多层陶瓷电容器及制造该多层陶瓷电容器的方法技术

本公开提供一种多层陶瓷电容器及制造该多层陶瓷电容器的方法，所述多层陶瓷电容器包括具有介电层和内电极的主体，所述主体具有设置在所述主体的表面上的外电极，其中，所述外电极包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设置在所述主体的所述表面上，与所述内电极接触，并且包括氮化钛(TiN)，所述第二电极层设置在所述第一电极层上。

Multilayer Ceramic Capacitor and Method of Manufacturing the Multilayer Ceramic Capacitor

The present disclosure provides a multi-layer ceramic capacitor and a method for manufacturing the multi-layer ceramic capacitor. The multi-layer ceramic capacitor includes a main body having a dielectric layer and an inner electrode. The main body has an external electrode arranged on the surface of the main body, wherein the external electrode comprises a first electrode layer and a second electrode layer, and the first electrode layer is arranged on the surface of the main body. The inner electrode is in contact with the inner electrode and includes titanium nitride (TiN), and the second electrode layer is arranged on the first electrode layer.

【技术实现步骤摘要】
多层陶瓷电容器及制造该多层陶瓷电容器的方法本申请要求于2017年11月21日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0155624号韩国专利申请和于2018年3月15日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0030021号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用被全部包含于此。
本公开涉及一种多层陶瓷电容器及制造该多层陶瓷电容器的方法。
技术介绍
随着多层陶瓷电容器(MLCC)已减小尺寸并且已增大电容，增大MLCC的有效体积比(对电容有贡献的体积与总体积的比)的重要性已经增加。通常地，为了形成外电极，通常使用将暴露主体的内电极的表面浸入包含导电金属的膏体中的方法。然而，这里，通过浸渍法形成的MLCC的外电极的厚度不均匀，并且在主体的拐角部，外电极形成为相对薄，而在主体的其他部分，外电极形成为相对厚。结果，难以确保高的有效体积比。另外，当在外电极上形成镀层以改善MLCC的连接性和可安装性时，镀液可能渗透到主体的内部中，从而降低MLCC的可靠性。
技术实现思路
本公开的一方面可提供一种多层陶瓷电容器(MLCC)，在多层陶瓷电容器的主体中形成薄的、致密的主电极层，从而即使在外电极较薄的情况下，也确保足够的耐湿可靠性，并且提高了有效体积比。根据本公开的一方面，一种多层陶瓷电容器可包括具有介电层和内电极的主体，所述主体具有设置在所述主体的表面上的外电极，其中，所述外电极包括第一电极层和第二电极层，所述第一电极层设置在所述主体的所述表面上，与所述内电极接触，并且包括氮化钛(TiN)，所述第二电极层设置在所述第一电极层上。根据本公开的另一方面，一种制造多层陶瓷电容器的方法可包括：制备包括介电层和内电极的主体；使用原子层沉积(ALD)法在所述主体的整个表面上形成包括氮化钛(TiN)的第一电极层；在所述主体的形成所述第一电极层并且将要形成第一外电极和第二外电极的部分上形成第二电极层；以及蚀刻并且从所述主体去除所述第一电极层的其上没有形成有所述第二电极层的暴露部。根据本公开的另一方面，一种多层陶瓷电容器可包括：主体，包括介电层和内电极；以及外电极，包括顺序地设置在所述主体上的第一电极层和第二电极层，所述第一电极层包括氮化钛并且共形地设置在所述主体的外表面上，使得所述第一电极层与所述内电极接触。附图说明通过以下结合附图进行的详细描述，本公开的以上和其他方面、特征及其他优点将被更清楚地理解，在附图中：图1是示意性示出根据本公开中的示例性实施例的多层陶瓷电容器(MLCC)的透视图；图2是沿图1的线I-I’截取的截面图；图3是图2的“A”部分的示意性放大截面图；图4是图2的“B”部分的示意性放大截面图；图5是根据本公开中的另一示例实施例的MLCC的“B”部分的示意性放大截面图；图6是根据本公开中的另一示例实施例的MLCC的“B”部分的示意性放大截面图；以及图7至图10是示意性示出根据本公开的另一方面的制造MLCC的方法的每个阶段的透视图。具体实施方式在下文中，将参照附图详细描述本公开中的示例性实施例。在附图中，为了清楚起见，可夸大或者程式化组件的形状、尺寸等。然而，本公开可按照许多不同的形式进行例证，并且不应被解释为限于在此所阐述的特定实施例。更确切地说，提供这些实施例以使本公开将是彻底的和完整的，并且将把本公开的范围充分地传达给本领域的技术人员。在此使用的术语“示例性实施例”不指相同的示例性实施例，而是被提供以强调与另一示例性实施例的特征或者特性的不同的特定特征或者特性。然而，在此提供的示例性实施例被视为能够通过彼此全部组合或者彼此部分组合来实现。例如，除非在此提供相反或者相矛盾的描述，否则在特定示例性实施例中描述的一个元件即使其没有在另一示例性实施例中描述，仍可被理解为与另一示例性实施例相关的描述。在说明书中，组件与另一组件的“连接”的含义包括通过第三组件的间接连接以及两个组件之间的直接连接。此外，“电连接”意味着包括物理连接和物理断开的概念。可理解的是，当使用“第一”和“第二”提及元件时，元件不受其受限。可仅出于使元件与其他元件区分开的目的来使用“第一”和“第二”，并且“第一”和“第二”不会限制元件的顺序或者重要性。在一些情况下，在不脱离在此阐述的权利要求的范围的情况下，第一元件可称为第二元件。类似地，第二元件也可被称为第一元件。这里，在附图中确定上部、下部、上侧、下侧、上表面、下表面等。此外，竖直方向指的是上述向上的方向和向下的方向，水平方向指的是与上述向上的方向和向下的方向垂直的方向。在这种情况下，竖直截面指的是沿着竖直方向上的平面截取的情况，并且其示例可以是附图中示出的截面图。此外，水平截面指的是沿着水平方向上的平面截取的情况，并且其示例可以是附图中示出的平面图。在此使用的术语仅用于描述示例性实施例，而非限制本公开。在这种情况下，除非上下文中另外解释，否则单数形式包括复数形式。多层陶瓷电容器图1是示意性示出根据本公开中的示例性实施例的多层陶瓷电容器(MLCC)的透视图。图2是沿图1的线I-I’截取的截面图。图3是图2的“A”部分的示意性放大截面图。图4是图2的“B”部分的示意性放大截面图。在下文中，将参照图1至图4描述根据本公开中的示例性实施例的多层陶瓷电容器(MLCC)100。参照图1，根据本公开中的示例性实施例的MLCC100包括主体110以及设置在主体110外侧的第一外电极130和第二外电极140。主体110可具有：第一表面1和第二表面2，在厚度方向(Z方向)上彼此相对；第三表面3和第四表面4，连接到第一表面1和第二表面2并且在长度方向(X方向)上彼此相对；以及第五表面5和第六表面6，连接到第一表面1和第二表面2、连接到第三表面3和第四表面4并且在宽度方向(Y方向)上彼此相对。参照图2，主体110包括介电层111和内电极121和122，内电极121和内电极122设置为分别交替地暴露于第三表面3和第四表面4，并且介电层111介于内电极121和内电极122之间。通过在厚度(Z)方向上堆叠多个介电层111，然后烧结堆叠的介电层111来形成主体110。主体110的形状和尺寸以及介电层111的堆叠层数不限于所示出的形状和尺寸以及堆叠层数。形成主体110的多个介电层111处于烧结状态，并且相邻的介电层111可一体化，使得在不使用扫描电子显微镜(SEM)的情况下它们之间的边界不会容易明显。用于形成介电层111的原材料不受限制，只要其可获得足够的电容即可。例如，原材料可以是钛酸钡(BaTiO3)粉末。根据本公开的目的，可将各种陶瓷添加剂、有机溶剂、增塑剂、粘合剂、分散剂等添加到钛酸钡(BaTiO3)的粉末等作为用于形成介电层111的材料。内电极121和122可包括暴露于第三表面3的第一内电极121和暴露于第四表面4的第二内电极122。第一内电极121和第二内电极122是一对具有相反的极性的电极，并且通过设置在它们之间的介电层111彼此电绝缘。第一内电极121和第二内电极122分别在主体110的长度方向(X方向)上交替地暴露于第三表面3和第四表面4，从而分别连接到设置在主体110的外侧上的第一外电极130和第二外电极140。第一内电极121的厚度和第二内电极122的厚度可根据应用来确定。例如，考本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多层陶瓷电容器，包括：主体，包括介电层和内电极；以及外电极，设置在所述主体的表面上，其中，所述外电极包括：第一电极层，设置在所述主体的所述表面上，与所述内电极接触并且包括氮化钛；以及第二电极层，设置在所述第一电极层上。

