成膜装置及成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术的一形态的成膜装置具有展开辊、卷取辊、加热辊、成膜部以及控制部。展开辊用于展开作为长条的膜的基材。卷取辊用于卷绕从展开辊展开的基材。加热辊包含温度调节单元，并在基材的输送方向上设置于展开辊与卷取辊之间，用于加热基材。成膜部包含蒸发源，并将金属膜成膜在基材上，该蒸发源与加热辊对置而设置，且具有用于加热金属材料的加热机构。控制部在基材从加热辊展开并卷绕到卷取辊的过程中，控制温度调节单元或加热机构中的至少一者，以使金属膜与基材之间的温度差为0℃以上且不足180℃。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】成膜装置及成膜方法
本专利技术涉及一种通过使蒸发材料蒸发而在基材(基体材料)上形成该蒸发材料的膜的成膜装置及成膜方法。
技术介绍
以往，如下方式的成膜装置广为人知(例如，专利文献1、2及3)，即，将从展开辊展开的基材缠绕在轧辊(CanRoll)上，同时在基材上形成蒸发材料的膜，并将该基材通过卷取辊卷绕。在此，在上述那样的成膜装置中，当在由长条的膜等构成的基材上形成金属膜时，使高温的金属材料的粒子堆积在基材上，由此会在高温的堆积物与基材之间产生过度的温度差，并且有时会在基材上产生褶皱。因此，为了解决这样的问题，记载有如下技术，在专利文献1及2中，对即将接触轧辊之前的基材进行加热，或在专利文献3中，调节轧辊的温度以使轧辊上的基材的温度在规定的温度范围内，由此抑制由堆积物与基材的温度差引起的褶皱的产生。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-081820号公报专利文献2：日本特开2010-182599号公报专利文献3：日本特开2010-121188号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在专利文献1～3中记载的成膜装置中，尽管能够抑制在基材上形成金属膜时产生褶皱，但是没有考虑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜装置，其特征在于，具有：展开辊，用于展开作为长条的膜的基材；卷取辊，用于卷绕从所述展开辊展开的所述基材；加热辊，包含温度调节单元，并在所述基材的输送方向上设置于所述展开辊与所述卷取辊之间，用于加热所述基材；成膜部，包含蒸发源，并将金属膜成膜在所述基材上，该蒸发源被设置为与所述加热辊对置，且具有用于加热金属材料的加热机构；以及控制部，在所述基材从所述加热辊展开并卷绕到所述卷取辊的过程中，能够控制所述温度调节单元与所述加热机构中的至少一者，以使所述金属膜与所述基材之间的温度差为0℃以上且不足180℃。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2017.04.26 JP 2017-0873331.一种成膜装置，其特征在于，具有：展开辊，用于展开作为长条的膜的基材；卷取辊，用于卷绕从所述展开辊展开的所述基材；加热辊，包含温度调节单元，并在所述基材的输送方向上设置于所述展开辊与所述卷取辊之间，用于加热所述基材；成膜部，包含蒸发源，并将金属膜成膜在所述基材上，该蒸发源被设置为与所述加热辊对置，且具有用于加热金属材料的加热机构；以及控制部，在所述基材从所述加热辊展开并卷绕到所述卷取辊的过程中，能够控制所述温度调节单元与所述加热机构中的至少一者，以使所述金属膜与所述基材之间的温度差为0℃以上且不足180℃。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，进一步具有预热部，该预热部相对于所述成膜部而设置于所述基材的输送方向上游侧，所述控制部，在所述基材从展开辊向所述加热辊输送的过程中，控制所述预热部，以使所述基...

【专利技术属性】
技术研发人员：横山礼宽，武井应树，佐藤昌敏，清田淳也，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP