一种坩埚及蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种坩埚及蒸镀装置。所述坩埚包括第一侧壁、设置于第一侧壁底端的坩埚底，设置于第一侧壁顶端的坩埚盖，其中，所述坩埚盖包括第二侧壁，且，设置于所述第二侧壁顶端的第一开口小于设置于所述第二侧壁底端的第二开口。本发明专利技术中，通过设置一个尺寸较小的第一开口，使得蒸镀材料受热气化后，蒸镀材料分子能够聚集在一起，再重新分布，从而能够避免因材料减少而造成的成膜的膜厚重复性不好的现象，有效提高蒸镀成膜的质量，进而提高OLED器件的性能。

A Crucible and Steaming Plating Device

The invention discloses a crucible and an evaporating plating device. The crucible comprises a first side wall, a crucible bottom at the bottom of the first side wall, and a crucible cover at the top of the first side wall, wherein the crucible cover comprises a second side wall, and the first opening at the top of the second side wall is smaller than the second opening at the bottom of the second side wall. In the present invention, by setting a small first opening, the molecule of evaporated material can gather together and redistribute after being heated and gasified, thereby avoiding the phenomenon of poor film thickness repeatability caused by material reduction, effectively improving the quality of evaporated film, and thereby improving the performance of OLED devices.

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚及蒸镀装置
本专利技术涉及显示设备制造
，尤其涉及一种坩埚及蒸镀装置。
技术介绍
有机发光二级管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)因具有响应时间短、高对比度、可柔性化等优点，因此，采用有机发光二级管作为显示装置的背光源具有广泛的应用前景。在有机发光二级管的制备过程中，通常采用蒸镀法进行无机层和有机层的制备。蒸镀法是一种属于物理气相沉积的真空镀膜技术，其原理为将蒸镀的材料置于真空蒸发源装置的坩埚内，通过对坩埚加热，使材料从固态转化为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚到待镀膜的基板表面形成薄膜。在采用蒸镀法制备OLED显示面板时，随着蒸镀时间的延长，坩埚内的材料逐渐减少，蒸发后的材料分子束在立体空间内的分布发生变化，导致不同时间段内，蒸镀到基板上的薄膜厚不同，影响蒸镀成膜的重复性，从而影响OLED器件的性能。基于此，目前亟需一种坩埚，用于解决现有技术中的蒸镀时膜厚重复性差的问题。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种坩埚及蒸镀装置，以解决现有技术中的蒸镀时膜厚重复性差的技术问题。本专利技术实施例提供一种坩埚，所述坩埚包括第一侧壁、设置于所述第一侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚，所述坩埚包括第一侧壁、设置于所述第一侧壁底端的坩埚底，其特征在于，所述坩埚还包括设置于所述第一侧壁顶端的坩埚盖，所述坩埚盖包括第二侧壁；设置于所述第二侧壁顶端的第一开口小于设置于所述第二侧壁底端的第二开口。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚，所述坩埚包括第一侧壁、设置于所述第一侧壁底端的坩埚底，其特征在于，所述坩埚还包括设置于所述第一侧壁顶端的坩埚盖，所述坩埚盖包括第二侧壁；设置于所述第二侧壁顶端的第一开口小于设置于所述第二侧壁底端的第二开口。2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第二侧壁的截面为形。3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚盖还包括设置于所述第二侧壁顶端的顶壁，所述第一开口设置于所述顶壁的中心处。4.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第二侧壁与垂直面的夹角大小为45°～60°。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉峰，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31