【技术特征摘要】
2017.11.21 KR 10-2017-0155624;2018.03.15 KR 10-2011.一种多层陶瓷电容器，包括：主体，包括介电层和内电极；以及外电极，设置在所述主体的表面上，其中，所述外电极包括：第一电极层，设置在所述主体的所述表面上，与所述内电极接触并且包括氮化钛；以及第二电极层，设置在所述第一电极层上。2.根据权利要求1所述的多层陶瓷电容器，其中，所述第一电极层是原子层沉积膜。3.根据权利要求1所述的多层陶瓷电容器，其中，所述第一电极层的厚度在从10nm至500nm的范围内。4.根据权利要求1所述的多层陶瓷电容器，其中，所述主体包括彼此相对的第一表面和第二表面、连接到所述第一表面和所述第二表面并且彼此相对的第三表面和第四表面以及连接到所述第一表面和所述第二表面、连接到所述第三表面和所述第四表面并且彼此相对的第五表面和第六表面，所述内电极包括交替地设置的第一内电极和第二内电极，所述介电层插设在所述第一内电极和所述第二内电极之间，使得所述第一内电极的第一端和所述第二内电极的第一端分别暴露于所述第三表面和所述第四表面，并且所述外电极包括设置在所述主体的所述第三表面上并且连接到所述第一内电极的第一外电极和设置在所述主体的所述第四表面上并且连接到所述第二内电极的第二外电极。5.根据权利要求4所述的多层陶瓷电容器，其中，所述第一外电极和所述第二外电极包括：连接部，分别形成在所述主体的所述第三表面和所述第四表面上；带部，从所述连接部延伸，以形成在所述主体的所述第一表面的一部分、所述第二表面的一部分、所述第五表面的一部分和所述第六表面的一部分上；以及拐角部，在所述拐角部，所述连接部和所述带部相连，并且t2/t1为0.9或者更大，其中，t1是所述第一电极层的所述连接部的厚度，t2是所述第一电极层的所述拐角部的厚度。6.根据权利要求1所述的多层陶瓷电容器，其中，所述第二电极层是包括导电金属和玻璃的烧结电极。7.根据权利要求6所述的多层陶瓷电容器，其中，所述导电金属是Cu。8.根据权利要求1所述的多层陶瓷电容器，其中，所述第二电极层是包括金属颗粒和基体树脂的树脂基电极。9.根据权利要求8所述的多层陶瓷电容器，其中，所述金属颗粒选自由Cu、Ni、Ag及Cu、Ni、Ag的组合...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩昇勳，吴东俊，赵成珉，崔畅学，林承模，郑雄图，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR