一种用于半导体湿式制程设备的传动轴制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体湿式制程设备的传动轴，包括从动链轮轴和从动锥齿轮轴，所述从动链轮轴固定套接有从动链轮，所述从动链轮通过链条与主动链轮连接，所述主动链轮与电机的输出轴同轴固定连接，所述从动链轮轴固定套接有D型安装套筒和D型主动锥齿轮，所述D型安装套筒固定套接有三个等距设置的O型主动锥齿轮，所述D型安装套筒中心处的通孔和D型主动锥齿轮中心处的通孔截面均为D字型。电机的输出轴通过链轮的传递动力，效率较高。齿轮在要求不高的情况下换成满足要求的塑料齿轮，可降低生产成本。从动锥齿轮轴的安装使用快拆结构，只需转动握把，即可方便的将从动锥齿轮轴固定或卸下，方便维护，降低了操作难度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体湿式制程设备的传动轴
本技术涉及半导体湿式制程设备领域，具体涉及一种用于半导体湿式制程设备的传动轴。
技术介绍
湿式制程中机器的动力传动的方式一般是由电机驱动，带动各部分传动轴转动，从而带动整个机器运转。目前大多采用齿轮组来传递动力，但单纯的齿轮传动一般用于短距离的动力传输，而且齿轮的加工精度一般较高，安装成本高，不利于降低产品生产成本、提高市场竞争力，因此急需一种安装成本较低，同时能实现湿式制程中传动功能的结构。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题，本技术的目的在于提供一种用于半导体湿式制程设备的传动轴，通过链轮与锥齿轮合理的配合使用，可降低生产成本，同时保证设备顺利工作，实现动力的传递。通过快拆结构，只需转动握把，完成从动锥齿轮轴的固定。本技术的目的可以通过以下技术方案实现：一种用于半导体湿式制程设备的传动轴，包括从动链轮轴和从动锥齿轮轴，所述从动链轮轴固定套接有从动链轮，所述从动链轮通过链条与主动链轮连接，所述主动链轮与电机的输出轴同轴固定连接，所述从动链轮轴固定套接有D型安装套筒和D型主动锥齿轮，所述D型安装套筒固定套接有三个等距设置的O型主动锥齿轮，所述D型安装套筒本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体湿式制程设备的传动轴，包括从动链轮轴(1)和从动锥齿轮轴(7)，其特征在于，所述从动链轮轴(1)固定套接有从动链轮(2)，所述从动链轮(2)通过链条与主动链轮连接，所述主动链轮与电机的输出轴同轴固定连接，所述从动链轮轴(1)固定套接有D型安装套筒(6)和D型主动锥齿轮(4)，所述D型安装套筒(6)固定套接有三个等距设置的O型主动锥齿轮(3)，所述D型安装套筒(6)中心处的通孔和D型主动锥齿轮(4)中心处的通孔截面均为D字型，每个所述D型主动锥齿轮(4)与O型主动锥齿轮(3)均与一个O型从动锥齿轮(5)啮合；每个所述O型从动锥齿轮(5)均固定套接在从动锥齿轮轴(7)的一端，所述...

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体湿式制程设备的传动轴，包括从动链轮轴(1)和从动锥齿轮轴(7)，其特征在于，所述从动链轮轴(1)固定套接有从动链轮(2)，所述从动链轮(2)通过链条与主动链轮连接，所述主动链轮与电机的输出轴同轴固定连接，所述从动链轮轴(1)固定套接有D型安装套筒(6)和D型主动锥齿轮(4)，所述D型安装套筒(6)固定套接有三个等距设置的O型主动锥齿轮(3)，所述D型安装套筒(6)中心处的通孔和D型主动锥齿轮(4)中心处的通孔截面均为D字型，每个所述D型主动锥齿轮(4)与O型主动锥齿轮(3)均与一个O型从动锥齿轮(5)啮合；每个所述O型从动锥齿轮(5)均固定套接在从动锥齿轮轴(7)的一端，所述O型主动锥齿轮(3)中心处的通孔和O型从动锥齿轮(5)中心处的通孔截面均为O字型，所述从动锥齿轮轴(7)固定套接有四个等距设置的直齿轮(8)，所述从动锥齿轮轴(7)转动套接有两个快拆装置(9)。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体湿式制程设备的传动轴，其特征在于，所述快拆装置(9)包括U型板(901)和轴承(902)，所述轴承(902)的外侧壁开设有四个呈矩阵分布的条形凹槽，所述U型板(901)与轴承(902)通过条形...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗文滨，魏杰，
申请(专利权)人：安徽宏实自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34