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成膜装置及成膜方法制造方法及图纸
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文档序号:21066577
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本发明的一形态的成膜装置具有展开辊、卷取辊、加热辊、成膜部以及控制部。展开辊用于展开作为长条的膜的基材。卷取辊用于卷绕从展开辊展开的基材。加热辊包含温度调节单元,并在基材的输送方向上设置于展开辊与卷取辊之间,用于加热基材。成膜部包含蒸发源,...
该专利属于株式会社爱发科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社爱发科授权不得商用。
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