【技术实现步骤摘要】
蒸镀方法及系统
本专利技术属于显示
，具体涉及一种蒸镀方法及系统。
技术介绍
有机发光二极管(英文：OrganicLight-EmittingDiode；简称：OLED)显示面板的制备过程中，常采用蒸镀法在基板上形成OLED器件中的部分结构层(例如发光层)，也即在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料蒸发(或升华)成原子、分子或原子团组成的蒸汽，然后凝结在基板表面形成蒸镀层，进而形成OLED器件中的相应结构层。相关技术中，在基板表面形成包含两种材料的蒸镀层(例如发光层)时，采用的蒸镀方法主要有以下两种，第一种，使用有两个蒸镀源的蒸镀设备，该蒸镀设备的一个蒸镀源用于向基板蒸镀第一材料，另一个蒸镀源用于向基板蒸镀第二材料。第二种，采用有三个蒸镀源的蒸镀设备，该蒸镀设备的一个蒸镀源闲置，另外两个蒸镀源中的一个用于向基板蒸镀第一材料，另一个用于向基板蒸镀第二材料。蒸镀设备的各个蒸镀源存储蒸镀材料的容量相同，但是在基板表面形成蒸镀层过程中，第一材料(例如发光层的主体材料)的用量可能大于第二材料(例如发光层的掺杂材料)的用量，因此一旦第一材料用完或者存储量不足，则虽然...
【技术保护点】
1.一种蒸镀方法，其特征在于，采用具有至少一组蒸镀源的蒸镀设备进行，每组蒸镀源包括第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源，所述蒸镀方法包括：在一个蒸镀制程内，进行第一蒸镀和第二蒸镀；其中，所述第一蒸镀包括，将所述第三蒸镀源关闭，采用所述第一蒸镀源以第一速率向基板蒸镀第一材料，采用所述第二蒸镀源以第二速率向所述基板蒸镀第二材料；所述第二蒸镀包括，将所述第一蒸镀源关闭，采用所述第三蒸镀源以第一速率向所述基板蒸镀第一材料，采用所述第二蒸镀源以第二速率向所述基板蒸镀第二材料；且所述第一速率大于所述第二速率。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀方法，其特征在于，采用具有至少一组蒸镀源的蒸镀设备进行，每组蒸镀源包括第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源，所述蒸镀方法包括：在一个蒸镀制程内，进行第一蒸镀和第二蒸镀；其中，所述第一蒸镀包括，将所述第三蒸镀源关闭，采用所述第一蒸镀源以第一速率向基板蒸镀第一材料，采用所述第二蒸镀源以第二速率向所述基板蒸镀第二材料；所述第二蒸镀包括，将所述第一蒸镀源关闭，采用所述第三蒸镀源以第一速率向所述基板蒸镀第一材料，采用所述第二蒸镀源以第二速率向所述基板蒸镀第二材料；且所述第一速率大于所述第二速率。2.根据权利要求1所述的蒸镀方法，其特征在于，每组所述蒸镀源的所述第一蒸镀源、第二蒸镀源、第三蒸镀源沿第一方向依次排成一行，所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源之间的距离等于所述第二蒸镀源和所述第三蒸镀源之间的距离；所述第一蒸镀包括：所述第一蒸镀源的材料出口在距离所述基板的待蒸镀表面d1处向所述基板以辐射角α1蒸镀所述第一材料，所述第二蒸镀源的材料出口在距离所述基板的待蒸镀表面d2处向所述基板以辐射角β蒸镀所述第二材料；所述第二蒸镀包括：所述第三蒸镀源的材料出口在距离所述基板的待蒸镀表面d1处向所述基板以辐射角α2蒸镀所述第一材料，所述第二蒸镀源的材料出口在距离所述基板的待蒸镀表面d2处向所述基板以辐射角β蒸镀所述第二材料；所述辐射角α1和所述辐射角α2相对于垂直于第一方向且过所述第二蒸镀源中点的平面对称，而垂直于第一方向且过所述第二蒸镀源中点的平面还将所述辐射角β分为对称的两部分。3.根据权利要求2所述的蒸镀方法，其特征在于，所述第一蒸镀包括：每组所述蒸镀源的所述第一蒸镀源和所述第二蒸镀源在平行于第一方向的方向上，从第一位置开始，在第一位置与第二之间往复运动；所述第二蒸镀包括：每组所述蒸镀源的所述第三蒸镀源和所述第二蒸镀源在平行于第一方向的方向上，从第二位置开始，在第二位置与第一位置之间往复运动。4.根据权利要求3所述的蒸镀方法，其特征在于，所述进行第一蒸镀和第二蒸镀包括：进行所述第一蒸镀在第一基板上形成蒸镀层，进行所述第二蒸镀在第二基板上形成蒸镀层；所述第一蒸镀包括：每组所述蒸镀源的所述第一蒸镀源和所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：饶勇，刘金彪，李有亮，徐天宇，加新星，岳小非，晋亚杰，罗楠，仪修超，胡斌，陈俊蛟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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