换热效率的冷却板
本技术涉及一种冷却装置，特别涉及一种提高换热效率的冷却板。
技术介绍
在液晶半导体成膜过程中，靶材受到高速荷能粒子连续轰击，会产生高温，易造成靶材损坏。于是需要通过冷却背板，对靶材持续进行冷却，冷却板结构大多采用厚板中深孔钻加工出单回路水道、水管直接折弯成型的结构。这种厚板深孔钻加工水道结构受加工工艺限制，大多为一进、一出单回路水道，冷却效率低，进水侧与回水侧温差大，整板温度均匀性差，严重影响了设备整体的工艺节拍；并且水管折弯成型的排管结构因各管道之间缝隙多，大面积使用时多将水管固定于平板上，管与平板之间的热传导效果差、维护清理工作量大。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种解决自身温度不均的一种提高换热效率的冷却板。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种提高换热效率的冷却板，包括底板和盖板，所述底板和盖板内设置有多个一体式结构的分部，所述每个分部内均设置有循环水道，所述循环水道为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管和与回水通道连接的回水管，所述进水管上连接有流量阀，用于调节每个分部内冷却液的流量。进一步的是：还包括多个温度传感器，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高换热效率的冷却板，其特征在于：包括底板(1)和盖板(2)，所述底板(1)和盖板(2)内设置有多个一体式结构的分部，所述每个分部内均设置有循环水道(3)，所述循环水道(3)为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管(4)和与回水通道连接的回水管(5)，所述进水管(4)上连接有流量阀(6)，用于调节每个分部内冷却液的流量。

【技术特征摘要】
1.一种提高换热效率的冷却板，其特征在于：包括底板(1)和盖板(2)，所述底板(1)和盖板(2)内设置有多个一体式结构的分部，所述每个分部内均设置有循环水道(3)，所述循环水道(3)为进、回水通道并行的水道，还包括与进水通道连接的进水管(4)和与回水通道连接的回水管(5)，所述进水管(4)上连接有流量阀(6)，用于调节每个分部内冷却液的流量。2.如权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本光裕，
申请(专利权)人：京浜乐梦金属科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32